多晶鑄錠生產工藝文件-閱讀頁
2024-11-14 16:31本頁面
【正文】 點擊“ 取消 ”，繼續(xù)進行凝固，這個報警要響 3 次以上才能通過完成。鑄錠過程中， 隔 熱籠只在“ 長晶 ”和“ 冷卻 ”時會 升起，其余的步驟 隔 熱籠總是封閉的。試驗結束后，待溫度（ TC2）降到 300℃以下，才可降下爐腔體，取 6 出硅錠。 試驗記錄 試驗過程中一般 1 小時 記錄 1 次外圍數據，特殊情況每隔半小時記錄 1次數據，包括：步驟、時間、剩余時間、設定溫度、當前溫度（ TC TC2）、絕熱籠的位臵、加熱電壓、電流、即時最大功率、平均功率、時間、冷卻進水壓力 及 溫度、冷卻回水壓力 及 溫度、 F1F8 的流量、進氣氣壓及（儲罐）瓶壓。 具體見“鑄錠爐運行數據記錄表”。 將坩堝放入 坩堝 加熱器中 。 配制溶液 配制溶液采用 250g 的 Si3N4 粉末對 1000ml 的 去離子 水，不使用其它粘接劑。整個噴涂時須防止同一位臵停留過久而 使 液體凝聚，噴涂須均勻，以防止涂層脫落。 5℃，溫度過低涂層起皮脫落，溫度過高 Si3N4 粉末也容易脫落。使粉末顆粒分布均勻，然后低速攪拌，準備開始噴涂。 噴涂速度要保證 涂層適當干燥，不起皮。 2 坩堝燒結 燒結前先在加熱器中烘干 15 分鐘，放入燒結爐。 燒結后如發(fā)現起皮，要 將 涂層全部刮去，用 白 潔布處理表面后，重新噴涂。 保護涂層 裝料是要小心、輕放，防止破壞 Si3N4 涂層。 裝料到一半時，按照計算出的量加入高硼硅 摻 雜 ： 摻 雜劑使用前要酸洗表面并干燥。 上料 整個裝料和上料過程中，要保證坩堝處于石墨 板的中央，石墨板要處于定向凝固 塊中央，誤差都不可以超過 5mm，建議誤差不超過 2mm。該過程為功率控制模式，加熱器按照設定功率加熱。從熔化開始進入溫度控制模式，加熱器按照 TC1 的設定溫度反饋控制加熱 。 長晶 隔 熱籠開始提升， 定向凝固 塊開始把 熱量輻射到下爐壁，形成 溫度 梯度，定向凝固開始。 退 火 完全凝固后， 隔 熱籠重新下降，使整個硅錠達到相同溫度（ 1250—1300℃），高溫退 火 減少位錯和應力?？梢蚤_爐取錠 。
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