篇電子顯微分析ppt課件-閱讀頁
2025-01-30 07:00本頁面
【正文】 （ 4）物鏡、中間鏡和投影鏡 ? 試樣 、物鏡、中間鏡和投影鏡的相對位置 ? 試樣處在物鏡的物平面上 ? 物鏡的像平面是中間鏡的物平面 ? 中間鏡的像平面是投影鏡的物平面 （ 5）透射電鏡成像原理（阿貝成像原理） ? 當(dāng)被觀察的樣品是晶體時，不但可以在物鏡的像平面上獲得放大了的像，還可以在物鏡的后焦面上得到晶體的電子衍射譜 （ 5） 阿貝衍射成像原理 ? 當(dāng)一束平行光照射到一光柵上時，除了透射束（ 0級衍射束）外，會產(chǎn)生各級衍射束，經(jīng)過透鏡的聚焦作用， 在其后焦面上產(chǎn)生衍射振幅的極大值。 每一個振幅極大值都可以認(rèn)為是一個次級振動中心 ，由這里發(fā)出的次級波在像平面上相干成像。此時，中間鏡把物鏡的放大像投影到投影鏡的物平面上，再由投影鏡將其投射到熒光屏上 ? 三次放大圖像的總放大倍率為： ? M總 =M物 M中 M投 第二相粒子 Cr7C3 成像系統(tǒng) ? 放大的電子衍射花樣： 根據(jù)阿貝成像理論在物鏡的后焦面上得到衍射譜 ? 方法： 通過減弱中間鏡電流來增大物距，使其物平面與物鏡的后焦面重合，這樣就可以把物鏡產(chǎn)生的衍射譜投射到中間鏡的像平面上，再經(jīng)過投影鏡放大，最后在熒光屏上得到二次放大的電子衍射譜，也稱 電子衍射花樣 單晶衍射 多晶衍射環(huán) 非晶衍射 聚光鏡光闌、物鏡光闌、選區(qū)光闌 ? 透射電鏡中三種主要的光闌是： ? 聚光鏡光闌 ? 物鏡光闌 ? 選區(qū)光闌 (1)聚光鏡光闌 ? 聚光鏡光闌 ：限制照明的孔徑角，通常插在第 二聚光鏡下面，光闌孔徑約20~400微米 (2)物鏡光闌 ? 物鏡光闌 ：為了減小物鏡的球差和提高像的襯度；為縮小物鏡孔徑角，在物鏡極靴進(jìn)口 表面放置的一個光闌。 又稱中間鏡光闌或限制視場光闌 ? 作用： 對樣品進(jìn)行微區(qū)衍射分析 （ 4）中放大倍數(shù)成像和低放大倍數(shù)成像 ? 中放大倍數(shù)成像： 在三級成像系統(tǒng)中，若適當(dāng)改變物鏡激磁強度，使物鏡成像于中間鏡之下，則中間鏡以物鏡像為“虛物”，將其形成為縮小的實像于投影鏡上，投影鏡以中間鏡像為物，進(jìn)行放大成像，就可獲得幾千 ~幾萬倍的電子像。電鏡樣品一般放在直徑 3mm、厚 50~100181。目前最好的真空度可以達(dá)到 107~108Pa ? 如果真空度低則 ： ? 電子與氣體分子的碰撞會引起散射而影響襯度 ? 使柵極與陽極間高壓電離導(dǎo)致極間放電 ? 殘余氣體會腐蝕燈絲、污染樣品 真空和供電系統(tǒng) ? 供電系統(tǒng)： 加速電壓和激磁電流不穩(wěn)定將產(chǎn)生嚴(yán)重的色差、降低電鏡的分辨本領(lǐng)。 2022197。 ?射線衍射儀 ~100 197。 (200kV) TEM： 197。 物相分析（電子衍射 )。 附：透射電鏡的主要性能參數(shù)及測定 ? 主要性能參數(shù)： ? 分辨率 ? 放大倍數(shù) ? 加速電壓 分辨率及其測定 ?點分辨率： 透射電鏡剛能分清的兩個獨立顆粒的間隙或中心距離。 如圖所示。高倍下拍攝粒子像，再光學(xué)放大 5倍，從照片上找粒子間最小間距，除以總放大倍數(shù)，即為相應(yīng)的點分辨率。由于透射和衍射束間的位相不同，它們間通過動力學(xué)干涉在相平面上形成能反映晶面間距大小和晶面方向的條紋像，即晶格條紋像，如下圖所示。 圖 晶格分辨率測定金（ 220）、（ 200）晶格像 測定方法：利用外延生長方法制得的定向單晶薄膜做標(biāo)樣，拍攝晶格像。根據(jù)儀器分辨率的高低選擇晶面間距不同的樣品做標(biāo)樣。 TEM在使用過程中，各元件的電磁參數(shù)會發(fā)生少量變化，從而影響放大倍數(shù)的精度。 ? 標(biāo)定方法：用衍射光柵復(fù)型為標(biāo)樣，在一定條件下（加速電壓、透鏡電流），拍攝標(biāo)樣的放大像，然后從底片上測量光柵條紋像間距，并與實際光柵條紋間距相比即為該條件下的放大倍數(shù)，見圖 210。碳微粒間距較光柵微粒間距小，用光柵間距標(biāo)定碳粒間距，就可以擴大標(biāo)定范圍，適用于 500050000倍的情況。利用測定晶格分辨率的樣品為標(biāo)樣，拍攝條紋像，測量條紋像間距，再計算條紋像間距與實際晶面間距的比值，即為放大倍數(shù)。 圖 (a)5700倍 (b) 8750倍 習(xí) 題： 1. 透射電鏡主要由幾大系統(tǒng)構(gòu)成 ?各系統(tǒng)之間關(guān)系如何 ? ? 2. 照明系統(tǒng)的作用是什么 ?它應(yīng)滿足什么要求 ? ? 3. 成像系統(tǒng)的主要構(gòu)成及特點是什么 ? ? 4. 分別說明成像操作與衍射操作時各級透鏡 (像平面與物平面 )之間的相對位置關(guān)系，并畫出光路
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