【正文】 1 毒性氣 體室 砷化氫混合氣（ AsH3/H2） 1 10%氦氣 /氮氣工藝吹掃、 TGM報警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、 shut down 按鈕、勞動防護用品專柜、雙套管輸送，內(nèi)套管為真空， 設(shè)偵測器，介質(zhì)泄漏時，報警。 一氧化碳（ CO） 3 二氯硅烷（ SiH2Cl2） 1 二氟甲烷（ CH2F2） 1 50ppm 乙硼烷 /氫 氣（ B2H6/H2） 1 氟甲烷（ CH3F） 2 100ppmB2H6/N2 1 5% B2H6/N2 2 100ppm 乙硼烷 /氫氣（ B2H6/H2） 2 10%氨氣 /氮氣 1 C4F6 1 3 腐蝕性氣體室 Cl2 2 10%氦氣 /氮氣工藝吹掃、 TGM報警、消防水噴淋 (ClF3 無 )、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、 shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。 N2O 7 30%O2/He 6 %He+N2 1 10%氦氣 /氮氣工藝吹掃、 TGM報警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、 shut down C4F8 2 CHF3 1 20 序號 儲存場 所名稱 儲存危險化學(xué)品名稱 氣柜數(shù)量（個） 安全設(shè)施 5 惰性氣體室 C2F6 1 按鈕、勞動防護用品專柜。 BOE CDM 1 HF CDM 2 NOE CDM 1 HNO3 CDM 1 H3PO4 CDM 1 H2SO4 CDM 2 HF100:1 CDM 1 7 Base Room （堿室） NH4OH 1 設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器， PEH 在線型火災(zāi)聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、消防器材。 EG01 1 EBR10A 1 1PA01CDM 1 4． 危險危害辨識與分析 火災(zāi)、爆炸 各類易燃液體、易燃氣體在生產(chǎn)、儲存、輸送過程中，一旦因設(shè)備材質(zhì)缺陷、制造質(zhì)量差、機械損傷等原因致使設(shè)備密封效果不好、包裝容器破損以及人員 誤操作，造成物料泄漏， 如 作業(yè)現(xiàn)場 通風(fēng) 不良， 與空氣混和達到爆炸極限，遇有火源可能發(fā)生火災(zāi)、爆炸； 腐蝕、中毒、化學(xué)灼傷 清洗、擴散、光刻、蝕刻等生產(chǎn)區(qū)、酸室、 Base room、堿室、溶劑室等腐蝕性化學(xué)品生產(chǎn)、儲存、使用場所內(nèi)， 盛裝酸 、堿 性腐蝕品磷酸、鹽酸 等設(shè)備、 容器 以及輸送管路 因材質(zhì)缺陷，制造質(zhì)量差，搬運、使用過程機械損壞、傾翻，造成物料泄漏，如人體接觸泄露的酸、堿性物質(zhì)將會引起嚴(yán)重的化學(xué)灼傷 ；同時各類腐蝕性氣體、毒性氣體因盛裝氣瓶、輸送管路、使用設(shè)備腐蝕、制造缺陷等原因造成泄漏，人接觸或吸入有毒、腐蝕性氣 體，均會造成人員中毒 。 高溫灼傷 高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。 高頻、噪聲傷害 在離子植入?yún)^(qū)，使用離子植入機等高頻設(shè) 備；清洗、光刻、蝕刻區(qū)使用各類清洗機、蝕刻機、微影機等產(chǎn)生噪聲的設(shè)備，如上述各類設(shè)備高頻、噪聲防護措施不當(dāng)或損壞都會對人員造成物理因素傷害。 觸電 各類 用電設(shè)備、照明、配電系統(tǒng)線路保護接零未接或失效，線路絕緣損壞、線路短路等均可能發(fā)生觸電事故。 雷電危害 建筑物 防雷設(shè)計不合理、施工不規(guī)范、接地電阻值不符合規(guī)范要求，當(dāng)雷擊建筑物、電力設(shè)備、線路等時，會產(chǎn)生雷電過電壓，在雷電波及的范圍內(nèi)會導(dǎo)致嚴(yán)重?fù)p壞建筑物、設(shè)備并可能危及人身安全。 1 靜電危害 如 火災(zāi)、爆炸危險環(huán)境內(nèi)（如：光刻、清洗區(qū)、擴散區(qū)、可燃氣體儲藏間等）設(shè)備、管路 防靜電設(shè)計或施工不規(guī)范，在 使用 、 輸送、 貯存易燃易爆物質(zhì)時所產(chǎn)生的靜電電荷，不能及時消除 ，隨著時間延續(xù)，靜電荷將越聚越多，靜電電壓逐漸升高，當(dāng)達到一定程度時，發(fā)生放電火花；或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花 等 ，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。 GBJ1687 √ 均為二級。（因有自動水噴淋系統(tǒng)，防火分區(qū)最大允許占地面積增加一倍） GBJ1687 √ 占地面積 4000m2。 GBJ1687 √ 單獨設(shè)置。 GBJ1687 ∽ 硅烷室屋頂泄爆、 生產(chǎn)車間、易燃氣體室無泄壓。 GBJ1687 √ 約 。 GBJ1687 √ 環(huán)氧地面。 GBJ1687 √ 廠房結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足地震烈度 7 度設(shè)防要求，框架抗震等級二級要求。 芯片光刻等對潔凈度要求較高的主要生產(chǎn)廠房，宜布置在廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)，并在四周留有綠化場地。 SJ3000292 除硅烷室單獨設(shè)置外，均設(shè)在多層廠房一、二層內(nèi)。 GB500732021 √ 分別設(shè)置人員、物料凈化室。 GB500732021 √ ≤ 65dB。 GB500732021 √ 二級。 GB500732021 √ 潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。 23 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟，并加閉門器。 SJ3000292 √ 設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)，常開；特殊氣體室室外設(shè)手動開關(guān)，設(shè)自動聯(lián)鎖報警。 SJ3000292 √ 設(shè)備設(shè)施之間應(yīng)留有相應(yīng)的操作空間、檢修空間、巡回檢查及安全通道。在專用消防出口處應(yīng)設(shè)紅色應(yīng)急照明燈。 易燃易爆廠房的人員疏散，通道應(yīng)保持暢通 ，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急照明，疏散指示標(biāo)志及排煙措施。 ～393 第 條 廢液收集罐處平臺護欄不符要求。 SJ3000292 √ 設(shè)置于人流最少的東側(cè)，采取隔離防護措施。 SJ3000292 √ 設(shè)置緊急制動，設(shè)置警告標(biāo)志及排風(fēng)系統(tǒng)，帶電作業(yè)設(shè)置接地故障、短路故障保護裝置。 SJ3000292 √ 均設(shè)置。 SJ3000292 √ 設(shè)置洗眼、淋浴器。 SJ3000292 √ 屏蔽光源保護措施。 SJ3000292 √ 管道系統(tǒng)通過管架接地。 SJ3000292 √ 電氣設(shè)備金屬外殼應(yīng)與 PE 線可靠連接。 GB5002893 √ 管道應(yīng)標(biāo)志介質(zhì)及流向。 SJ3000292 √ 隔離操作、密閉生產(chǎn)。 SJ3000292 ∽ 已做監(jiān)測，數(shù)據(jù)暫不能提供。 SJ3000292 √ 雙套管輸送，防腐內(nèi)涂層。 SJ3000292 √ 防泄漏 收集采用二次容器， 倍容積。 SJ3000292 √ 生產(chǎn)過程中工作服易污染、沾染，易經(jīng)皮膚吸收的劇毒物質(zhì)，潔凈度要求嚴(yán)格的廠房和車間應(yīng)設(shè)置洗衣房。 凡使用酸、堿或有機溶劑進行化學(xué)清洗的設(shè)備，必須裝設(shè)局部排風(fēng)聯(lián)鎖。 SJ3000292 √ 均設(shè)置獨立排風(fēng)。 SJ3000292 √ 潔凈廠房內(nèi)用于硅烷等容易自燃氣體的風(fēng)管宜采用不銹鋼管、排放含酸、堿性氣體的風(fēng) SJ3000292 √ 雙層不銹鋼、酸堿風(fēng)管采用 ATC 玻璃鋼 25 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 管應(yīng)采用不燃或經(jīng)過防火處理的專用塑料風(fēng)管或不銹鋼風(fēng)管。 4 危險化學(xué)品的使用、輸送與管理 危險化學(xué)品應(yīng)按其類別、性質(zhì)分類、分堆、分間儲存、輸送。 SJ3000292 √ 分酸、 堿有毒氣體室、硅烷室、易燃氣體室等。 輸送危險化學(xué)品的設(shè)備、附屬儀表、器材等，應(yīng)根據(jù)危險介質(zhì)，采用必要的防泄漏、防腐蝕措施。 SJ3000292 √ 雙層套管內(nèi)設(shè)泄漏檢測。其基礎(chǔ)及周圍地面應(yīng)采取防腐蝕處理。 對于輸送具有較強腐蝕性液體的化學(xué)藥劑泵、在其填料函或機械密封圈、法蘭、閥門易噴射泄漏處，應(yīng)設(shè)置適當(dāng)?shù)陌踩雷o。泵為全封閉型 輸送有毒介質(zhì)的設(shè)備、管道放空時，應(yīng)加以收集或處理，不得任意排放。 易燃、易爆的車間，應(yīng)采用易于清洗、撞擊或磨擦?xí)r不產(chǎn)生火花的地面。 有爆炸危險的房間（如硅烷室、易燃氣體室、生產(chǎn)車間等），應(yīng)設(shè)置泄壓措施，安全出口不應(yīng)少于 2 個。 GBJ1687 ∽ 硅烷室設(shè)泄壓其余無，安全出口均不少于 2 個。 危險化學(xué)品安全管理條例 第 18 條 √ 設(shè)置應(yīng)急通訊、自動、 手動報警裝置。 工作場所安全使用化學(xué)品規(guī)定 第 17 條 √ 設(shè)置應(yīng)急用品柜，提供處理方法。 工作場所安全使用化學(xué)品規(guī)定 第 19 條 √ 儲存柜上均有標(biāo)識。 GB156031995 √ 單獨存放。 關(guān)于加強化學(xué)危險物品管理的通知 √ 26 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 使用危險化學(xué)品，在天津市有關(guān)主管部門辦理了登記手續(xù)，并取得使用許可證。 有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和從業(yè)人員必須接受法律、法規(guī)、規(guī)章和安全知識、專業(yè)技術(shù)的培訓(xùn)，經(jīng)考核合格，方可上崗作業(yè)。 5 有毒氣體控制裝置 砷烷、氯氣、氨等有毒、易燃、易爆氣體的鋼瓶柜，離子刻蝕設(shè)備、離 子注入機等使用有害氣體的作業(yè)點，應(yīng)設(shè)事故排風(fēng)裝置。報警裝置宜與生產(chǎn)設(shè)備、操作閥聯(lián)鎖，不工作，亦應(yīng)定時進行排風(fēng)。 6 電氣 電氣裝置采用接地故障保護時，應(yīng)做總等電位聯(lián)接。 檢測和控制儀表的電源和氣源，停電或停氣可能使生產(chǎn)、動力設(shè)備造成重大事 故時，必須有備用電、氣源。 SJ3000292 √ 設(shè)發(fā)電機 3 臺，壓縮空 氣 備 用 氣 源 ≥30min。 SJ3000292 √ 消防設(shè)施、防煙排煙系統(tǒng)、電動防火門窗、火災(zāi)應(yīng)急照明、消防用電設(shè)備，應(yīng)采用單獨的供電回路，并當(dāng)發(fā)生火災(zāi)切斷生產(chǎn)、生活用電時，應(yīng)仍保證消防用電。 SJ3000292 √ 單獨設(shè)置供電回路，UPS、 EPS、 SP 電源， 在有爆炸危險環(huán)境內(nèi)，敷設(shè)電氣線路的溝道、電纜或鋼管，在穿越不同區(qū)域之間隔墻或樓板處的孔洞，應(yīng)采用非燃性材料嚴(yán)密堵塞。 電氣設(shè)備線路必須安全可靠 ,照明應(yīng)采用有防護罩的燈具。 在火災(zāi)、爆炸危險環(huán)境內(nèi)，可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、管道應(yīng)采取靜電接地措施。 在重點防火、防爆作業(yè)區(qū)的入口處，應(yīng)設(shè)計人體導(dǎo)除靜電裝置；并配備個人防靜電防護用品。 7 消防、報警設(shè)施 建筑滅火器的配置應(yīng)按《建筑滅火器配置設(shè)計規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。 SJ3000292 √ 27 序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警檢測系統(tǒng)。 GBJ1687 SJ3000292 √ 設(shè)作業(yè)環(huán)境監(jiān)測報警系統(tǒng)。 SJ3000292 √ 設(shè)置不同類型報警裝置。 必須到已辦理充 裝注冊的單位或經(jīng)銷注冊的單位購氣。 氣瓶放置地點不得靠近熱源和明火，應(yīng)保證氣瓶干燥。 氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程 第 79 條 √ 各項措施齊備，剩余壓力小于 自動切換。不工作時，應(yīng)有自動定時 排風(fēng)系統(tǒng)。 9 安全標(biāo)志 凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，應(yīng)設(shè)置安全標(biāo)志，必要處尚應(yīng)設(shè)置聲、光、色或聲、光結(jié)合的緊急警告信號。 廠房、動力站房的安全出口及疏散通道，應(yīng)設(shè)置明顯的標(biāo)志。 GB289382 GB28941996 √ 工業(yè) 管路基本識別色應(yīng)符合： 綠色：水 鋁色：蒸氣 GB723187 ∽ 未完全執(zhí)行本國標(biāo)。 . 4 危險源綜合分析與評價 單元的主要危險因素 SMIC 中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝復(fù)雜，同時使用多種易燃、易爆、有毒化學(xué)試劑和易燃、有毒氣體，按照 GBJ1687“生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類”為甲類，因此火災(zāi)、爆炸、中毒是本單元的主要危險因素，其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害 等。 5） 有害氣體在氣柜、閥 門盒、工藝設(shè)備和有毒氣體排放口設(shè)監(jiān)測點，所有探頭具有高敏度報警功能； 6） 酸、堿、有機溶劑采用高純氮氣充填容器，利用雙層管道輸送至使用點，在雙層管道內(nèi)設(shè)監(jiān)測報警探頭，所有化學(xué)品盛裝容器、使用點均設(shè)置局部排風(fēng)系統(tǒng)； 7） 在危險化學(xué)品生產(chǎn)、儲存場所設(shè)置洗眼器及安全淋浴裝置； 8） 本單元消防、報警、聯(lián)鎖裝置的設(shè)置基本符合國家標(biāo)準(zhǔn)要求。通過對作業(yè)現(xiàn)場安全現(xiàn)狀考察與分析，還存在一些不符合規(guī)定的安全問題，具體問題和建議如下： 1) 因潔凈室生產(chǎn)廠房、易 燃氣體室未設(shè)置泄壓設(shè)施，并且未按 SJ3000292標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置在多層廠房頂層，因此需采取有效措施，保障各類防火、防爆、排風(fēng)系統(tǒng)等安全裝置、設(shè)施的齊備、完好及有效性。 評價結(jié)論 高壓電氣產(chǎn)品 生產(chǎn)工藝單元主要危險因素是各類可燃氣體、易燃液體以及有毒物料泄漏 29 引發(fā)火災(zāi)、爆炸、中毒。只要在生產(chǎn)過程中嚴(yán)格執(zhí)行各項安全生產(chǎn)管理制度和安全操作規(guī)程，可以實現(xiàn)