【正文】 JOG MODEPOS= MM6. 選擇 [Auto Mode]或 [Dress Mode].7. 按[HOME]按鈕，則工作軸回到‘0’位置。8. 按 [F2] 功能鍵并輸入上面的位置數(shù)據(jù)到 DRP中。TC 表示距離補償。 見231) will be added with this distance. 現(xiàn)在設(shè)定為10 um. 單位是[um]CNT : When the count of wafer reached to this parameter, then after you pushed START button in the next Auto Run Mode, the Auto Dressing process will be started automatically. This parameter will be count in the program, and will not count in Add Work Mode. Maximum is 99.EN ：是否使用上面的 CNT功能。但是，如果你不是設(shè)為“1”，例如， 2, 3, 4..., 那么就意味著你不使用CNT功能。 如果你按 F3 鍵，工作臺移動尋找 HOME POSITION. After that, the screen will be changed with MENU SCREEN. [HOME LED] 點亮。 如果你按F5鍵，將允許你移回工作臺，前面你可以從屏幕上看到從原始位置移動到當前位置。 JOG MODEPOS= MM 如果你想要找到工作輪和工件之間的接觸點： 1. 選擇 Manual Mode 和高的 Jog Speed. 2. 3. 選擇LOW SPEED. 4. 再次移動工作臺到砂輪頭直到工作砂輪和工件有接觸。 6. 當你得到接觸點后，按 [HOME] 按鈕。（你不能對它做修改）。 You can check this saved contact position after the screen changed to Menu Screen and selected AUTO MODE and pressed F6 for Auto Run Mode. (for example, RP=) 如果你不想在上面第6步保存當前位置在 RAPID movement position中，選擇 [Auto]或[Dress] MODE 然后按 [HOME]按鈕。235. ADD WORK MODE AUTO RUN MODE and ADD WORK MODE之間的不同主要表現(xiàn)在 are rapid position 和速度。 輸入 [W/D]數(shù)據(jù)后按 [ENTER]，則屏幕顯示如下。 請查閱236。AUTO RUN WORK MODE PRESS START KEY NO=01POS=+ MMFP= RP= WP= DP= 例如上面顯示的屏幕遵照下面的輸入方法輸入數(shù)據(jù)。 DP 表示修整砂輪的 the rapid approaching position。AUTO RUN WORK MODE RAPID 1 STEP NO=01POS=+ MMFP= RP= WP= DP= 屏幕顯示的是 RAPID APPROACH operation. 工作臺僅向前移動 = with RAPID SPEED.(This rapid speed and mm distance are fixed in the program)AUTO RUN WORK MODE RAPID 2 STEP NO=01POS=+ MMFP= RP= WP= DP=。 當工作臺接近 ，如上面顯示要暫停1秒鐘。當我們輸入 WORK DATA POSITION [mm]，設(shè)備以1 [?/sec]的進給速度研磨工件 [mm]。AM TECHNOLOGY LTD. GRIND M/C NO=02POS = MM WORK DRESS SET ADD JOG ESC DATA MODE HOME WORK MODE AUTOAfter you working 1 more Auto Run, then the 3rd Auto Run, the auto dressing procedure will be done before start grinding.24. 減薄研磨的操作步驟 上面的圖片顯示的是操作的面板。 然后檢查真空測量表是否到達 60mm/Hg. 如果達到60mm/Hg， [VACUUM LED]點亮。 按 F3鍵，檢查 [HOME LED]是否點亮。 (見233中的描述)243. 設(shè)定研磨的參考點（接觸點） 1. 選擇 MANU模式。 3. 按F5鍵進入JOG MODE 顯示屏幕。 5.(見234中的描述)這時，當你找到接觸位置后如果你選擇 [Auto Mode] 或 [Dress Mode]，按下 [HOME]按鈕， 則當前位置就不會被保存在程序中。 用數(shù)字鍵和回車鍵輸入POS2 (STOCK REMOVAL AMOUNT), VEL2(REMOVAL SPEED), SK2 (SPARKOUT TIME)和RP2(REFERENCE POSITION)。 如果有錯誤的數(shù)據(jù)，和編輯工作數(shù)據(jù)的方法一樣編輯這些數(shù)據(jù)。 按 F6 鍵。 檢查FP, RP, WP和 DP的數(shù)據(jù)。 設(shè)備自動實現(xiàn)研磨操作。當你找到修整用的砂輪磨石和工作砂輪之間的接觸點時[DRP]， 關(guān)閉前蓋。則修整軸移動到前進位置然后再移動到 DRP 位置 。248. AUTODRESSINGAfter Semidressing procedure, working the wafer with Auto Run Mode.If you set the data TC=10, CNT=2, EN=1Then after this 1st Auto Run procedure, the NO in the Initial Menu screen will be ‘1’.Then do Add Work and make the wafer thickness what you want to.After this 1st wafer, loading the new 2nd wafer.Select Auto Run Mode, and press [START] button to start working.After this 1st Auto Run procedure, the NO in the Initial Menu screen will be ‘2’.Then do Add Work and make the wafer thickness what you want to.After this 2nd wafer, loading the new 3rd wafer.Select Auto Run Mode, and press [START] button to start working.At this moment, after you press [START] button, Dress axis move to Forward position to start autodressing process because the CNT=2 and EN=1.At this moment, if the EN is not equaled to ‘1’(2,3,4…), then the autodressing process doesn’t occurred.Then the work axis move to the DRP position and do dressing procedure.After dressing process, the dressing axis returned to Backward position.And the work axis move to RP2 position.At this moment, the RP2 position will be changed to [RP2+TC] automatically.After this Auto Run process, the NO in the Initial Menu screen will be ‘1’.249. 其余按鍵的功能. [RESET] 按鈕 ：當出現(xiàn)異常情況或錯誤的時候按下這個按鈕。 [STOP]按鈕 ： 此鍵停止所有的電機工作。 [EMERGENCY] 開關(guān)：此鍵停止所有的操作系統(tǒng) 然后按下 [RESET]按鈕。如果你想按下 START按鈕開始工作，必須 真空傳感器已經(jīng)探測到（真空壓力超過 60 mmHg） 門傳感器已經(jīng)探測到(門必須關(guān)閉) 工作軸的力學內(nèi)部傳感器必須開啟。 Method 1 → Fixed the bolt ⑤, untighten ②⑥?. → Screw in the set screw number ③.Method 2 → Fixed the bolt ?, untighten ②⑤⑥. → Screw in the set screw number ③. 殼B： A 點比其它各點要低 首先，松開③④⑧⑩固定螺絲直到它和底板沒有接觸為止。 你可以用 ⑦檢查砂輪頭的改變，千分表。 ※ 請確定檢查所有的干擾后小心的移動砂輪頭使砂輪末端和工作臺中心相一致。 B. 逆時針旋轉(zhuǎn)扳手。 D. 從軸上把砂輪取下來。 F. 用千分表檢查砂輪的徑向跳動。34. 每個部分的旋轉(zhuǎn)速度 你可以通過控制面板上的 VR(Volume Resister) 開關(guān)來改變修整砂輪的旋轉(zhuǎn)速度。Please refer to the attached manual for the servo amp. 工作軸 ※ 工作軸的旋轉(zhuǎn)速度確定為560 RPM . 你可以從逆變器中改變旋轉(zhuǎn)速度.35.完成 36. 振動功能※ 振動原理 首先，松開 ⑨ M10 六角螺母。 因此,如果不是需要,不要更改皮帶的松緊程度. 371. 工作軸(BELT SPEC. : 7M 630 POLYMAX BELT) 首先，松開圖中顯示的4個螺釘。 重新把4個螺釘固定好。 然后移動電機使皮帶張緊。373 工作軸 (BELT SPEC. : 7M 1750 POLYMAX BELT) 首先，松開圖中的4個螺釘。 重新固定好4個螺釘。 7. 輸入數(shù)據(jù)。 10. 這一步驟完成后，check the marking on the working wheel. If the pen mark has erased, truing is pleted, else try truing again. The truing and dressing process is very similar, but the Truing process need just one time if the wheel is a new one.382. 修整砂輪 有3個途徑用來修整工作砂輪。 6. 輸入數(shù)據(jù)。 9. After finished this process, take out the dressing jig and go ahead working process.Ⅱ. SemiAuto dressing procedure(Option)In this way, we don39。2. 選擇修整Off3. 檢查設(shè)定的旋轉(zhuǎn)速度(65%).4. 選擇修整模式(使用 MANU/AUTO/DRES39。 1. 選擇Manual Mode 2. 按 F/W 按鈕使修整軸移向前進位置。 3. 按 F5 for JOG MODE screen 4. ? 則修整輪向前移動如圖[SemiAuto Procedure 3]所示。 7. 選擇Dress Mode 8. 按HOME 按鈕 ? 則修整軸移動到前進位置如圖 [SemiAuto Procedure 1] 所示。當工作軸回到‘0’時，屏幕顯示的是菜單顯示屏幕。 11. 改變我們在第五步中取得的DRP數(shù)據(jù)。 12. 確定已經(jīng)選擇了DRESS MODE 。 14. 按START按鈕。當修整操作步驟完成后