【正文】 000025~30次/h500~6002000~2200~10000015~20次/h350~4001400~1600~注：表中的送風(fēng)量、單向流以斷面風(fēng)速表示，非單向流以換氣次數(shù)表示。表中的初投資包括潔凈廠房的圍護(hù)、冷凍供應(yīng)系統(tǒng)、空調(diào)凈化系統(tǒng)，不含土建結(jié)構(gòu)和自動(dòng)控制的投資。⑵、按使用的用途或控制的主要對(duì)象劃分① 工業(yè)用潔凈室：以控制灰塵為主要對(duì)象。② 生物潔凈室：以控制細(xì)菌（微生物）為主要對(duì)象。3．潔凈室與一般空調(diào)的差別見(jiàn)表二表二 潔凈室與一般空調(diào)的差別比較項(xiàng)目一般空調(diào)凈化空調(diào)原理送風(fēng)和室內(nèi)空氣充分混合以達(dá)到室內(nèi)溫濕度均勻亂流為稀釋原理，層流為活塞原理，送出的潔凈室空氣先達(dá)工作區(qū)，罩籠潔凈工作區(qū)目的為了控制溫度、濕度、風(fēng)速和空氣成份的目的除了一般空調(diào)的目的之外，更重要的是控制粒子的濃度手段粗、中效過(guò)濾加熱濕交換除空調(diào)手段外還要加高效、超高效過(guò)濾器，對(duì)微生物還要有滅菌措施送風(fēng)量（次/h）一般降溫空調(diào)8~10次/h一般恒溫空調(diào)10~15次/h單向流400~600次/h非單向流15~60次/h初投資（元/m2）一般降溫500元/m2一般恒溫800元~1000元/m2單向流5000~15000元/m2非單向流1500~3000元/m2運(yùn)行耗電（Kw/m2）~ Kw/m2~ Kw/m2~ Kw/m2~ Kw/m2冷量指標(biāo)（W/m2）一般降溫150~200 W/m2一般恒溫200~250 W/m2單向流800~1500 W/m2非單向流350~700 W/m24．工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別見(jiàn)表三表三 工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別表比較項(xiàng)目工業(yè)潔凈室生物潔凈室研究對(duì)象（主要）灰塵、粒子只有一次污染。控制方法凈化措施主要是采取過(guò)濾方法。主要是采取：鏟除微生物生長(zhǎng)的條件，控制微生物的孳生、繁殖和切斷微生物的傳播途徑。控制目標(biāo)控制有害粒徑粒子濃度。對(duì)生產(chǎn)工藝的危害關(guān)鍵部位只要一顆灰塵就能造成產(chǎn)品的極大危害。對(duì)潔凈室建筑材料的要求所有材料（墻、頂、地等）不產(chǎn)塵、不積塵、耐磨擦所有材料應(yīng)耐水、耐腐且不能提供微生物孳生繁殖條件。物進(jìn)入要清洗、擦拭。人進(jìn)入要換鞋、更衣、淋浴、滅菌；物進(jìn)入要擦拭、清洗、滅菌；空氣送入要過(guò)濾、滅菌，人物分流，潔污分流。微生物檢測(cè)不能測(cè)瞬時(shí)值，須經(jīng)48小時(shí)培養(yǎng)才能讀出菌落數(shù)量。原來(lái)我們熟悉的100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)和100000級(jí)都是源自美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209B，現(xiàn)在它們分別被國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644標(biāo)準(zhǔn)中的5級(jí)、6級(jí)、7級(jí)和8級(jí)所替代。表四 潔凈室及潔凈空氣中懸浮粒子的潔凈度等級(jí)ISO14644空氣潔凈度等級(jí)（N）≥表中粒徑的最大濃度限值（個(gè)/m3）1μm5μm1102////210024104//31000237102358/4100002370102035283/81000002370010200352083229610000002370001020003520083202937///3520008320029308///3520000832000293009///352000008320000293000注：① 每點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次。③ 根據(jù)工藝要求可確定1~2粒徑。國(guó)標(biāo)潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644與各國(guó)潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的比較見(jiàn)表五。就拿已投產(chǎn)的上海華虹NEC超大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)線潔凈室舉例來(lái)說(shuō)，華虹NEC為月投片30000片8硅片集成電路前工序生產(chǎn)線，有潔凈室面積約12000m2，其中10000 m2是在中心部位，另2000 m2在邊跨上。于1998年底建成投產(chǎn)。單核心部分的10000 m2的潔凈室的建造費(fèi)用就高達(dá)6000萬(wàn)美元（約5億人民幣）（日本三機(jī)株式會(huì)社施工），折合每平方米建造費(fèi)用約50000元人民幣/ m2。還拿上述華虹NEC為例，其核心部分10000 m2潔凈室總的送風(fēng)量為6,400,000 m3/h，輸送凈化空氣的風(fēng)機(jī)耗電量為3840 Kw/h，全年電費(fèi)為1659萬(wàn)元（），空氣熱濕處理的耗電量約10000 Kw/h，全年電費(fèi)為6000萬(wàn)人民幣。折合每年單位面積的運(yùn)行費(fèi)用為7659元/m2年。這就要求為其服務(wù)的高級(jí)別的潔凈室必須能適應(yīng)其發(fā)展速度，有極好的靈活性和適應(yīng)性。因此，在設(shè)計(jì)和建造潔凈廠房時(shí)，就要考慮到工藝的發(fā)展、變更，就要考慮到潔凈廠房的靈活性和適應(yīng)性。無(wú)論怎樣改都不能改變的部分。如潔凈室的圍護(hù)、裝修等；第三是可變而且容易改變的部分。（四）安全、可靠性好從前面（一）、（二）兩條特點(diǎn)可以得出建造和使用這樣的潔凈室要付出何等的代價(jià)。因?yàn)?，建造潔凈室的目的是為使用，是為了得到高成品率合格產(chǎn)品。保證所建造的潔凈室在潔凈度、溫濕度、風(fēng)速、壓力等所有參數(shù)必須滿足生產(chǎn)工藝的要求，保證安全、可靠、不出事故。三．潔凈室的竣工驗(yàn)收調(diào)試，性能測(cè)試和潔凈室的綜合評(píng)價(jià)竣工驗(yàn)收的調(diào)試工作要分以下四個(gè)步驟進(jìn)行。②單機(jī)試車。④潔凈室的性能測(cè)試和綜合評(píng)價(jià)。調(diào)試小組領(lǐng)導(dǎo)調(diào)試的全面工作，調(diào)試小組協(xié)調(diào)各方面的關(guān)系，調(diào)試小組為調(diào)試工作提供各種軟硬條件。調(diào)試大綱是調(diào)試工作的指導(dǎo)性文件。調(diào)試大綱的編制使調(diào)試人員思想明確、認(rèn)識(shí)統(tǒng)一、步調(diào)一致、行動(dòng)整齊，使調(diào)試工作順利進(jìn)行。在調(diào)試小組的領(lǐng)導(dǎo)組織下，有建設(shè)單位、設(shè)計(jì)單位、施工單位、監(jiān)理單位的有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和技術(shù)人員參加，對(duì)施工現(xiàn)場(chǎng)、施工質(zhì)量進(jìn)行全面會(huì)檢。從設(shè)備（冷凍機(jī)、鍋爐、水泵、冷卻塔、空調(diào)器等）、配件（閥門、風(fēng)口、消聲器等）、管道和管線到保溫、設(shè)備基礎(chǔ)、管道支吊架等的工程施工質(zhì)量進(jìn)行全面會(huì)檢。并對(duì)施工、加工、安裝等質(zhì)量問(wèn)題逐一填寫“缺陷明細(xì)表”，提出整改意見(jiàn)，限期（正式調(diào)試之前）整改完畢。對(duì)潔凈室的地面、墻面、吊頂、門窗進(jìn)行認(rèn)真、全面、徹底的大掃除（最好請(qǐng)專業(yè)的清潔公司）；對(duì)空調(diào)設(shè)備、空調(diào)管道（送風(fēng)管、回風(fēng)管、新風(fēng)管），空調(diào)配件（清聲器、閥門、風(fēng)口等）進(jìn)行檢查、檢漏和擦試。②安裝粗效、中效過(guò)濾器進(jìn)行第一次空吹。對(duì)整個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行空吹，空吹時(shí)間為24~36小時(shí)，使整個(gè)系統(tǒng)得到初步的凈化。系統(tǒng)空吹后可以安裝高效過(guò)濾器。檢漏在臨時(shí)檢漏臺(tái)上進(jìn)行，塵源利用大氣塵。④高效過(guò)濾器安裝檢漏合格后再對(duì)凈化空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行第二次空吹。測(cè)試儀器、儀表、工具的準(zhǔn)備①調(diào)試前要對(duì)調(diào)試中所用的儀器儀表進(jìn)行調(diào)試和標(biāo)定（超過(guò)使用時(shí)間還需重新進(jìn)行標(biāo)定）。②調(diào)試所用的器材、工具的準(zhǔn)備。并且請(qǐng)施工單位配合電工、管工、扳金工和鉗工。（二）單機(jī)試車單機(jī)試車是對(duì)工程中的所有的設(shè)備、配件等單體進(jìn)行試車。單機(jī)試車的主要內(nèi)容有：水、電先行。如水泵、變壓器、配電箱、開(kāi)關(guān)等。進(jìn)而，對(duì)供冷設(shè)備（冷凍機(jī)、冷卻塔、冷凍水泵、冷卻水等）、供熱設(shè)備（鍋爐、換熱器、熱水泵等）、空調(diào)設(shè)備（表面冷卻器、加熱器、加濕器、過(guò)濾器、風(fēng)機(jī)等）、自動(dòng)控制設(shè)備、儀表、閥門以及各系統(tǒng)的配件進(jìn)行單體考核。尤其對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備如風(fēng)機(jī)、水泵要試轉(zhuǎn)看是否運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，有無(wú)雜音和碰撞和反轉(zhuǎn)現(xiàn)象；用電設(shè)備接線是否正確；冷凍機(jī)和鍋爐是否能達(dá)到設(shè)計(jì)要求；空調(diào)器中表冷器的降溫去濕能力、加濕器的加濕能力等等進(jìn)行單體檢查、考核。對(duì)于大型設(shè)備如冷凍機(jī)、鍋爐、空調(diào)器等（尤其是進(jìn)口設(shè)備）在單機(jī)試車時(shí)最好有生產(chǎn)廠家的調(diào)試人員現(xiàn)場(chǎng)指導(dǎo)或由生產(chǎn)廠家負(fù)責(zé)試車，待運(yùn)轉(zhuǎn)正常后再移交給使用單位。（三）聯(lián)動(dòng)調(diào)試聯(lián)動(dòng)調(diào)試一般情況下分為兩個(gè)階段進(jìn)行，即風(fēng)量分配階段和聯(lián)動(dòng)調(diào)試階段。因?yàn)橐粋€(gè)潔凈廠房可能有多個(gè)空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)和排風(fēng)系統(tǒng)，或一個(gè)空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)要負(fù)擔(dān)多個(gè)潔凈室的送風(fēng)。風(fēng)量分配調(diào)試工作也是整個(gè)調(diào)試工作的重點(diǎn)工作。標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口法：一個(gè)潔凈室可能有幾個(gè)、幾十個(gè)空調(diào)送風(fēng)口、回風(fēng)口。因此，采用標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口法。在標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口上設(shè)一監(jiān)測(cè)儀表，隨時(shí)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口的風(fēng)量變化。因?yàn)檎{(diào)整任何一個(gè)風(fēng)口風(fēng)量時(shí)，都會(huì)影響已調(diào)整過(guò)的風(fēng)口的風(fēng)量的變化；因此，在調(diào)整任何一個(gè)風(fēng)口風(fēng)量時(shí)，都要以標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口當(dāng)時(shí)風(fēng)量為參照風(fēng)量，使所有被調(diào)風(fēng)口的風(fēng)量均隨標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口的風(fēng)量變化而同步變化。聯(lián)動(dòng)調(diào)試聯(lián)動(dòng)調(diào)試在風(fēng)量調(diào)整和單機(jī)試車后進(jìn)行。必要時(shí)，在潔凈室內(nèi)人為的設(shè)置一定量的負(fù)荷，考核溫、濕度探頭、中間儀表和執(zhí)行機(jī)構(gòu)的聯(lián)動(dòng)是否敏感、協(xié)調(diào)；考核溫、濕度探頭是否準(zhǔn)確，精度是否合格。接著進(jìn)行潔凈室的性能測(cè)試和綜合評(píng)價(jià)。①潔凈度測(cè)試：采樣點(diǎn)布置在工作面上（~），采樣點(diǎn)數(shù)量N=A1/2（A是潔凈室面積‘m2’）。取其平均值做該點(diǎn)的測(cè)量值。②風(fēng)量或風(fēng)速測(cè)試：?jiǎn)蜗蛄鳚嵤覝y(cè)量斷面風(fēng)速、非單向流潔凈室測(cè)其風(fēng)量。風(fēng)量測(cè)試：在送風(fēng)管或送風(fēng)口上測(cè)送風(fēng)風(fēng)量。再計(jì)算送風(fēng)量。采用補(bǔ)償式微壓計(jì)測(cè)量。在對(duì)潔凈室性能測(cè)試的基礎(chǔ)上，根據(jù)對(duì)潔凈室潔凈度、溫、濕度、正壓、風(fēng)量、噪聲等測(cè)試結(jié)果，對(duì)潔凈室的建設(shè)和性能進(jìn)行竣工驗(yàn)收的綜合評(píng)價(jià)。 凈室竣工驗(yàn)收的性能測(cè)試根據(jù)（潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范）和（潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范）的要求，潔凈室竣工驗(yàn)收分兩步進(jìn)行，第一步是竣工調(diào)試和性能測(cè)試，第二步是潔凈室性能的綜合評(píng)價(jià)。潔凈室性能測(cè)試所需要測(cè)試的項(xiàng)目以下：①通風(fēng)機(jī)的風(fēng)量和轉(zhuǎn)數(shù)；②風(fēng)量及其平衡；③室內(nèi)靜壓及其調(diào)整；④自控系統(tǒng)的聯(lián)動(dòng)；⑤高效過(guò)濾器的檢漏；⑥室內(nèi)的潔凈度；等六項(xiàng)。潔凈室運(yùn)行狀態(tài)下的定期性能測(cè)試根據(jù)（潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范）的要求，因生產(chǎn)的復(fù)雜性和維護(hù)管理工作的主，客觀原因造成潔凈室性能的下降，必須對(duì)潔凈室進(jìn)行定期的性能測(cè)試，檢測(cè)的頻數(shù)見(jiàn)下表。①液體壓力計(jì)：液體壓力計(jì)具有使用方便、價(jià)格低廉、精確度較高、制造安裝方便等優(yōu)點(diǎn)，但有測(cè)量范圍受限制、玻璃管易碎等缺點(diǎn)。液體壓力計(jì)主要有：U型管壓力計(jì)、斜管壓力計(jì)、補(bǔ)償式壓力計(jì)。常用的彈簧壓力計(jì)主要有：彈簧管壓力計(jì)、膜片管壓力計(jì)和膜核壓力計(jì)。風(fēng)速和風(fēng)量測(cè)試儀器： ① 風(fēng)速測(cè)量?jī)x的作用原理有：機(jī)械式、散熱率式和動(dòng)力測(cè)壓式等。b．散熱率式風(fēng)速儀：是根據(jù)流體中受熱物體的散熱率與流體流速成正比關(guān)系制成，測(cè)定傳感器的散熱率，即能測(cè)到流體的流速。②風(fēng)量測(cè)量?jī)x：在潔凈室中總風(fēng)量的測(cè)試常用風(fēng)管法，各房間送回風(fēng)量多用風(fēng)口法進(jìn)行測(cè)量，其原理為平均風(fēng)速乘以斷面面積。它的原理是利用空氣中的微粒對(duì)光線的散射現(xiàn)象，將采樣空氣中的微粒的光脈沖信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電脈沖信號(hào)來(lái)測(cè)定微粒的顆粒數(shù)，利用微粒的光散射強(qiáng)度與微粒粒徑的平方成正比的關(guān)系來(lái)測(cè)量微粒粒徑的大小。浮游菌采樣器主要有：固體撞擊式采樣器、離心式空氣微生物采樣器、氣旋式微生物采樣器、液體沖擊式微生物采樣器、過(guò)濾式微生物采樣器和大容量靜電沉降采樣器等。④溫度測(cè)試儀：通稱溫度計(jì)，按其作用原理可分為膨脹式溫度計(jì)、壓力式溫度計(jì)、熱電偶溫度計(jì)和電阻溫度計(jì)。b．壓力式溫度計(jì)：可分為充氣壓力計(jì)式溫度計(jì)和充蒸汽壓力計(jì)式溫度計(jì)。d．電阻溫度計(jì)：基于某種金屬及其合金或半導(dǎo)體的電阻會(huì)隨溫度變化而變化，精確地測(cè)定電阻就會(huì)測(cè)出溫度。⑤濕度測(cè)試儀：濕度測(cè)試儀按其原理可分為干濕球溫度計(jì)、毛發(fā)溫度計(jì)、電溫度計(jì)等。⑦照度測(cè)試儀：常用的便攜式照度計(jì)它的原理是用一種光敏元件做探頭，當(dāng)有光照時(shí)就會(huì)產(chǎn)生光電流，光線越強(qiáng)光電流越大，測(cè)量電流時(shí)就可測(cè)出照度。② 單向流潔凈室風(fēng)量的測(cè)定：垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室的風(fēng)量是采用斷面平均風(fēng)速和斷面面積的乘積來(lái)計(jì)算的，斷面的選取和斷面上的測(cè)點(diǎn)布置見(jiàn)下表。對(duì)于矩形風(fēng)管將測(cè)定斷面分成若干個(gè)相等的小截面，盡可能接近方形，邊長(zhǎng)應(yīng)不大于200mm。整個(gè)測(cè)定斷面的測(cè)點(diǎn)數(shù)不少于3個(gè)。圖三十六 矩形風(fēng)管的測(cè)點(diǎn)布置 圖三十七 圓形風(fēng)管的測(cè)點(diǎn)布置b. 風(fēng)口法測(cè)風(fēng)量：在施工驗(yàn)收規(guī)范JGJ71中規(guī)定了兩種方法：其一是對(duì)于有過(guò)濾器的風(fēng)口，可根據(jù)風(fēng)口形式選用與風(fēng)口斷面相同的輔助風(fēng)管，其長(zhǎng)度為兩倍風(fēng)口的邊長(zhǎng)，連接于被測(cè)風(fēng)口外部，在輔助風(fēng)管的出口面上，最少布置6個(gè)測(cè)點(diǎn)，用熱球風(fēng)速儀測(cè)個(gè)點(diǎn)風(fēng)速，再用斷面平均風(fēng)速乘以風(fēng)口凈面積來(lái)計(jì)算風(fēng)量。④風(fēng)量測(cè)定結(jié)果的判定：a. 實(shí)測(cè)風(fēng)量應(yīng)大于設(shè)計(jì)風(fēng)量，但不應(yīng)超出20％。c. 實(shí)測(cè)個(gè)風(fēng)口風(fēng)量與設(shè)計(jì)風(fēng)量之差不應(yīng)超出15％。表十七 最低采樣點(diǎn)數(shù)表面積（m2）潔 凈 度100級(jí)和高于100級(jí)1000級(jí)10000級(jí)100000級(jí)小于102~ 322210432220862240161342100403210320080632064001601264013100040031610032200080063320063b. 測(cè)定潔凈度的最小采樣量按下表：表十八 最小采樣量表(L)潔凈度級(jí)別（級(jí)）粒 徑（mm）117851985661010010008510000100000c. 對(duì)于單向流潔凈室采樣口應(yīng)朝著氣流方向。采樣速度盡可能接近室內(nèi)氣流速度。測(cè)點(diǎn)的布置原則：每層不少于5個(gè)測(cè)點(diǎn)，多于5點(diǎn)時(shí)可分層布置。② 潔凈度測(cè)定結(jié)果的判定：a. 如實(shí)測(cè)狀態(tài)（空態(tài)，靜態(tài)，動(dòng)態(tài)）與事先約定的狀態(tài)相同，以其潔凈度級(jí)別上限作為評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)。3．微生物粒子的測(cè)定：①．采樣點(diǎn)的布置和要求： a. 浮游菌測(cè)定時(shí)，其采樣點(diǎn)位置可以與懸浮粒子測(cè)定點(diǎn)的布置相同。根據(jù)需要可在關(guān)鍵部位增加測(cè)點(diǎn)。見(jiàn)下表：表十九 浮游菌測(cè)定最少采樣點(diǎn)數(shù)表面積（m2）潔 凈 度100級(jí)1000