電子束離子束加工ppt課件-在線瀏覽
2025-06-18 12:17本頁面
【正文】 穿孔 1323( a ) ( b ) ( c ) ( d )1— 工件；2— 工件運動方向；3— 電子束第七章 其他特種加工技術(shù) 3）刻蝕 在微電子器件生產(chǎn)中，為了制造多層固體組件，可利用電子束對陶瓷或半導體材料刻出許多微細溝槽和孔。電子束刻蝕還可用于刻板，在銅制印刷滾筒上按色調(diào)深淺刻出許多大小與深淺不一樣的溝槽或凹坑，其直徑為 70～ 120μm，深度為 5～ 40μm，小坑代表淺色，大坑代表深色。當高能量密度的電子束轟擊焊件表面時，使焊件接頭處的金屬熔融，在電子束連續(xù)不斷地轟擊下，形成一個被熔融金屬環(huán)繞著的毛細管狀的熔池，如果焊件按一定速度沿著焊件接縫與電子束作相對移動，則接縫上的熔池由于電子束的離開而重新凝固，使焊件的整個接縫形成一條焊縫。 第七章 其他特種加工技術(shù) 5）熱處理 電子束熱處理也是把電子束作為熱源，但適當控制電子束的功率密度，使金屬表面加熱而不熔化，達到熱處理的目的。 第七章 其他特種加工技術(shù) 離子束加工 1． 加工原理 離子束加工也是一種新興的特種加工 ， 它的加工原理與電子束加工原理基本類似 ， 也是在真空條件下 ， 將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過加速 、 聚焦后投射到工件表面的加工部位以實現(xiàn)加工的 。離子束加工是靠微觀機械撞擊能量轉(zhuǎn)化為熱能進行的 。 離子束加工可分為四類 。 2) 離子濺射沉積 離子轟擊靶材 ， 將靶材原子擊出 ， 沉積在靶材附近的工件上 ， 使工件表面鍍上一層薄膜 。 第七章 其他特種加工技術(shù) 4) 離子注入 離子束直接轟擊被加工材料 ， 由于離子能量相當大 ， 離子就鉆入被加工材料的表層 。
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