電子束加工論文-在線瀏覽
2024-08-03 23:10本頁面
【正文】 ...74 電子束加工的現(xiàn)狀及發(fā)展前景 ........................................8參考文獻(xiàn) ............................................................83 / 9電子束加工的特點(diǎn)及其應(yīng)用作者：肖先華指導(dǎo)教師：邱兵摘要：電子束加工簡(jiǎn)稱 EBM，是以高能 電子束流作為熱源，對(duì)工件或材料實(shí)施特殊的加工，是一種完全不同于傳統(tǒng)機(jī)械加工的新工藝。它 們?cè)诰芪?細(xì)加工方面，尤其是在微 電子學(xué)領(lǐng)域中得到較多的應(yīng)用。關(guān)鍵詞：電子束 原理 應(yīng)用 發(fā)展前景1 概述： 加工原理 電子束加工是由德國(guó)的科學(xué)家 1948 年發(fā)明的。其加工原理如圖 1 所示。 電子束加工機(jī)由產(chǎn)生電子束的電子槍、控制電子束的聚束線圈、使電子束掃描的偏轉(zhuǎn)線圈、電源系統(tǒng)和放置工件的真空室，以及觀察裝置等部分組成。電子束加工機(jī)的功率根據(jù)用途不同而有所不同，一般為幾千瓦至幾十千瓦。 電子束熱加工是將電子束的動(dòng)能在材料表面轉(zhuǎn)化成熱能,以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的加工,其中包括:1)電子束精微加工。與其他電子束加工設(shè)備不同之處在于,除高真空電子束焊機(jī)之外,還有低真空、非真空和局部真空等類型；3)電子束鍍膜。包括難熔金屬的精煉,合金材料的制造以及超純單晶體的拉制等；5)電子束熱處理。上述各種電子束加工總稱為高能量密度電子束加工。該加工方法的應(yīng)用的領(lǐng)域主要是1）掃描電子束曝光，用電子束按所需的圖形，以微機(jī)控制進(jìn)行掃描曝光，其特點(diǎn)是圖形變換的靈活性好，分辨率高；2）投影電子束曝光，這是一種大面積曝光法，由光電陰極產(chǎn)生大面積平行束進(jìn)行曝光，其特點(diǎn)是效率高，但分辨率較差；3）軟X射線曝光，軟X射線由電子束產(chǎn)生，是一種間接利用電子束的投影曝光法。2 電子束加工的主要應(yīng)用 當(dāng)電子束功率密度達(dá)10 5～10 6W/cm178。電子束焊具有深熔的特點(diǎn)，焊縫的深寬比可達(dá)20:1甚至50:1。利用電子束焊的這一特點(diǎn)可實(shí)現(xiàn)多種特殊焊接方式。此外，電子束焊接的焊縫位置精確可控、焊接質(zhì)量高、速度快，在核、航空、火箭、電子、汽車等工業(yè)中可用作精密焊接。對(duì)大工件焊接時(shí)須采用大體積真空室，或在焊接處形成可移動(dòng)的局部真空。的電子束周期地轟擊材料表面的固定點(diǎn)，適當(dāng)控制電子束轟擊時(shí)間和休止時(shí)間的比例，可使被轟擊處的材料迅速蒸發(fā)而避免周圍材料的熔化，這樣就可以實(shí)現(xiàn)電子束刻蝕、鉆孔或切割。電子束可在厚度為～6毫米的任何材料的薄片上鉆直徑為1至幾百微米的孔，能獲得很大的深度－孔徑比，例如在厚度為 。 電子束熔煉法發(fā)明于1
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