《電子束離子束加工》ppt課件-文庫吧
2025-04-16 12:17 本頁面
【正文】 電子束加工需要整套的專用設(shè)備和真空系統(tǒng) ， 價格較貴 ， 故在生產(chǎn)中受到一定程度的限制 。 第七章 其他特種加工技術(shù) 3．電子束加工的應(yīng)用 1）高速打孔 目前電子束打孔的最小直徑可達 。例如噴氣發(fā)動機套上的冷卻孔，機翼的吸附屏的孔。在人造革、塑料上用電子束打大量微孔，可使其具有如真皮革那樣的透氣性。電子束打孔還能加工小深孔，如在葉片上打深度 5mm、直徑 ，孔的深徑比大于 10： 1。 第七章 其他特種加工技術(shù) 圖 2 電子束加工的異形孔 0 . 0 3 ～ 0 . 0 7 mm 2）加工型孔及特殊表面 第七章 其他特種加工技術(shù) 圖 3 電子束加工曲面、穿孔 1323( a ) ( b ) ( c ) ( d )1— 工件；2— 工件運動方向；3— 電子束第七章 其他特種加工技術(shù) 3）刻蝕 在微電子器件生產(chǎn)中，為了制造多層固體組件，可利用電子束對陶瓷或半導(dǎo)體材料刻出許多微細溝槽和孔。如在硅片上刻出寬 ，深 ，在混合電路電阻的金屬鍍層上刻出 40μm寬的線條。電子束刻蝕還可用于刻板，在銅制印刷滾筒上按色調(diào)深淺刻出許多大小與深淺不一樣的溝槽或凹坑，其直徑為 70～ 120μm，深度為 5～ 40μm，小坑代表淺色，大坑代表深色。 第七章 其他特種加工技術(shù) 4）焊接 電子束焊接是利用電子束作為熱源的一種焊接工藝。當高能量密度的電子束轟擊焊件表面時，使焊件接頭處的金屬熔融，在電子束連續(xù)不斷地轟擊下，形成一個被熔融金屬環(huán)繞著的毛細管狀的熔池，如果焊件按一定速度沿著焊件接縫與電子束作相對移動，則接縫上的熔池由于電子束的離開而重新凝固
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