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工科物理實驗鍍膜ppt課件-在線瀏覽

2025-06-16 01:06本頁面
  

【正文】 膜 ,沉積時間為 15min. (4)去掉覆蓋玻璃片就獲得了待測膜厚的金屬薄膜樣品數(shù)據(jù)記錄樣 品 標 號 1 2沉 積時間/min20 4氬 氣 壓 強/Pa 濺 射 電 流/mA5 5薄膜厚度/nm102 數(shù)據(jù)處理濺射距離 4cm,直流電壓 V=1000v,K=(氬氣 ,金 ),K=(氬氣銀 ),K=(空氣 ,金 )薄膜計算經(jīng)驗公式 : 所以 , 沉積速率誤差分析n 儀器本身存在誤差 ,使得對鍍膜室抽真空時 ,其真空度不能達到 2Pa以下 ,這樣對氬氣壓強和濺射電流有影響 ,從而使計算結果出現(xiàn)誤差 .n
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