薄膜材料物理--第一章薄膜的形成-在線瀏覽
2025-02-24 07:52本頁面
【正文】 第一章薄膜的形成 第一章 薄膜的形成 第二講 167。 成核理論 包括 ： 微滴理論 —— 熱力學(xué)方法 原子理論 —— 統(tǒng)計物理學(xué)方法 原子理論 當(dāng)原子數(shù) 100個以上的微滴，其表面能和自由能可以用塊狀材料的相應(yīng)數(shù)值。 第二講 第一章薄膜的形成 1924年 ,弗侖凱爾 (Frenkel)提出成核理論原子模型 物理模型： 臨界核 最小穩(wěn)定核 結(jié)合能 47個 原子團 47個 原子團 臨界核和最小 穩(wěn)定核隨基片 溫度的變化。 E2EP時 → 形成三角錐結(jié)構(gòu) 2E2EP時 → 可能形成四角錐結(jié)構(gòu) E2EP時 → 形成平面結(jié)構(gòu) 對于在金屬基片上沉積金屬，一般其臨界核的體積大約為 7個原子（不超過）。1 e x p /P PXPPvn v a R E E kTvn R R E kTv??? ? ???每 個 核 的 捕 獲 范 圍 =所 有 吸 附 原 子 向 臨 界 核 的 總 速 度 V=（ ）ii 10 P i 00 0 0i i0000I= A VI A VR = n ( ) e x p ( i E / k T ) e x p ( E / k T ) A ( ) e x p [ ( ) / ]vn( i 1 ) ER A n ( ) e x p ( )vniiP P XP P XnnvR a E E kTvEERakT????? ? ??所 以 成 核 速 率第二講 第一章薄膜的形成 211 P 2 h00, T .R T E E k lvnII? ? ?? ? ?1應(yīng) 用 ： 改 變 基 片 溫 度 ， 可 使 臨 界 核 從 一 種 原 子 團 過 渡 到 另 一 種 原 子 團 .因 為 在 轉(zhuǎn) 變 溫 度 時 ， 兩 種 臨 界 核 長 成 為 穩(wěn) 定 的 速 率 是 相 等 的 .例 如 ： 單 原 子 核 雙 原 子 核 求 出 轉(zhuǎn) 變 溫 度（ + ） / （ ）兩種成核理論的對比： ? 微滴理論（毛細(xì)作用理論） — 熱力學(xué) — 凝結(jié)論，適用于描述大的臨界核，可用熱力學(xué)參數(shù) . ? 原子理論 — 統(tǒng)計物理學(xué) — 原子成核與生長模型，適用于描述小的臨界核 . 第二講 第一章薄膜的形成 167。 薄膜的形成 ? 薄膜的形成順序 ： ?? ? ? ??? ? ?? ? ? ?? ? ?? ? ??? ??（ 在 新 面 積 處 ）穩(wěn) 定 核 （ 在 捕 獲 區(qū) ）單 體 的 吸 附 形 成 小 原 子 團 臨 界 核臨 界 核 （ 在 非 捕 獲 區(qū) ）大 島 大 島 連 合 溝 道 薄 膜小 島 二 次 成 核 二 、 三 次 成 核 二 、 三 次 成 核 連 續(xù) 薄 膜（ 在 溝 道 和 孔 洞 處 ）三 次 成 核薄膜的形成過程分四個階段： 小島成核，結(jié)合，溝道，
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