【正文】 +L/350 意大利 DEA 公司也是世界著名的三坐標測量儀的生產(chǎn)商之一。m) P (181。表 11 為 reference 測量儀 系列 的部分參數(shù)。 其動態(tài)指標分別為最大測量加速度 3000mm/s 或最大 測 量速度 400mm/s，平均觸測頻率 40 點 /秒。 （含全套圖紙） 值得下載 圖 11 DuraMax三坐標 測量儀 德國 LEITZ 公司憑借其在高精度 測 量領(lǐng)域積累的世界級測量技術(shù)以及豐富的應用理論知識，通過高性能，高精確度的 PMMC 三坐標 測量儀 與功能強大的工業(yè)級計量軟件 QUINDOS的結(jié)合，不斷解決來自工業(yè)各個領(lǐng)域的高精度和復雜幾何形狀的計量 需求。在國內(nèi)ZEISS 三坐標測量儀在航空、航天、汽車、電子、機械等多個行業(yè)中得到廣泛地使用。到目前為止 ZEISS 已有多項專利技術(shù)，從而使 ZEISS公司在坐標測量技術(shù)上遠遠領(lǐng)先于其它公司。 據(jù)專家們 的推測，隨著精密工程技術(shù)、尖端科技和空間技術(shù)的迅猛發(fā)展，輪廓形狀允差為 50nm～ 5nm，尺度允差為 100nm～ 10nm 的超精密零件將被廣泛使用，所以超精密測量技術(shù)和儀器工程的研究與應用已成為科學技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵因素之一。隨著近 20 年科學技術(shù)的迅速發(fā)展 , 對儀器精度要求出現(xiàn)了數(shù)量級的變化。 精密測量的研究現(xiàn)狀 精密測量技術(shù)和裝置是先進制造主要支撐技術(shù)之一，體現(xiàn)國家工業(yè)與科技水平。本課題來自北京微納精密機械有限公司，在學校和公司的商討后，確定了我的課題 ：超精密三坐標測量 儀 整機機構(gòu)設(shè)計。 （含全套圖紙） 值得下載 1 緒 論 課題的來源 為了響應教育部的號召，實施大學本科教改計劃，北京微納精密機械有限公司與中原工學院聯(lián)合實施“卓越工程師”的培養(yǎng)計劃。 Choose servo motor as a power source, and analyses the simple power calculation, analyzes the working environment of measuring apparatus to the precision of the influence and its application environment。最后針對測量儀整機進行精度分析，查找誤差源和精度的綜合分析。（含全套圖紙） 值得下載 全套圖紙，加 695132052 畢業(yè)設(shè)計論文 題目名稱： 超 精密三坐標測量 儀 整機機構(gòu)設(shè)計 摘 要 本文中，對三坐標測量儀的研究現(xiàn)狀和精密測量的關(guān)鍵技術(shù)做了總結(jié)，對所設(shè)計的測量儀的總體布局、床身的選材、導軌的設(shè)計、進給 方式的選擇做了介紹， 選用燕尾型氣體靜壓導軌，同步齒形帶和鋼帶傳動，摩擦桿進行驅(qū)動。 對移動橋和溜（含全套圖紙） 值得下載 板進行了 簡單的 ANSYS 分析 ，計算了移動橋受力時最大的變形量和直線度；選用伺服電機作為動力源，并對其進行了簡單的功率計算，分析了測量儀的工作環(huán)境對其精度的影響和它的應用環(huán)境；定位采用開式光柵尺，對光柵尺的選型做了比較。 關(guān)鍵詞 ： 超精密、氣靜壓、高精度、精密測量 （含全套圖紙） 值得下載 Three Coordinates Measuring Instrument Ultraprecision Machine ABSTRACT In this paper, three coordinates measuring instrument for precision measurement, the research present situation and the key technology of summing up, the design of measuring instrument lathe bed of the general layout, the design of the selection of materials, guide rail, into to the choice of the ways of doing introduced, choose coattails type aerostatic guide rail, synchronous cog belt and steel belt transmission, friction lever driven. Slip board of mobile bridge and the simple ANSYS analysis method, the largest mobile bridge when stress deformation and straightness。 The positioning of grating open grating feet, parison of the selection of the feet. Finally, according to the measuring apparatus for precision analysis, find the error sources and precision of the prehensive analysis. Keywords: The ultra precision, Gas static pressure, High accuracy, Precision measurement （含全套圖紙） 值得下載 目 錄 1 緒 論 ............................................................... 2 課題的來源 ...................................................... 2 課題的意義 ...................................................... 2 精密測量的研究現(xiàn)狀 .............................................. 2 精 密測量的關(guān)鍵技術(shù) ............................................. 6 2 超精密三坐標 測量儀 整機機構(gòu)介紹 ...................................... 8 總體布局 ........................................................ 8 床身材料選用 .................................................... 9 導軌的設(shè)計 ..................................................... 10 進給傳動方式的選擇 ............................................. 14 測量儀 整體結(jié)構(gòu)設(shè)計 ............................................. 16 測量儀 的工作原理 ............................................... 17 3 測量儀 的主要零部件的設(shè)計 ........................................... 18 移動橋的設(shè)計 ................................................... 18 溜板的設(shè)計 ..................................................... 19 電機選型 ....................................................... 21 環(huán)境控制平臺 ................................................... 25 光柵尺的選型 ................................................... 26 4 測量儀 精度分析 ..................................................... 28 測量儀 誤差源 ................................................... 28 測量儀 精度分 析 ................................................. 29 5 結(jié)束語 ............................................................. 32 參考文獻 .............................................................. 33 致 謝 .................................................... 錯誤 !未定義書簽。由該公司接收中原工學院大四學生來公司實習并完成畢業(yè)設(shè)計，為學生走上工作崗位提供一個鍛煉自己的平臺。 課題的意義 本課題研制的超精密三坐標測量 儀 具有重要意義：一方面將促進超精密光學、機械制造技術(shù)快速發(fā)展，填補我國相應領(lǐng)域的技術(shù)空白；另一方面將提高我 國產(chǎn)品質(zhì)量和市場競爭力以及我國測量儀器的性價比水平。國民經(jīng)濟和先進制造的不斷發(fā)展對精密測量提出了新的要求，因此，提高精密測量水平，對提升我國先進制造能力，促進國民經(jīng)濟發(fā)展具有重要意義 。從精密測量 ( m～ m)， 發(fā)展到超精密測量 ( m～ m), 近年來 又提出納米精度測量(5nm～ )的要求 。 當今世界上超精密三坐標 測量儀 在質(zhì)量和性能方面首推德國 ZEISS 公司 (即原西德 OPTON 公司 )和 LEITZ 公司。其生產(chǎn)的三坐標測量儀既有橋式測量儀，也有龍門式、懸臂式測量儀，既有生產(chǎn)型 測量儀 ，也有計量 型測量儀。 圖 11是 ZEISS 最新的 DuraMax 三坐標 測量儀 系列，代表著當今 測量儀 行業(yè)的尖端技術(shù)。 LEITZ 主要 從事研制、開發(fā)、制造超高精度坐標 測量儀 ，包括在世界高精度三坐標 測量儀 的發(fā)展歷史上具有里程碑意義的 PMM 機型 。 圖 12 為LEITZ 最新的三坐標系列 —— reference 測量儀 系列 ，和 ZE