微慣性技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與未來趨勢講義-展示頁
2025-01-12 23:02本頁面
【正文】 開展了硅微諧振式加速度計技術(shù)的研究，這種加速度計將被測加速度信號轉(zhuǎn)換成諧振器的頻率變化，直接輸出數(shù)字信號，避免了微電容檢測的弊端 . 隧道電流式加速度計 (tunneling based micromachined silicon aecelerometer， TMSA)是將微機械加工的微結(jié)構(gòu)與基于電子隧道效應(yīng)的新的高靈敏測量技術(shù)結(jié)合在一起形成的。 微慣性器件類別 ?微機電加速度計 ?微陀螺儀 微加速度計、微陀螺儀外觀 微機電加速度計發(fā)展 ? 1977年，美國斯坦福大學(xué)首先采用各向異性蝕刻與微光刻技術(shù)制成一種開環(huán)微型加速度計，并于 20世紀 8O年代初首次投放市場，隨后許多公司也紛紛仿效研制。 ? :可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體，或形成微傳感器數(shù)組、微執(zhí)行器數(shù)組，甚至把多種功能的器件集成在一起， 形成復(fù)雜的微系統(tǒng)。 ? :用 硅微加工工藝在一片硅片上可同時制造成百上千個微型機電裝置或完整的 MEMS。 MEMS的特 點 ? :MEMS器件 體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率 高、回應(yīng)時間短 。 美國： 微電子機械系統(tǒng)（ MEMS） （ MicroElectroMechanicalSystem） 歐洲： 微系統(tǒng)技術(shù)（ MST） （ MicroSystemTechnology） 日本： 微機械（ Micromachine ） MEMS簡介 微機電系統(tǒng)的尺寸 在微小尺寸范圍內(nèi)，機械依其特征尺寸可以劃分為 110毫米的小型 (Mini)機械， 1微米一 1毫米的微型機械以及 1納米一 1微米的機械。微慣性技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與未來趨勢 劉志軍 2120230999 檢測技術(shù)與自動化裝置 搭訕電話： 15010311282 傳感器 信號處理 執(zhí)行器 MEMS是建立在微米 /納米技術(shù)基礎(chǔ)上的 21世紀前沿技術(shù)，對微米 /納米材料進行設(shè)計、加工、制造和控制。 MEMS是多種學(xué)科的交叉融合，應(yīng)用領(lǐng)域極為廣泛，目前已成功地應(yīng)用于汽車、電子和軍事等行業(yè)。所謂微型機械從廣義上包含了微小型和納米機械，但并非單純微小化，而是指可批量制作的集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及接口信號處理和控制電路、通訊和電源等于一體的微電子機械系統(tǒng) (MicroElectronic Mechanical SystemME MS)或 稱為微機電系統(tǒng)。 ? 2以 硅為 主要材料， 機械電器 性能 優(yōu)良。批量生產(chǎn)可大大降低生產(chǎn)成本。 ? :MEMS涉及電子、機械、材料、制造、信息與自動控制、物理、化學(xué) 和生物等多種學(xué)科，并集中了當(dāng)今科學(xué)技術(shù)發(fā)展的許多尖端成果。在 8O年代后半期，人們開始研究各種力平衡式硅微加速度計，并取得了巨大進展。 ，隧道電流硅微加速度計具有靈敏度 高、信噪比大、動態(tài)范圍廣等一系列優(yōu)點，是一種很有發(fā)展前途的新型傳感器。 懸臂梁式加速度微傳感器結(jié)構(gòu)圖 硅梁結(jié)構(gòu)圖 硅梁結(jié)構(gòu)圖 三軸式電容式加
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