微慣性技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與未來趨勢講義(編輯修改稿)
2025-01-24 23:02 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 沖擊 。 4. 測量范圍大 ， 一些 MEMS 陀螺儀測量范圍可高達數(shù)千 176。/s 缺點： 目前，各種微機械陀螺的角速度測量精度相對較低， 漂移較大。 微機械陀螺分類 微機械陀螺分類 按振動結(jié)構(gòu) 按材料 按加工方式 旋轉(zhuǎn)振動結(jié)構(gòu) 線性振動結(jié)構(gòu) 振動盤結(jié)構(gòu)陀螺 旋轉(zhuǎn)盤結(jié)構(gòu)陀螺 正交線振動結(jié)構(gòu) 非正交線振動結(jié)構(gòu) 振動平板結(jié)構(gòu) 振動梁結(jié)構(gòu) 振動音叉結(jié)構(gòu) 加速度計振動結(jié)構(gòu) 振動平板結(jié)構(gòu) 振動梁結(jié)構(gòu) 振動音叉結(jié)構(gòu) 單晶硅 多晶硅 石英 其它 硅材料 非硅材料 體微機械加工 表面微機械加工 LIGA(光刻、電鑄和注塑 ) 表面工藝制作的微結(jié)構(gòu) 體硅工藝制作的微結(jié)構(gòu) 微機械陀螺分類 微機械陀螺分類 按驅(qū)動方式 按檢測方式 壓電式 靜電式 電磁式 壓電檢測 電容檢測 壓阻式檢測 光學檢測 隧道效應(yīng)檢測 按工作模式 速率陀螺 速率積分陀螺 閉環(huán)模式 開環(huán)模式 整角模式 壓電驅(qū)動 靜電驅(qū)動電容檢測 電磁驅(qū)動壓阻檢測 隧道效應(yīng)檢測 微機械陀螺發(fā)展概述 微 機 械 陀螺以體積小 、成本低 、 抗過載能力強等優(yōu)勢 ， 可應(yīng)用于導(dǎo)航 、 制導(dǎo) 、汽車 、 電子玩具等領(lǐng)域 ， 成為世界各國研究的熱點 。 10 410 21 10210410 11101102103104角速度 [ 176。 / sec ]地球轉(zhuǎn)速 ： 4 . 2 10 3176。 / sec帶寬 [Hz]陀螺性能導(dǎo)航設(shè)備醫(yī)療應(yīng)用頭戴顯示設(shè)備定點設(shè)備平臺穩(wěn)定主動懸浮體汽車安全智能彈藥 微機械陀螺國內(nèi)外研究現(xiàn)狀 ?國外：如美國 Draper實驗室 、 ADI公司 、 Berkeley大學 ，德國 Daimler Benz公司 、 Bosch公司 ， 日本 Toyota公司 ，以及土耳其 、 芬蘭等國家 ， 已有商業(yè)化產(chǎn)品 。 ?國內(nèi)：有北京大學 、 清華大學 、 復(fù)旦大學 、 哈爾濱工業(yè)大學 、 中科院上海微系統(tǒng)所 、 中北大學等 ， 都對陀螺進行了深入的研究 ， 取得了一定的成果 ， 但無商業(yè)化產(chǎn)品 ， 處于研究階段 。 德國 Bosch公司 諧振方向 諧振方向 柯氏力方向 加速度 傳感 器 質(zhì)量塊 電流回路 加速度傳感器鍵合 電流回路 加速度 傳感器 折疊彈性梁 芬蘭赫爾辛基工業(yè)大學 土耳其安卡拉中東科技大學 日本 Murata 美國 Michigan大學 單位 結(jié)構(gòu)特點 檢測機理 靈敏度 /分辨率 噪聲 /漂移 美國 Michigan大學 振動環(huán)式 電容檢測 25Hz帶寬 下 分辨率 ?/s ?/h 日本 Mu
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