21-薄膜干涉-劈尖-牛頓環(huán)-展示頁(yè)
2025-08-02 05:59本頁(yè)面
【正文】 γ 反射光 1, 2的光程差 : 第 15章 波動(dòng)光學(xué) 根據(jù)折射定律 ?s ins in 21 nin ?又 ABADi ?s inACe??c o seAB 2tan ??則反射光 1, 2的光程差 : 39。 (2) 空氣劈尖在尖端出現(xiàn)暗紋 。 (4) 干涉條紋的移動(dòng) : 相鄰條紋間的距離 : ????nnl 2s in2 ??明條紋暗條紋條件 : 22?? ?? ne????????2)12( ??kknl 2s in?? ?第 15章 波動(dòng)光學(xué) 應(yīng)用 1 測(cè)量薄膜的厚度 L d l Nnd 2??薄膜厚度 : ? nl nl eLd 2?? ????nlLd2??lLN ? 條紋數(shù) 測(cè)量原理 在半導(dǎo)體元件生產(chǎn)中 , 測(cè)定硅片表面二氧化硅鍍膜厚度的方法 : 將薄膜的一部分磨成劈形膜 , 通過(guò)觀察垂直入射光在劈形膜上產(chǎn)生的干涉條紋 , 計(jì)算鍍膜厚度 . 第 15章 波動(dòng)光學(xué) 說(shuō)明 : ?k反映偏離直線條紋的程度 . 應(yīng)用 2 檢查光學(xué)器件表面 e ?e 測(cè)量原理 第 15章 波動(dòng)光學(xué) 若因缺陷使某處條紋移動(dòng)了一個(gè)條紋間距 , 即 ?k=1, 則 k1 k k+1 表面凸起 ? ke 1?ke k1 k k+1 表面凹陷 第 15章 波動(dòng)光學(xué) 第 15章 波動(dòng)光學(xué) 例 154. 有一玻璃劈尖 , 放在空氣中 , 劈尖夾角 ? =8?105rad. 波長(zhǎng) ?=589nm的單色光垂直入射時(shí) , 測(cè)得干涉條紋的寬
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