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鑄錠多晶硅的生產(chǎn)-展示頁(yè)

2025-05-05 05:14本頁(yè)面
  

【正文】 硅,但它的晶粒要比原始多晶硅大得多,一般為幾到幾十毫米。鑄錠硅的生產(chǎn)也是把高純多晶硅裝入到鑄錠爐中,先熔化成液態(tài),通過(guò)鑄錠爐的自動(dòng)化的操作,使液態(tài)硅自下向上緩慢地重新結(jié)晶,生成一塊大晶粒的多單晶體的鑄錠硅來(lái)。 圖 16:鑄錠爐室和熱場(chǎng)的剖面示意圖 鑄錠硅的生產(chǎn)過(guò)程簡(jiǎn)介 熱交換臺(tái)液體硅陶瓷坩堝下?tīng)t室鑄錠硅坩堝護(hù)板加熱器隔熱材料上爐室 : 把鑄錠爐室及石墨件清理干凈,把經(jīng)過(guò)氮化硅噴涂及烘烤的方形陶瓷坩堝放置到石墨底板中間,把多晶硅料和摻雜劑放入
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