【摘要】電子科技大學(xué)中山學(xué)院Chap4離子注入?核碰撞和電子碰撞?注入離子在無定形靶中的分布?注入損傷?熱退火電子科技大學(xué)中山學(xué)院離子注入?離子注入是一種將帶電的且具有能量的粒子注入襯底硅的過程,注入能量介于1KeV到1MeV之間,注入深度平均可達(dá)10nm~10um。離子劑量變動范圍,從用于閾值電壓調(diào)
2025-05-11 18:30
【摘要】離子注入技術(shù)摘要 離子注入技術(shù)是當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)對半導(dǎo)體進(jìn)行摻雜的最主要方法。本文從對該技術(shù)的基本原理、基本儀器結(jié)構(gòu)以及一些具體工藝等角度做了較為詳細(xì)的介紹,同時介紹了該技術(shù)的一些新的應(yīng)用領(lǐng)域。關(guān)鍵字 離子注入技術(shù) 半導(dǎo)體摻雜1緒論離子注入技術(shù)提出于上世紀(jì)五十年代,剛提出時是應(yīng)用在原子物理和核物理究領(lǐng)域。后來,隨著工藝的成熟,在1970年左右,這種技術(shù)被引進(jìn)半導(dǎo)體
2024-07-29 01:37
【摘要】離子注入微生物誘變育種姜巍2022E8004161057過程所2離子注入微生物誘變育種背景特點工業(yè)應(yīng)用具體方法展望背景3背景離子注入生物體誘變育種是人工誘變方法的一種新發(fā)明。已經(jīng)證實離子注入誘變,可以獲得高突變率,擴大突變
2025-01-27 02:22
【摘要】第七章離子注入?離子注入基本概念?離子注入的特點?離子注入系統(tǒng)組成?注入損傷和退火?離子注入的應(yīng)用§離子注入離子注入:將具有很高能量的雜質(zhì)離子射入半導(dǎo)體襯底中的摻雜技術(shù)。物理過程,不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。離子注入機示意圖離子源
2025-03-31 06:44
【摘要】第四章:離子注入技術(shù)問題的提出:–短溝道的形成?–GaAs等化合物半導(dǎo)體?(低溫?fù)诫s)–低表面濃度?–淺結(jié)?–縱向均勻分布或可控分布?–大面積均勻摻雜?–高純或多離子摻雜?要求掌握:–基本工藝流程(原理和工藝控制參數(shù))–選擇性摻雜的掩蔽膜(Mask)–質(zhì)量控制和檢測
2025-02-24 08:10
【摘要】半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ)第七章?離子注入原理(上)有關(guān)擴散方面的主要內(nèi)容?費克第二定律的運用和特殊解?特征擴散長度的物理含義?非本征擴散?常用雜質(zhì)的擴散特性及與點缺陷的相互作用?常用擴散摻雜方法?常用擴散摻雜層的質(zhì)量測量Distribution?according?
2025-03-07 12:18
【摘要】離子注入工藝及設(shè)備研究畢業(yè)設(shè)計論文離子注入工藝及設(shè)備研究系電子信息工程系專業(yè)微電子技術(shù)姓名班級微電103學(xué)號1001113110指導(dǎo)教師職稱講師指導(dǎo)教師
2024-08-24 13:22
2025-01-14 13:40
【摘要】Chapter?8離子注入1目標(biāo)?至少列出三種最常使用的摻雜物?辨認(rèn)出至少三種摻雜區(qū)域?描述離子注入的優(yōu)點?描述離子注入機的主要部分?解釋通道效應(yīng)?離子種類和離子能量的關(guān)系?解釋后注入退火?辨認(rèn)安全上的危害2離子注入?簡介?安全性?硬件?制程?概要3材料設(shè)計光罩IC生產(chǎn)
2025-03-07 12:19
【摘要】集成電路工藝技術(shù)講座第五講離子注入Ionimplantation引言?半導(dǎo)體工藝中應(yīng)用的離子注入是將高能量的雜質(zhì)離子導(dǎo)入到半導(dǎo)體晶體,以改變半導(dǎo)體,尤其是表面層的電學(xué)性質(zhì).?注入一般在50-500kev能量下進(jìn)行離子注入的優(yōu)點?注入雜質(zhì)不受材料溶解度,擴散系數(shù),化學(xué)結(jié)合力的限制,原則上對各種材料都可摻雜?可精確控制能量和劑量,從而精確控
2025-02-27 18:28
【摘要】半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ)第七章離子注入原理(上)有關(guān)擴散方面的主要內(nèi)容?費克第二定律的運用和特殊解?特征擴散長度的物理含義?非本征擴散?常用雜質(zhì)的擴散特性及與點缺陷的相互作用?常用擴散摻雜方法?常用擴散摻雜層的質(zhì)量測量Distributionaccordingtoerrorfunction???
2025-03-10 15:32
【摘要】1Chapter?8離子注入2目標(biāo)?至少列出三種最常使用的摻雜物?辨認(rèn)出至少三種摻雜區(qū)域?描述離子注入的優(yōu)點?描述離子注入機的主要部分?解釋通道效應(yīng)?離子種類和離子能量的關(guān)系?解釋后注入退火?辨認(rèn)安全上的危害3離子注入?簡介?安全性?硬件?制程?概要4材料設(shè)計光罩I
2025-03-07 12:22
【摘要】中國工程物理研究院碩士學(xué)位論文離子注入碳后鈾表面吸附行為研究申請學(xué)位級別:碩士專業(yè):核燃料循環(huán)與材料離子注入碳后鈾表面吸附行為研究摘要本文利用俄歇電子能譜(AE
2024-09-10 14:45
【摘要】金屬工業(yè)離子注入機項目可行性研究報告(立項+批地+貸款)編制單位:北京中投信德國際信息咨詢有限公司編制時間:二〇二二二〇二二年六月咨詢師:高建目錄目錄 2專家答疑: 4一、可研報告定義: 4二、可行性研究報告的用途 41.用于向投資主管部門備案、行政審批的可行性研究報告 52.用于向金融機構(gòu)貸款的可行性研究報告 5
2025-05-15 01:33
【摘要】第五章離子型聚合前面我們討論了自由基聚合反應(yīng)。目前工業(yè)上廣泛應(yīng)用的聚合物的反應(yīng)許多是自由基聚合。關(guān)于它的基礎(chǔ)研究開始得早,大概可以認(rèn)為有關(guān)自由基聚合反應(yīng)的理論研究體系現(xiàn)已基本完成。與此相反,離子聚合在工業(yè)上的應(yīng)用直到上世紀(jì)五十年代還較少,主要的僅有低溫陽離子聚合制備聚異丁烯、丁基橡膠及聚乙烯基醚幾個例子。
2025-05-11 05:03