納米薄膜ppt課件-展示頁(yè)
2025-05-12 03:30本頁(yè)面
【正文】 射頻加熱 在某一溫度下，如果固體或液體受到適當(dāng)?shù)母吣芰Ｗ樱ㄍǔ殡x子）的轟擊，則固體或液體中的原子通過(guò)碰撞有可能獲得足夠的能量從表面逃逸，這一將原子從表面發(fā)射出去的方式稱為濺射。在適當(dāng)?shù)臏囟认?，蒸發(fā)粒子在基片上凝結(jié)，這樣即可實(shí)現(xiàn)真空蒸發(fā)薄膜沉積。 納米薄膜材料的制備方法 薄膜制備的物理方法 薄膜制備的化學(xué)方法 納米薄膜材料的制備方法 一、薄膜制備的物理方法 物理氣相沉積（ PVD） 通過(guò)高溫加熱金屬或化合物蒸發(fā)成氣相，或者通過(guò)電子、離子、光子等荷能粒子的能量把金屬或化合物靶濺射出相應(yīng)的原子、離子、分子 (氣態(tài) )，在固體表面上沉積成固相膜，其中不涉及到物質(zhì)的化學(xué)反應(yīng) (分解或化合 )。無(wú)機(jī)納米薄膜的制備 何桂麗 納米材料概述 近 20年來(lái)納米材料和技術(shù)是一門新型學(xué)科（納米學(xué)），是富有活力，研究?jī)?nèi)涵十分豐富的科學(xué)分支，已被廣泛地應(yīng)用于微電子、冶金、化工、國(guó)防、核技術(shù)、航天、醫(yī)學(xué)和生物工程等領(lǐng)域。納米科學(xué)技術(shù)的誕生，將對(duì)人類社會(huì)生產(chǎn)力的發(fā)展產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響，并從根本上解決人類面臨的許多問(wèn)題，尤其是人類健康、能源和環(huán)境保護(hù)等重大問(wèn)題，科學(xué)家們預(yù)言納米技術(shù)將在未來(lái)發(fā)揮巨大作用。 由于粒子發(fā)射可以采用不同的方式，因而物理氣相沉積技術(shù)呈現(xiàn)出多種不同形式： 在 真空 蒸發(fā)技術(shù)中，人們只需要產(chǎn)生一個(gè)真空環(huán)境，在真空環(huán)境下，給待蒸發(fā)物提供足
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