【正文】 應(yīng)符合下列規(guī)定1．在發(fā)生硅烷火災(zāi)時(shí)，在沒有關(guān)閉泄漏鋼瓶之前，嚴(yán)禁撲滅硅烷火焰。 排風(fēng)管路嚴(yán)禁穿越防火分區(qū)防火墻?？照{(diào)系統(tǒng)風(fēng)管保溫應(yīng)采用不燃或難燃保溫材料?？照{(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作。硅烷站排風(fēng)系統(tǒng)、空調(diào)系統(tǒng)電源應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。硅烷站空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)采用適當(dāng)措施保證在空調(diào)機(jī)組維護(hù)或故障時(shí)，硅烷站能取得足夠的補(bǔ)風(fēng)。硅烷站排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用機(jī)組。硅烷站外應(yīng)設(shè)置緊急按鈕。 當(dāng)氣柜無具體要求時(shí)，室內(nèi)設(shè)計(jì)參數(shù)宜滿足25177。 采用開放式布置的硅烷站，應(yīng)采取有效的措施，保證自然通風(fēng)，防止硅烷氣體積聚。火焰或感溫探測器應(yīng)與報(bào)警系統(tǒng)和緊急切斷系統(tǒng)聯(lián)動。開放式輸送系統(tǒng)大宗鋼瓶區(qū)域必須設(shè)置紫外/紅外火焰探測器。環(huán)境監(jiān)測點(diǎn)設(shè)定值不應(yīng)小于5ppm，報(bào)警但不需要切斷輸送系統(tǒng)。 硅烷站的電氣控制室應(yīng)設(shè)置在單獨(dú)的房間內(nèi)，并用無門窗洞口的防爆墻與硅烷氣瓶庫隔開。防火隔斷的設(shè)置不應(yīng)影響自然通風(fēng)。 硅烷站可采用有坡度的屋頂。硅烷站的建筑設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的規(guī)定。3 與高層廠房的防火間距，應(yīng)按本表相應(yīng)增加3m。2A 以上的室外變、配電站工業(yè)企業(yè)的變壓器總油量大于 5t 的室外降壓變電站3040廠外鐵路線中心線40廠內(nèi)鐵路線中心線30廠外道路路邊20廠內(nèi)道路路邊主要10三級耐火建筑2025硅烷站儲量（t）≤55重要公共建筑50甲類倉庫20民用建筑、明火或散發(fā)火花地點(diǎn)硅烷站與工廠建筑物、構(gòu)筑物的防火間距。硅烷站的選址應(yīng)方便運(yùn)輸和消防車輛的進(jìn)出。如果有障礙物，距離應(yīng)保證大于障礙物高度的2倍。大宗硅烷站必須布置為獨(dú)立的開敞式建筑物或空曠區(qū)域，不得有地下室。4 硅烷站應(yīng)采用單層鋼筋混凝土或鋼框架、排架結(jié)構(gòu)。應(yīng)布置在工廠常年最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)遠(yuǎn)離有明火或散發(fā)火花的地點(diǎn)；2 　硅烷站的布置 硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)采用金屬膜片的波紋管閥、隔膜閥、調(diào)壓閥。硅烷站的各安全出口應(yīng)設(shè)置手動緊急切斷按鈕。 硅烷的放空不得排入局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)直接排到大氣，或燃燒式尾氣處理器。閥門箱應(yīng)配置惰性氣體吹掃系統(tǒng)、泄漏偵測和火焰?zhèn)蓽y。硅烷應(yīng)采用獨(dú)立的惰性氣體鋼瓶進(jìn)行吹掃，不得采用公用管道氮?dú)獯祾摺５湫偷墓柰闅怏w面板應(yīng)包括減壓過濾、吹掃/排氣、安全控制等功能。硅烷輸送工藝系統(tǒng)應(yīng)包括硅烷容器、氣體面板、閥門箱以及相應(yīng)的連接管道。硅烷站應(yīng)根據(jù)工藝要求、當(dāng)?shù)貧夂驙顩r、硅烷設(shè)備狀況選擇采用封閉式、開敞式或露天形式進(jìn)行布置。用戶對硅烷純度及壓力要求4 硅烷的危險(xiǎn)性質(zhì)2 　硅烷工藝系統(tǒng)3 自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體的排氣濃度超過燃燒下限20%或最大允許濃度10%時(shí)，必須經(jīng)過尾氣處理裝置處理后排入廠房排氣系統(tǒng)。工藝排氣與廢氣處理1 特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮?dú)庀♂屌c連續(xù)吹掃，防止空氣倒流造成污染和腐蝕。真空發(fā)生器宜采用氮?dú)鈱?shí)現(xiàn)抽真空功能；2 吹掃氮?dú)獾臍怏w面板設(shè)置包括下列部件：1）壓力調(diào)節(jié)閥；2）排氣管；3）高低壓截止閥；4）高低壓壓力指示；5）安全閥 吹掃氮?dú)夤芫€必須設(shè)置止回閥。自燃、可燃、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)鈶?yīng)與獨(dú)立的氮?dú)庠催B接，不得與公用氮?dú)饣蚬に嚨獨(dú)庀到y(tǒng)相連；2 　吹掃和排氣系統(tǒng)自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體系統(tǒng)的閥門箱應(yīng)設(shè)有：1）進(jìn)氣管路隔離閥門及壓力指示單元；2）各分支路獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)、過濾器、過流開關(guān)單元；3）各分支路獨(dú)立的進(jìn)出口隔離閥門；4）各分支路獨(dú)立的吹掃氮?dú)饣蚨栊詺怏w單元；5）各分支路獨(dú)立的輔助抽真空單元等2 用液點(diǎn)設(shè)置鼓泡器或蒸發(fā)器，將液體化學(xué)品鼓泡或直接蒸發(fā)，以汽化形式輸送至工藝反應(yīng)設(shè)備。液態(tài)特種氣體系統(tǒng)包括獨(dú)立放置的液體槽罐、液體輸送柜、連接回型管、推動氣體單元、載氣單元、吹掃氮?dú)鈫卧?、電氣控制柜與溫度控制裝置。 6大宗特種氣體輸送系統(tǒng)宜單獨(dú)建站，或置于單獨(dú)的氣體房，并考慮消防間距和物流通道等；5；3 大宗特種氣體輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列裝置1 氣瓶柜的負(fù)壓應(yīng)持續(xù)監(jiān)控；2. 自燃性氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外紅外火焰探測器；3. 可燃與自燃性氣瓶柜應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)，但是ClF3氣瓶柜不應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)；4. 自燃性氣體氣瓶柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板。各種特種氣體面板均應(yīng)設(shè)置工藝氣體排氣口； 自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有惰性氣體吹掃系統(tǒng)；4 自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有緊急關(guān)斷閥門，并應(yīng)為常閉氣動閥門，位置盡量靠近氣瓶端；2 13氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標(biāo)示牌；1210 自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置氣體泄漏探測器；9 系統(tǒng)的供應(yīng)能力必須經(jīng)過相應(yīng)的熱力學(xué)和流體力學(xué)計(jì)算核實(shí)；7不相容氣體瓶嚴(yán)禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；5氧化性和惰性氣體的氣瓶架用氣瓶容積不得大于50L；3 特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜與氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定1 不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不應(yīng)接入同一排風(fēng)系統(tǒng)。不相容的特種氣體的排氣管道不應(yīng)接入同一排氣系統(tǒng)。特種氣體工藝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對特種氣體使用的安全操作、工藝參數(shù)、污染控制的要求。電子工廠的特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列裝置：1. 儲存與送氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格；2. 氣體輸送與分配用閥門箱或閥門盤；3. 輔助氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)；4. 尾氣排放處置系統(tǒng)。4　特種氣體工藝系統(tǒng)2 特種氣體系統(tǒng)的電氣控制盤、儀表控制盤的布置，應(yīng)符合下列規(guī)定：1 硅烷站內(nèi)長鋼瓶拖車宜放置在硅烷站的室外空曠地坪。布置應(yīng)考慮維修與運(yùn)轉(zhuǎn)空間。 同時(shí)具有可燃性和毒性氣體應(yīng)放在可燃性氣體間 不相容的特種氣體的氣瓶架應(yīng)布置在不同房間里，如果布置在同一房間，氣瓶柜架之間的距離應(yīng)大于6米。獨(dú)立布置的特種氣體站有硅烷站、氨氣站等。布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間根據(jù)氣體性質(zhì)宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間/腐蝕性氣體間、惰性氣體間。特種氣體依其物性及安全特性，將其分為可燃性、毒性、腐蝕性、氧化性、惰性氣體。布置在單獨(dú)建構(gòu)筑物或區(qū)域內(nèi)的特種氣體站，可采用氣瓶集裝格、臥式氣瓶、槽車、長管拖車向生產(chǎn)線供應(yīng)特種氣體。 低蒸汽壓力特種氣體供應(yīng)設(shè)施應(yīng)盡可能靠近工藝設(shè)備。集合工藝設(shè)備的布置情況，生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間應(yīng)集中布置在生產(chǎn)廠房一樓靠外墻的區(qū)域。當(dāng)生產(chǎn)廠房內(nèi)的氣體儲量超過規(guī)定數(shù)量時(shí)，應(yīng)設(shè)計(jì)獨(dú)立的特種氣體站。布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間，可采用氣瓶柜、氣瓶架、臥式氣瓶、氣瓶集裝格向生產(chǎn)線供應(yīng)特種氣體。特種氣體站房包括布置在單獨(dú)建構(gòu)筑物或區(qū)域內(nèi)的特種氣體站和布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間。3　特種氣體站房 ISO標(biāo)準(zhǔn)儲罐inpatible不同氣體混合后即發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，釋放出能量并對環(huán)境產(chǎn)生危害作用的特性。 外向檢漏 cross seat he leak test采用閥門上游充氦氣，下游抽真空，檢測泄漏率的方法。 內(nèi)向檢漏 open area立柱和墻面遮擋部分小于周長的25%的建筑。 氣體面板 bulk silane system是指容器水容積超過250L的硅烷系統(tǒng)，包括鋼瓶集裝格、Y鋼瓶、長管拖車(T/T)、ISO標(biāo)準(zhǔn)儲罐，以及數(shù)量超過7個(gè)的獨(dú)立小鋼瓶系統(tǒng)。 工廠設(shè)備管理控制系統(tǒng)它可以對現(xiàn)場的運(yùn)行設(shè)備進(jìn)行監(jiān)視和控制，以實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、設(shè)備控制、測量、參數(shù)調(diào)節(jié)以及各類信號報(bào)警等各項(xiàng)功能。數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制系統(tǒng) vent特種氣體設(shè)備與系統(tǒng)中排出的本質(zhì)氣體。 吹掃electropolished pipe經(jīng)電化學(xué)拋光，使表層實(shí)際面積得到最大程度的減少,表面產(chǎn)生一層較厚的封閉的氧化鉻膜的電化學(xué)拋光無縫不銹鋼管。 BA管 annealed and pickled pipe經(jīng)過酸洗或鈍化、去除表面殘存顆粒的鈍化無縫不銹鋼管。 過流開關(guān)restrict flow orifice(RFO)限定系統(tǒng)最大流量的一種裝置。 惰性氣體 oxygenize gas是指在一定條件下，與材料接觸會產(chǎn)生較為劇烈的失去電子的化學(xué)反應(yīng)的氣體。腐蝕性氣體toxic gasLC50超過200ppm但不超過2000ppm的氣體?？扇?xì)怏w pyrophoric gas在空氣中會發(fā)生自動燃燒的氣體。ycylinder/tcylinder用于儲存較多特種氣體的氣瓶。 爆炸濃度下限值 threshold limit value(TLV)工作環(huán)境空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值。 氣體管理系統(tǒng) gas detector system(GDS)設(shè)置在特種氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤、及其它特種氣體輸送設(shè)備與管道所覆蓋區(qū)域，通過檢測本質(zhì)氣體或關(guān)聯(lián)氣體在空氣中的含量來判斷本質(zhì)氣體的泄漏，從而發(fā)出聲光報(bào)警信號、提供應(yīng)急處理數(shù)據(jù)的系統(tǒng)。 尾氣處理裝置 low vapor pressure gas。 閥門盤 VMB需設(shè)置泄漏氣體排氣管接口和風(fēng)壓事故報(bào)警。閥門箱 氣瓶架有手動、半自動、全自動三類。氣瓶架 氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。gas cabinet (GC)特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、壓力監(jiān)測及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。 the bundle of gas cylinders用專用金屬框架固定，采用集氣管將多只氣體鋼瓶接口并聯(lián)組合的氣體鋼瓶組單元。 實(shí)瓶 empty cylinder留有殘余壓力的氣體鋼瓶。 sparking site 明火地點(diǎn) silane station是指放置硅烷儲存設(shè)備（氣瓶、氣瓶集裝格、Y鋼瓶、長管拖車或ISO標(biāo)準(zhǔn)儲罐）、硅烷氣化裝置及尾氣處理裝置、電氣裝置等，并通過管道向用氣生產(chǎn)廠房供應(yīng)硅烷氣體的獨(dú)立建構(gòu)筑物或區(qū)域。 特種氣體間 speciality gas system特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現(xiàn)場的特種氣體的儲存、輸送與分配全過程的設(shè)備、管道和部件的總稱。 specialily gas用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。 2　術(shù) 為了在電子工廠特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)和施工中正確貫徹國家法律、法規(guī)，確保安全可靠，保護(hù)環(huán)境，滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求，保護(hù)人身和財(cái)產(chǎn)安全，做到安全適用、技術(shù)先進(jìn)，經(jīng)濟(jì)合理。 則|字號閥門氣瓶管道特種標(biāo)簽：氣體|分類：特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范20110407 08:31:54|默認(rèn)分類訂閱1　總 制定本規(guī)范。本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工廠的特種氣體輸送系統(tǒng)工程的設(shè)計(jì)和施工。本規(guī)范不適用特種氣體的制取、提純、灌裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工。特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工除應(yīng)符合本規(guī)范的規(guī)定外，應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。 語特種氣體通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。特種氣體系統(tǒng) speciality gas room是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備，并通過管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。硅烷站 open flame site室內(nèi)外有外露的火焰或赤熱表面的固定地點(diǎn)。散發(fā)火花地點(diǎn) 散發(fā)火花的煙囪或室外電焊、砂輪、氣焊等固定地點(diǎn)?？掌? full cylinder存有氣體的氣瓶中保存有氣體壓力的氣瓶，特種氣體氣瓶一般水容積為40L、448L等各種容積。氣瓶集裝格 氣瓶的個(gè)數(shù)分別為9個(gè)、12個(gè)、16個(gè)不等，單個(gè)氣瓶的水容積通常為40~50L。氣瓶柜 排風(fēng)管配置泄漏探頭。 gas rack (GR)特種氣體使用的開放式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、吹掃裝置、氣體終端過濾器、緊急切斷閥、壓力監(jiān)測及報(bào)警等安全設(shè)施。 valve manifold box (VMB)特種氣體在輸送過程中使用的封閉式管道分配部件，VMB在氣體入口配置氣動閥、手動閥，各支管可配置手動閥、壓力表、過濾器等組件，除SiH2ClWF6等低蒸汽壓力氣體外，VMB各支管可根據(jù)需要設(shè)置調(diào)壓閥。 valve manifold panel (VMP)特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配部件，VMP在氣體入口配置氣動閥、手動閥，各支管應(yīng)配置手動閥、壓力表、過濾器等組件，VMP各支管可根據(jù)需要設(shè)置調(diào)壓閥。低蒸汽壓力氣體 local scrubber用于處理易燃、易爆、有毒、有腐蝕性等氣體的排氣與吹掃氣體的裝置，處理后的尾氣達(dá)到規(guī)定排放濃度，并排入用氣車間的排氣管道。氣體探測系統(tǒng) gas management system(GMS)包含特種氣體探測系統(tǒng)、應(yīng)急處理系統(tǒng)、工作管理系統(tǒng)、監(jiān)視系統(tǒng)、數(shù)據(jù)輸送與處理系統(tǒng)的氣體管理與控制系統(tǒng)的統(tǒng)稱。最高允許濃度值 low explosion limit(LEL)可燃?xì)怏w在空氣或氧化氣體中發(fā)生爆炸的濃度下限值。臥式氣瓶 一般水容積為500L，1000L。 自燃?xì)怏w flammable gas指與空氣（或氧氣）能夠形成一定濃度的混合氣態(tài)，并遇到火源會發(fā)生燃燒或爆炸的氣體。 毒性氣體 corrosive gas是指在一定條件下，對材料或人體組織接觸產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)引起可見破壞或不可逆反應(yīng)的氣體。 氧化性氣體 inert gas在一般情況下與其它物質(zhì)不會產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的氣體。限流孔板 excess flow switch(EFS)流量超出設(shè)定值時(shí)，給出開關(guān)信號。AP管 bright annealing pipe經(jīng)加氫或真空狀態(tài)高溫?zé)崽幚恚齼?nèi)部應(yīng)力并在管道表面形成一層鈍化膜的光亮無縫不銹鋼管。EP管 purg