【正文】 F惰性氧化性腐蝕性毒性可燃性自燃性水反應(yīng)性健康等級(jí)燃燒等級(jí)反應(yīng)等級(jí)LC50 (ppm)TLVTWA (ppm)LFLUFL乙炔C2H2G250F043%100%氨氣NH3L114CLTF31073382515%28%氬氣ArG2640I000砷化氫AsH3L203HTF44220%78%三溴化硼B(yǎng)Br3LCTW3023801三氯化硼B(yǎng)Cl3LCT3125415二氧化碳CO2L838I000一氧化碳COG2000LTF34037602512%75%氯氣Cl2LOCT400293三氟化氯ClF3LOCTW403299已硼烷B2H6G2100CHTFPW44380%88%二氯二氫硅SiH2Cl2LCTFW4423145%96%F14CF4G2000I000F23CHF3L611I000F32CH2F2L232F04014%31%F41 [氟化甲基]CH3FL538F040F116 [六氟乙烷]C2F6LI000FC418 [八氟化五碳]C5F8LT31011242氟氣F2G400OCHTW4041851鍺化四氫GeH4G638TFP443571%30%氦氣HeG2640I000氫氣H2G2640F040%75%溴化氫HBrL301CT30028603氯化氫
。FLC50 (ppm) – CGATLVTWA (ppm) ACGIHLFL % in airUFL % in air分子量比重 (air =1)比容. ft^3/lb臨界溫度. (F)臨界壓力. (psig)C2H2G250%100%NH3L11473382515%28%ArG2640AsH3L20320%78%BBr3L3801BCl3L25415CO2L838COG200037602512%75%Cl2L293ClF3L299B2H6G210080%88%SiH2Cl2L3145%96%CF4G2000CHF3L611CH2F2L23214%31%CH3FL538C2F6LC5F8L11242F2G4001851GeH4G638571%30%HeG2640H2G2640%75%HBrL30128603HClL614312051185HFL13003574H2SL24971210%46%CH4G2400%15%NOG40011525N2G2640NF3G1450670010N2OL73750O2G2640PH3L47920%98%SiH4G126019k5%97%SiCl4L7505SiF4G1000450SO2L25202SF6L2951000SiHCl3L10405%83%WF6L2173XeG645附錄B　電子工業(yè)用特種氣體舉例測(cè)試軟件系統(tǒng)圖形與實(shí)際系統(tǒng)的一致性、操作系統(tǒng)、登錄安全級(jí)別、遠(yuǎn)程登錄、歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ)位置、短信通知、通訊協(xié)議、反應(yīng)速度等。測(cè)試系統(tǒng)啟動(dòng)、報(bào)警解除步驟。對(duì)照設(shè)計(jì)文件，檢查內(nèi)存和硬盤(pán)容量、CPU、控制箱面板、輸入輸出設(shè)備位置和數(shù)量、電纜規(guī)格、電源、接地等。 特種氣體探測(cè)器對(duì)照設(shè)計(jì)文件檢查氣體探測(cè)器的類(lèi)型、報(bào)警設(shè)定值(應(yīng)小于TLVTWA)、探頭標(biāo)定時(shí)間、安裝位置、數(shù)量、排放管道位置、電源信號(hào)接線(xiàn)、出廠質(zhì)量文件等。氧分測(cè)試完畢后，應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告。推薦測(cè)試指標(biāo)：20ppbv，測(cè)試氣體氧分增量；4 特氣管道需要氧分測(cè)試時(shí)，吹掃速度低于管道設(shè)計(jì)流速的10%，且小于50slpm；2 測(cè)試結(jié)果達(dá)到后，數(shù)值需保持穩(wěn)定或下降趨勢(shì)20分鐘后，測(cè)試結(jié)束；5 應(yīng)首先測(cè)試氣源純度；合格后再進(jìn)行樣品測(cè)試；3 特種氣體水分測(cè)試要求1 推薦測(cè)試指標(biāo)：（即≤1 pcs ）；連續(xù)3次合格則測(cè)試完成；4 2 測(cè)試完畢后，應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告。 檢測(cè)漏點(diǎn)修補(bǔ)后，必須重新經(jīng)過(guò)保壓測(cè)試，然后才能再進(jìn)行氦檢漏；9 外向測(cè)漏法測(cè)試不得高于１x106 7 內(nèi)向測(cè)漏法測(cè)試不得高于1x109 53 所有可能泄漏點(diǎn)需要用塑料袋隔離；2壓力試驗(yàn)合格后，應(yīng)和施工單位一同填寫(xiě)“管道系統(tǒng)壓力試驗(yàn)記錄”,?？紤]溫度修正后，壓降值不得超過(guò)1%；6 6 54 壓力試驗(yàn)前焊縫及其它待檢部位應(yīng)未進(jìn)行絕熱，待試管道與無(wú)關(guān)系統(tǒng)已用盲板或采取其它措施隔開(kāi)，待試管道上的安全閥、爆破板及儀表元件等已經(jīng)拆下或加以隔離；3 壓力試驗(yàn)采用氣壓試驗(yàn)，試驗(yàn)氣體宜采用高純氮?dú)饣驓鍤?。進(jìn)行管道通氣試驗(yàn)，檢查管線(xiàn)連接正確： 文件檢驗(yàn)1 檢查管道組成件的質(zhì)量文件；2 檢查施工過(guò)程中的焊樣、焊接日志。檢查焊接管道特別是彎管處是否有裂縫；3 外觀檢驗(yàn)1 設(shè)備供應(yīng)商提供現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備功能調(diào)試報(bào)告。 控制部件驗(yàn)收：根據(jù)控制邏輯，檢查各監(jiān)測(cè)和聯(lián)動(dòng)部件的功能，包括壓力傳感器、電子秤、過(guò)流開(kāi)關(guān)、高溫開(kāi)關(guān)、火焰探測(cè)器、負(fù)壓開(kāi)關(guān)、緊急切斷、輸入電源、輸入輸出信號(hào)、接地保護(hù)、功能聯(lián)動(dòng)測(cè)試等。參見(jiàn)管路與系統(tǒng)驗(yàn)收章節(jié)。機(jī)械部件驗(yàn)收對(duì)照流程圖、配置表、鋼瓶接口形式等設(shè)計(jì)參數(shù)進(jìn)行檢驗(yàn)，包括管道橫平豎直、焊接質(zhì)量、調(diào)節(jié)閥規(guī)格和流向、氣動(dòng)/手動(dòng)閥門(mén)規(guī)格和流向、單向閥規(guī)格和流向、微漏閥規(guī)格和流向、壓力變送器/壓力表規(guī)格、過(guò)濾器規(guī)格、過(guò)流開(kāi)關(guān)規(guī)格和安裝方向、安全閥流向和設(shè)定壓力、VCR安裝、管道支架安裝、吹掃入口管徑、工藝出口管徑、排放口管徑、危險(xiǎn)標(biāo)簽等。 特種氣體系統(tǒng)的驗(yàn)收應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道工程質(zhì)量檢驗(yàn)評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)》GB50184和《工業(yè)金屬管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB50235的規(guī)定。特種氣體系統(tǒng)驗(yàn)收包括設(shè)備驗(yàn)收、管路系統(tǒng)驗(yàn)收和氣體探測(cè)/監(jiān)控系統(tǒng)驗(yàn)收等?！∩踩O(shè)施安裝 施工人員在生產(chǎn)、施工區(qū)域內(nèi)，嚴(yán)禁任意搬弄各種閥門(mén)、開(kāi)關(guān)、按鈕； 特種氣體報(bào)警裝置的安裝應(yīng)符合設(shè)計(jì)規(guī)定，并滿(mǎn)足下列要求：1 ，報(bào)警裝置探頭應(yīng)安裝在所處場(chǎng)所的頂部；2 ，；13　特種氣體系統(tǒng)驗(yàn)收 　尾氣處理裝置的安裝 特種氣體系統(tǒng)安裝完成后檢查系統(tǒng)的設(shè)備、管道、配件及閥門(mén)的規(guī)格、型號(hào)、材質(zhì)及連接形式應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。 特種氣體系統(tǒng)安裝完成后應(yīng)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行檢驗(yàn)。進(jìn)入潔凈室(區(qū))作業(yè)的人數(shù)應(yīng)控制：潔凈度為5級(jí)和更嚴(yán)的潔凈室(區(qū))，低于5級(jí)的潔凈室(區(qū))。施工完畢、測(cè)試合格后，應(yīng)將管道系統(tǒng)的空氣用氮?dú)獯祾吒蓛舨⑹构艿老到y(tǒng)處于正壓狀態(tài)。改造管道在切割前應(yīng)保持常壓，施工人員必須穿戴防護(hù)用品；嚴(yán)禁管內(nèi)真空狀態(tài)下進(jìn)行切割。 施工前必須將管道內(nèi)的氣體用高純氮?dú)獬浞种脫Q，且應(yīng)將管道系統(tǒng)抽真空處理,； 被置換出的氣體必須經(jīng)過(guò)尾氣處理器處理,達(dá)標(biāo)排放。對(duì)于切割改造工作必須提前在被切割管道全線(xiàn)和切割處明顯標(biāo)示，被標(biāo)示管道現(xiàn)場(chǎng)需得到業(yè)主和施工方的技術(shù)人員確認(rèn)，嚴(yán)防誤操作。 施工人員嚴(yán)禁進(jìn)入與施工無(wú)關(guān)的區(qū)域；6 施工中進(jìn)行焊接等明火作業(yè)時(shí)，必須取得建設(shè)單位簽發(fā)的動(dòng)火許可證及動(dòng)用消防設(shè)施許可證；4內(nèi)容應(yīng)包含重點(diǎn)部位、作業(yè)過(guò)程注意事項(xiàng)，危險(xiǎn)作業(yè)過(guò)程的監(jiān)控，應(yīng)急預(yù)案，緊急聯(lián)系電話(huà)和專(zhuān)門(mén)負(fù)責(zé)人，對(duì)潛在的危險(xiǎn)向施工人員進(jìn)行詳盡的技術(shù)交底；2 改建、擴(kuò)建、尚應(yīng)符合下列規(guī)定：1 5雙套管的內(nèi)管和外管之間應(yīng)安裝彈簧進(jìn)行隔離，內(nèi)管和外管不得直接接觸； 內(nèi)管焊接完成后應(yīng)先做壓力試驗(yàn)和氦檢漏,確認(rèn)內(nèi)管無(wú)泄露后,才可以焊接外管上的滑套。雙套管焊接施工時(shí)，先實(shí)施內(nèi)管的焊接，在焊口處必須安裝滑套；23，伴熱保溫系統(tǒng)應(yīng)裝有溫控和報(bào)警裝置；4，低蒸汽壓氣體設(shè)備擺放時(shí)應(yīng)考慮盡量縮短管道的長(zhǎng)度；管路應(yīng)安裝伴熱帶并用保溫棉包覆管路；2 多條管道共同鋪設(shè)時(shí)應(yīng)成排成行，閥門(mén)應(yīng)集中放置； 吹掃氮?dú)狻鈩?dòng)氮?dú)?、儀表氮?dú)獾墓艿揽蓮母晒芙映?，分支宜向上且不得從干管的彎管處接出；從多根成排管道上分別引出支管時(shí)，應(yīng)交錯(cuò)有序布置；14 12 ，；11 管道平行敷設(shè)中心間距，當(dāng)管外徑在6㎜～12mm或1／4＂～1／2＂之間時(shí)應(yīng)不小于20mm。 支架不得采用氣割，應(yīng)采用機(jī)械切割，切割后的端頭應(yīng)倒角并用環(huán)氧漆處理后加蓋塑料封頭；8 管道支架、吊架必須在剛性結(jié)構(gòu)上設(shè)置固定支架。管道貫穿過(guò)沉降縫或伸縮縫時(shí)，配管應(yīng)做成能吸收來(lái)自三個(gè)方向外力的鉸接式補(bǔ)償器；5 室內(nèi)配管應(yīng)采用專(zhuān)用支架，不得利用工藝設(shè)備、排風(fēng)管及其他系統(tǒng)管道的支架，支架可用不銹鋼、噴塑型鋼或鋁制品專(zhuān)用支架，且與管卡相匹配；管卡宜使用不銹鋼卡，采用碳鋼管卡時(shí)，管卡應(yīng)鍍鎳；3 特種氣體室內(nèi)管道配管應(yīng)符合下列規(guī)定：1管道穿墻部位應(yīng)加套管，套管內(nèi)應(yīng)使用難燃材料填充套管與管道間的間隙，㎜～，并用密封膠收縫；12特種氣體管采用有蓋槽式不銹鋼橋架或鋁制橋架時(shí)，應(yīng)采用樹(shù)脂薄板將不銹鋼槽式橋架與鋼制的綜合支架隔離；10室外支架應(yīng)進(jìn)行強(qiáng)度計(jì)算，并應(yīng)考慮地震、強(qiáng)臺(tái)風(fēng)的影響；8 預(yù)制的每個(gè)單元管線(xiàn)均應(yīng)采用高純氮?dú)饣蚋呒儦鍤獯祾撸? 室外焊接作業(yè)前應(yīng)將包裝袋內(nèi)的定尺管段放在管架上進(jìn)行預(yù)連接，管內(nèi)應(yīng)保持2L～5L／min氬氣流量；3特種氣體室外配管應(yīng)符合下列規(guī)定：1 焊縫合格標(biāo)準(zhǔn)為管內(nèi)、管外焊縫突起高為不大于管道壁厚的10%，,內(nèi)焊道應(yīng)不小于外焊道的2/3寬,焊縫不得有下陷、未焊透、不同軸、咬邊等缺陷, 焊道內(nèi)表面無(wú)氧化。 焊接前應(yīng)編制焊接作業(yè)指導(dǎo)書(shū)，焊接過(guò)程中應(yīng)做焊接記錄，焊口應(yīng)統(tǒng)