【正文】 成，未經許可，嚴禁操作。對于切割改造工作必須提前在被切割管道全線和切割處明顯標示，被標示管道現(xiàn)場需得到業(yè)主和施工方的技術人員確認，嚴防誤操作。 施工前必須將管道內的氣體用高純氮氣充分置換，且應將管道系統(tǒng)抽真空處理,； 被置換出的氣體必須經過尾氣處理器處理,達標排放。 改造管道在切割前應保持常壓，施工人員必須穿戴防護用品；嚴禁管內真空狀態(tài)下進行切割。 施工完畢、測試合格后，應將管道系統(tǒng)的空氣用氮氣吹掃干凈并使管道系統(tǒng)處于正壓狀態(tài)。 進入潔凈室(區(qū))作業(yè)的人數(shù)應控制：潔凈度為5級和更嚴的潔凈室(區(qū))，低于5級的潔凈室(區(qū))?！√胤N氣體系統(tǒng)的檢驗 特種氣體系統(tǒng)安裝完成后應對系統(tǒng)進行檢驗。 特種氣體系統(tǒng)安裝完成后檢查系統(tǒng)的設備、管道、配件及閥門的規(guī)格、型號、材質及連接形式應符合設計要求。支架設置應合理牢靠，焊縫外觀質量檢查合格。 管道施工完畢，應逐點檢查每個系統(tǒng)連接的正確性，閥門應有與圖紙相同的編號，并有顯示開關的狀態(tài)顯示牌?！∥矚馓幚硌b置的安裝 尾氣處理裝置安裝除執(zhí)行本規(guī)范外，尚應符合現(xiàn)行國家標準《機械設備安裝工程施工及驗收通用規(guī)范》的規(guī)定。 尾氣處理裝置的安裝人員必須經培訓考核持證上崗。 尾氣處理裝置的基礎必須堅固平整，設備的水平度不得大于3‰。 系統(tǒng)閥門應開關靈活，鎖定裝置可靠。 每個系統(tǒng)的管線及閥門都應貼上正確醒目的標識。 尾氣排氣系統(tǒng)的管道必須經過脫脂處理，嚴禁使用含有油份的管道?！∩踩O施安裝 施工人員在生產、施工區(qū)域內，嚴禁任意搬弄各種閥門、開關、按鈕； 特種氣體報警裝置的安裝應符合設計規(guī)定，并滿足下列要求：1 ，報警裝置探頭應安裝在所處場所的頂部；2 ，；13　特種氣體系統(tǒng)驗收　一般規(guī)定 特種氣體系統(tǒng)驗收包括設備驗收、管路系統(tǒng)驗收和氣體探測/監(jiān)控系統(tǒng)驗收等。 特種氣體系統(tǒng)的驗收應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道工程質量檢驗評定標準》GB50184和《工業(yè)金屬管道工程施工及驗收規(guī)范》GB50235的規(guī)定。　設備驗收 機械部件驗收對照流程圖、配置表、鋼瓶接口形式等設計參數(shù)進行檢驗，包括管道橫平豎直、焊接質量、調節(jié)閥規(guī)格和流向、氣動/手動閥門規(guī)格和流向、單向閥規(guī)格和流向、微漏閥規(guī)格和流向、壓力變送器/壓力表規(guī)格、過濾器規(guī)格、過流開關規(guī)格和安裝方向、安全閥流向和設定壓力、VCR安裝、管道支架安裝、吹掃入口管徑、工藝出口管徑、排放口管徑、危險標簽等。檢查出廠各項儀器測試報告，包括保壓、氦檢、顆粒度、水分、氧分等測試。參見管路與系統(tǒng)驗收章節(jié)。 控制部件驗收：根據(jù)控制邏輯，檢查各監(jiān)測和聯(lián)動部件的功能，包括壓力傳感器、電子秤、過流開關、高溫開關、火焰探測器、負壓開關、緊急切斷、輸入電源、輸入輸出信號、接地保護、功能聯(lián)動測試等。設備供應商提供現(xiàn)場設備功能調試報告。 尾氣處理設備驗收：外觀檢查：根據(jù)設計文件，檢查尾氣處理器的型號、流程、配管、配電、儀表量程、標簽、說明書、出廠測試報告等；性能檢查：測量儀表顯示、本體阻力、漏風率、噪音、滴漏、處理量、去除效率、報警連鎖測試、緊急切斷等。設備供應商提供現(xiàn)場設備功能調試報告?！」苈放c系統(tǒng)驗收 外觀檢驗1 檢查管件的安裝位置和方向是否符合照流程圖；2 檢查焊接管道特別是彎管處是否有裂縫；3 檢查管道對焊是否符合下列要求：凹陷度10%管壁厚；凸起度10%管壁厚；錯邊量10%管壁厚；；色澤無明顯變色；焊縫偏斜度20%焊縫寬度。 文件檢驗1 檢查管道組成件的質量文件；2 檢查施工過程中的焊樣、焊接日志。 進行管道通氣試驗，檢查管線連接正確： 特種氣體管道安裝完畢，外觀檢驗合格后,應進行壓力試驗，并符合下列規(guī)定：1 壓力試驗采用氣壓試驗，試驗氣體宜采用高純氮氣或氬氣。2 壓力試驗前焊縫及其它待檢部位應未進行絕熱，待試管道與無關系統(tǒng)已用盲板或采取其它措施隔開，待試管道上的安全閥、爆破板及儀表元件等已經拆下或加以隔離；3 在進行系統(tǒng)保壓之前請確認完成管道吹掃，避免鐵屑污染閥門及管道。4 ，時間30分鐘。5 ，時間24小時。6 壓力試驗過程應記錄起止溫度?？紤]溫度修正后，壓降值不得超過1%；6 建設單位應參加壓力試驗。壓力試驗合格后，應和施工單位一同填寫“管道系統(tǒng)壓力試驗記錄”,?！√胤N氣體氦檢漏測試要求1 所有可能泄漏點需要用塑料袋隔離；2 氦檢漏應采用質譜式檢測儀，其檢測下限不低于1x1010 ()。3 特氣系統(tǒng)宜采用內向測漏法；4 內向測漏法測試不得高于1x109 5 閥座測漏不得高于１x106 6 外向測漏法測試不得高于１x106 7 氦檢漏的測試順序為：內向測漏、閥座測漏、外向測漏；8 檢測漏點修補后，必須重新經過保壓測試，然后才能再進行氦檢漏；9 系統(tǒng)測試完畢，應充入高純氮氣或氬氣，并進行吹掃；10 測試完畢后，應提交測試報告。　特種氣體顆粒測試要求1　特氣系統(tǒng)需要顆粒測試時，吹掃氣體流量應根據(jù)管道直徑計算得出。2 應首先測試氣源純度；合格后再進行樣品測試；3 推薦測試指標：（即≤1 pcs @）；連續(xù)3次合格則測試完成；4 顆粒測試完畢后，應提交測試報告。 特種氣體水分測試要求1 特氣管道需要水分測試時，吹掃速度低于管道設計流速的10%，且小于50slpm；2 應首先測試氣源純度；合格后再進行樣品測試；3 推薦測試指標：20ppbv，測試氣體水分增量；4 測試結果達到后，數(shù)值需保持穩(wěn)定或下降趨勢20分鐘后，測試結束；5 水分測試完畢后，應提交測試報告。 特種氣體氧分測試要求1 特氣管道需要氧分測試時，吹掃速度低于管道設計流速的10%，且小于50slpm；2 應首先測試氣源純度；合格后再進行樣品測試；3 推薦測試指標：20ppbv，測試氣體氧分增量；4 測試結果達到后，數(shù)值需保持穩(wěn)定或下降趨勢20分鐘后，測試結束；5 氧分測試完畢后，應提交測試報告?！怏w偵測/監(jiān)控系統(tǒng)驗收 特種氣體探測器對照設計文件檢查氣體探測器的類型、報警設定值(應小于TLVTWA)、探頭標定時間、安裝位置、數(shù)量、排放管道位置、電源信號接線、出廠質量文件等。對所有探測器的輸出信號應進行模擬測試。 特種氣體系統(tǒng)檢查1 對照設計文件，檢查內存和硬盤容量、CPU、控制箱面板、輸入輸出設備位置和數(shù)量、電纜規(guī)格、電源、接地等。根據(jù)控制邏輯，對各報警和切斷信號進行模擬測試，檢查聲光報警和聯(lián)動系統(tǒng)的動作。測試系統(tǒng)啟動、報警解除步驟。2 測試軟件系統(tǒng)圖形與實際系統(tǒng)的一致性、操作系統(tǒng)、登錄安全級別、遠程登錄、歷史數(shù)據(jù)存儲位置、短信通知、通訊協(xié)議、反應速度等。附錄A　電子工業(yè)用特種氣體的主要物化性質（單一氣體）特種氣體的危險性質特種氣體的物理性質分子式特氣狀態(tài) @ 70 F特氣壓力 @ 70176。FLC50 (ppm) – CGATLVTWA (ppm) ACGIHLFL % in airUFL % in air分子量比重 (air =1)比容. ft^3/lb臨界溫度. (F)臨界壓力. (psig)C2H2G250%100%NH3L11473382515%28%ArG2640AsH3L20320%78%BBr3L3801BCl3L25415CO2L838COG200037602512%75%Cl2L293ClF3L299B2H6G210080%88%SiH2Cl2L3145%96%CF4G2000CHF3L611CH2F2L23214%31%CH3FL538C2F6LC5F8L11242F2G4001851GeH4G638571%30%HeG2640H2G2640%75%HBrL30128603HClL614312051185HFL13003574H2SL24971210%46%CH4G2400%15%NOG40011525N2G2640NF3G1450670010N2OL73750O2G2640PH3L47920%98%SiH4G126019k5%97%SiCl4L7505SiF4G1000450SO2L25202SF6L2951000SiHCl3L10405%83%WF6L2173XeG645附錄B　電子工業(yè)用特種氣體舉例氣體名稱特種氣體的危險性質化學名分子式氣體狀態(tài) @ 70 F氣體壓力. @ 70176。F惰性氧化性腐蝕性毒性可燃性自燃性水反應性健康等級燃燒等級反應等級LC50 (ppm)TLVTWA (ppm)LFLUFL乙炔C2H2G250F043%100%氨氣NH3L114CLTF31073382515%28%氬氣ArG2640I000砷化氫AsH3L203HTF44220%78%三溴化硼B(yǎng)Br3LCTW3023801三氯化硼B(yǎng)Cl3LCT3125415二氧化碳CO2L838I000一氧化碳COG2000LTF34037602512%75%氯氣Cl2LOCT400293三氟化氯ClF3LOCTW403299已硼烷B2H6G2100CHTFPW44380%88%二氯二氫硅SiH2Cl2LCTFW4423145%96%F14CF4G2000I000F23CHF3L611I000F32CH2F2L232F04014%31%F41 [氟化甲基]CH3FL538F040F116 [六氟乙烷]C2F6LI000FC418 [八氟化五碳]C5F8LT31011242氟氣F2G400OCHTW4041851鍺化四氫GeH4G638TFP443571%30%氦氣HeG2640I000氫氣H2G2640F040%75%溴化氫HBrL301CT30028603氯化