實驗2四探針法測量半導體電阻率和薄層電阻-展示頁
2025-01-01 13:57本頁面
【正文】 方便，精確度高，對樣品的幾何尺寸無嚴格要求。 ☆ 了解熱探針法判斷半導體材料的導電類型以及用陽極氧化剝層法求擴散層 中的雜質濃度分布。School of Microelectronics Xidian University 實驗 2 四探針法測量半導體電阻率和薄層電阻 School of Microelectronics Xidian University 實驗目的和意義 ☆ 掌握四探針法測量電阻率和薄層電阻的原理及測量方法，針對不同幾何 尺寸的樣品，掌握其修正方法 。 ☆ 了解影響電阻率測量的各種因素及改進措施 。 School of Microelectronics Xidian University 實驗原理 ☆ 電阻率的測量是半導體材料常規(guī)參數(shù)測量項目之一。 ☆四探針法除了用來測量半導體材料的電阻率以外，在半導體器件生產(chǎn)中廣 泛使用四探針法來測量擴散層薄層電阻，以判斷擴散層質量是否符合設計要求。 School of Microelectronics Xidian University 實驗原理 ☆ 半導體材料的電阻率 在半無窮大樣品上的點電流源， 若樣品的電阻率 ρ均勻， 引入點電流源的 探針其電流強度為 I，則所產(chǎn)生的電力線具有球面的對稱性， 即等位面為一系列 以點電流為中心的半球面，如圖所示。 對上圖所示的情形，四根探針位于樣品中央，電流從探針 1流入，從探針 4 流出， 則可將 1和 4探針認為是點電流源，由 (26)式可知， 2和 3探針的電位為： 任意位置的四探針 )11(2 24122 rrI ?? ??? )11(2 34133 rrI ?? ???School of Microelectronics Xidian University 實驗原理 3探針的電位差為： 此可得出樣品的電阻率為： 上式就是利用直流四探針法測量電阻率的普遍公式。 實際測量中， 最常用的是直線型四探針
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