能譜儀的結(jié)構(gòu)原理及使用-展示頁(yè)
2025-05-22 06:01本頁(yè)面
【正文】 用液氮冷卻 EDS探測(cè)器。 二、能譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理 ? X射線探測(cè)器的種類和原理 展成譜的方法： ? X射線能量色散譜方法 (EDS:energy dispersive Xray spectroscopy) ? X射線波長(zhǎng)色散譜方法 (WDS： wavelength dispersive Xray spectroscopy) 在分析電子顯微鏡中均采用探測(cè)率高的 EDS。 二、能譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理 ? 特征 X射線的產(chǎn)生 ? 產(chǎn)生 ： 內(nèi)殼層電子被轟擊后跳到比費(fèi)米能高的能級(jí)上，電子軌道內(nèi)出現(xiàn)的空位被外殼層軌道的電子填入時(shí)，作為多余的能量放出的就是特征 X射線。 ? 學(xué)會(huì)正確選用微區(qū)成分分析方法及其分析參數(shù)的選擇。一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康? ? 結(jié)合場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 Sirion 200附件 GENESIS60E型 X射線能譜儀，了解能譜儀的結(jié)構(gòu)及工作原理。 ? 結(jié)合實(shí)例分析，熟悉能譜分析方法及應(yīng)用。 二、能譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理 X射線能量色散譜分析方法是電子顯微技術(shù)最基本和一直使用的、具有成分分析功能的方法，通常稱為 X射線能譜分析法，簡(jiǎn)稱EDS或 EDX方法。 ? 特點(diǎn)： 特征 X射線具有元素固有的能量，所以，將它們展開成能譜后，根據(jù)它的能量值就可以確定元素的種類，而且根據(jù)譜的強(qiáng)度分析就可以確定其含量。從試樣產(chǎn)生的 X射線通過(guò)測(cè)角臺(tái)進(jìn)入到探測(cè)器中。 保護(hù)探測(cè)器的探測(cè)窗口有兩類 : ? 鈹窗口型（ beryllium window type） 這種探測(cè)器使用起來(lái)比較容易，但是，由于鈹薄膜對(duì)低能 X射線的吸收，所以，不能分析比 Na(Z＝ 11)輕的元素。 二、能譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理 ?EDS的分析技術(shù) （ 1） X射線的測(cè)量 當(dāng)用強(qiáng)電子束照射試樣，產(chǎn)生大量的 X射線時(shí)，系統(tǒng)的漏計(jì)數(shù)的百分比就稱為死時(shí)間 Tdea
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