【正文】 。F)的溫度下執(zhí)行校準(zhǔn)時(shí)應(yīng)得的激光器校準(zhǔn)結(jié)果。/ 37修正的目的是要評(píng)估在 20 176。大多數(shù)機(jī)床會(huì)隨著溫度變化膨脹或收縮，可能導(dǎo)致校準(zhǔn)發(fā)生誤差，為了避免校準(zhǔn)誤差，線(xiàn)性測(cè)量軟件納入一種稱(chēng)為熱膨脹補(bǔ)償或“歸一化”的數(shù)學(xué)修正，應(yīng)用在線(xiàn)性激光讀數(shù)上。對(duì)于大多數(shù)機(jī)床校準(zhǔn)設(shè)置，建議將 ML10 激光器安裝在三腳架和云臺(tái)上。在較短的軸上，如果方便，這些角色可以互相交換本次我們使用的儀器為：Renishaw 激光器測(cè)量系統(tǒng)ML10 是一種單頻HeNe激光器，內(nèi)含對(duì)輸出激光束穩(wěn)頻的電子線(xiàn)路及對(duì)由測(cè)量光學(xué)鏡產(chǎn)生的干涉條紋進(jìn)行細(xì)分和計(jì)數(shù)處理。/ 37通常，反射鏡設(shè)置為移動(dòng)的光學(xué)元件，而干涉鏡則作為固定的元件，這些元件可以調(diào)換，但會(huì)縮小測(cè)量的最大量程，從 40 m(133 ft)縮小為 15 m(49 ft)。定位測(cè)量是通過(guò)監(jiān)控測(cè)量及參考光束間光路差異的變化來(lái)執(zhí)行的（請(qǐng)注意，兩個(gè)光學(xué)元件間的差分測(cè)量與 ML10 激光器的位置無(wú)關(guān)）。這兩道光束回再反射回分光鏡，重新匯聚之后返回激光頭，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束間的干涉。/ 37第四章雷尼紹激光干涉儀ML10 激光器的光束會(huì)射入線(xiàn)性干涉鏡，再分為兩道光束。在模具加工機(jī)床的多種結(jié)構(gòu)創(chuàng)新中，不僅應(yīng)用回轉(zhuǎn)工作臺(tái)，而且還應(yīng)用擺動(dòng)和回轉(zhuǎn)主軸頭，由此構(gòu)成各種不同類(lèi)型的五軸加工中心。近十年來(lái)，F(xiàn)IDIA在驅(qū)動(dòng)技術(shù)和控制系統(tǒng)的長(zhǎng)足進(jìn)步，推動(dòng)了自身高速加工中心結(jié)構(gòu)的不斷創(chuàng)新和性能的不斷提高。FIDIA 高速加工機(jī)床刀具冷卻采用油霧半干式冷卻，使用非毒性的植物潤(rùn)滑油，最小潤(rùn)滑油供量?？焖倨交募铀倌芴岣呒铀賲^(qū)域加工質(zhì)量。Active Tuning和Active Damping能設(shè)置與高速機(jī)床特性相匹配的最佳數(shù)值并且不會(huì)在控制回路中產(chǎn)生失穩(wěn)。通過(guò)Active Tuning(主動(dòng)調(diào)協(xié))、Active Damping（有源阻尼）、Jerk Control(階躍控制)等功能，能優(yōu)化和增強(qiáng)高速切削機(jī)床加工性能，減少加工時(shí)間和提高工件表面加工質(zhì)量。Lookahead（向前看）功能可根據(jù)不同條件進(jìn)行調(diào)整：機(jī)床類(lèi)型、加工工件的類(lèi)型、加工要求（粗加工、半精加工或精加工）。在過(guò)去十幾年中，F(xiàn)IDIA一直在對(duì)軸控制技術(shù)進(jìn)行改進(jìn)以減少加工過(guò)程中的軌跡誤差。FIDIA在數(shù)控系統(tǒng)及計(jì)算、數(shù)字化仿形的系統(tǒng)集成技術(shù)、復(fù)雜型面的銑削加工等方面一直處于市場(chǎng)領(lǐng)先地位。FIDIA高速加工機(jī)床在數(shù)控系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、轉(zhuǎn)動(dòng)擺頭及反饋光柵都應(yīng)用FIDIA技術(shù)。FIDIA高速機(jī)床采用FIDIA傳統(tǒng)式的工作臺(tái)固定不動(dòng)。FIDIA 高速銑削加工中心具備卓越的系統(tǒng)功能和很好的機(jī)械結(jié)構(gòu)，為加工高質(zhì)量的模具提供了可靠的保證。刀柄錐部和端面同時(shí)與主軸內(nèi)錐孔和端面接觸雙定位，且此類(lèi)刀柄采用的是內(nèi)漲式夾緊技術(shù)，保障了主軸高速運(yùn)轉(zhuǎn)的安全性。高速加工用的刀具必須與工件材料的化學(xué)親和力小，具有優(yōu)良的力學(xué)性能，化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性，良好的抗沖擊和熱疲勞特性。這個(gè)工藝甚至涉及到更綜合更全面地了解機(jī)床在不同速度下的行為特征。高速銑削應(yīng)用要求的不僅是機(jī)床的速度，而且還在于使用的工藝。在模具加工里，高速切削讓使用小直徑刀具和小切深成為現(xiàn)實(shí)，所以槽和復(fù)雜細(xì)節(jié)的加工可通過(guò)銑削來(lái)代替EDM。在高速銑削加工里，速度是一種催化劑。/ 37高速銑削不能按照任何特定的速度值來(lái)定義，獲得很高數(shù)值的轉(zhuǎn)速或線(xiàn)速度不是它本身的目標(biāo)。國(guó)內(nèi)只有為數(shù)不多的機(jī)械企業(yè)，對(duì)高速銑削設(shè)備、技術(shù)有實(shí)際的應(yīng)用，而部分已使用高速銑削的企業(yè)因技術(shù)人員沒(méi)有真正掌握相關(guān)技術(shù)，造成加工效果不甚理想。今天的機(jī)械加工行業(yè)，競(jìng)爭(zhēng)日趨激烈，產(chǎn)品更新加快、模具交貨期愈短、使用材料更加復(fù)雜，這些已成為機(jī)械加工中最為顯著的特征。備，諸如數(shù)控線(xiàn)切割機(jī)、數(shù)控繪圖機(jī)、數(shù)控測(cè)量機(jī)、數(shù)控沖剪機(jī)等，僅數(shù)控機(jī)床就有數(shù)控車(chē)床、數(shù)控銑床、數(shù)控鉆床、數(shù)控磨床、數(shù)控鏜床以及數(shù)控加工中心等。數(shù)控加工中心現(xiàn)在已已經(jīng)成為數(shù)控機(jī)床中一個(gè)非常重要的品種，不僅有立式、臥式等鏜銑類(lèi)加工中心用于箱體類(lèi)零件的加工，還有車(chē)削加工中心用于回轉(zhuǎn)體零件加工以及磨削加工中心等。數(shù)控加工中心現(xiàn)在用機(jī)械手將刀具裝在主軸上，這樣可大大縮短零件裝卸時(shí)間和換刀時(shí)間。這是一種具有自動(dòng)換刀裝置的數(shù)控機(jī)床，它能實(shí)現(xiàn)一次裝夾并進(jìn)行多工序加工。數(shù)控機(jī)床在機(jī)械制造業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用（美國(guó)的數(shù)控機(jī)床已占機(jī)床總數(shù)的80%以上），是因?yàn)樗行У亟鉀Q了復(fù)雜、精密、小批多變的零件加工問(wèn)題，能滿(mǎn)足高質(zhì)量、高效益和技術(shù)的趨勢(shì)與潮流，也是現(xiàn)代機(jī)械制造企業(yè)在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)激烈的條件下生存與發(fā)展的必然要求。數(shù)控機(jī)床是電子信息技術(shù)和傳統(tǒng)機(jī)械加工技術(shù)結(jié)合的產(chǎn)物，它集現(xiàn)代精密機(jī)械、計(jì)算機(jī)、通訊、液壓氣動(dòng)、光電等多學(xué)科有效提高了加工質(zhì)量和效率，實(shí)現(xiàn)了柔性自動(dòng)化（相對(duì)于傳統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)上的大批量生產(chǎn)的剛性自動(dòng)化），并向智能化、集成化方向發(fā)展。/ 37第三章機(jī)電一體化技術(shù)在機(jī)械加工企業(yè)中應(yīng)用隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，社會(huì)對(duì)機(jī)械產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)、性能、精度、效率和品種的要求越來(lái)越高，單件與中小批量產(chǎn)品的比重越來(lái)越大（目前已占到以上），傳統(tǒng)的通用專(zhuān)用機(jī)床和工藝裝備已經(jīng)不能很好地適應(yīng)高質(zhì)量、高效率、多樣化加工的要求，因而，以微電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)為基礎(chǔ)的數(shù)控技術(shù)，將機(jī)械技術(shù)、現(xiàn)代控制技術(shù)、傳感檢測(cè)技術(shù)、信息處理技術(shù)、網(wǎng)絡(luò)通信技術(shù)和成組技術(shù)等有機(jī)地結(jié)合在一起，使機(jī)器制造行業(yè)的生產(chǎn)方式和機(jī)器制造技術(shù)發(fā)生了深刻的、革命性的變化。（3）智能化方向今后的機(jī)電一體化產(chǎn)品“全息”特征越來(lái)越明顯，智能化水平越來(lái)越高。其特點(diǎn)是子系統(tǒng)可產(chǎn)生本身的信息并附加所給信息，在總的前提下，具有“行動(dòng)”是可以改變的。（2）柔性化方向未來(lái)機(jī)電一體化產(chǎn)品，控制和執(zhí)行系統(tǒng)有足夠的“冗余度”，有較強(qiáng)的“柔性”，能較好地應(yīng)付突發(fā)事件，被設(shè)計(jì)成“自律分配系統(tǒng)”。專(zhuān)家預(yù)測(cè)，機(jī)電一體化技術(shù)將向以下幾個(gè)方向發(fā)展：（1）光機(jī)電一體化方向 / 37一般機(jī)電一體化系統(tǒng)是由傳感系統(tǒng)、能源系統(tǒng)、信息處理系統(tǒng)、機(jī)械結(jié)構(gòu)等部件組成。使用這些自動(dòng)機(jī)和生產(chǎn)線(xiàn)的企業(yè)越來(lái)越多，對(duì)維護(hù)和管理這些設(shè)備的相關(guān)人員的需求也越來(lái)越多。如可編程序控制器，變頻調(diào)速器，人機(jī)界面控制裝置與光電控制系統(tǒng)等。在國(guó)民經(jīng)濟(jì)生產(chǎn)和生活中廣泛使用的各種自動(dòng)機(jī)械、自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)及各種自動(dòng)化設(shè)備，是當(dāng)前機(jī)電一體化技術(shù)應(yīng)用的又一具體體現(xiàn)。（5）數(shù)控機(jī)床的開(kāi)放性和聯(lián)網(wǎng)管理數(shù)控機(jī)床的開(kāi)放性和聯(lián)網(wǎng)管理已是使用數(shù)控機(jī)床的基本要求，它不僅是提高數(shù)控機(jī)床開(kāi)動(dòng)率、生產(chǎn)率的必要手段，而且是企業(yè)合理化、最佳化利用這些制造手段的方法。（4）使用各種高效特殊功能的刀具使數(shù)控機(jī)床“如虎添翼 / 37如內(nèi)冷轉(zhuǎn)頭由于使高壓冷卻液直接冷卻轉(zhuǎn)頭切削刃和排除切屑，在轉(zhuǎn)深孔時(shí)大大提高效率。（3）復(fù)合加工，新結(jié)構(gòu)機(jī)床大量出現(xiàn)如5軸5面體復(fù)合加工機(jī)床，5軸5聯(lián)動(dòng)加工各類(lèi)異形零件。（2）高精度化～；；～；最小分辨率為1nm（）的數(shù)控系統(tǒng)和機(jī)床已問(wèn)世。（1）高速化由于高速加工技術(shù)普及，機(jī)床普遍提高了各方面的速度。機(jī)電一體化是機(jī)械、微電子、控制、計(jì)算機(jī)、信息處理等多學(xué)科的交叉融合，其發(fā)展和進(jìn)步有賴(lài)于相關(guān)技術(shù)的進(jìn)步與發(fā)展，其主要發(fā)展方向有數(shù)字化、智能化、模塊化、網(wǎng)絡(luò)化、人性化、微型化、集成化、帶源化和綠色化 / 37第二章典型機(jī)電一體化產(chǎn)品的發(fā)展趨勢(shì)1數(shù)控機(jī)床目前我國(guó)是全世界機(jī)床擁有量最多的國(guó)家（近320萬(wàn)臺(tái)），但數(shù)控機(jī)床只占約5％且大多數(shù)是普通數(shù)控（發(fā)達(dá)國(guó)家數(shù)控機(jī)床占10％）。雖然微加工方法尚未成熟，但將逐漸成為集成控制系統(tǒng)的一個(gè)組成部分。進(jìn)入90年代，通信技術(shù)進(jìn)入了機(jī)電一體化，機(jī)器可像機(jī)器人系統(tǒng)那樣遙控和虛擬現(xiàn)實(shí)多媒體等技術(shù)緊密聯(lián)系的計(jì)算機(jī)控制的網(wǎng)絡(luò)化機(jī)電一體化日益普及。這樣，對(duì)機(jī)電一體化的系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法的探索、成型和系統(tǒng)集成以及并行工程設(shè)計(jì)和控制的實(shí)施日顯重要。微機(jī)作為關(guān)鍵技術(shù)引入了飛行器系統(tǒng)后，使機(jī)械—電子系統(tǒng)在高度控制、排氣控制、振動(dòng)控制和保險(xiǎn)氣袋等方面獲得廣泛應(yīng)用。80年代，信息技術(shù)嶄露頭角。但其基本特征可概括為：機(jī)電一體化是從系統(tǒng)的觀(guān)點(diǎn)出發(fā)，綜合運(yùn)用機(jī)械技術(shù)、微電子技術(shù)、自動(dòng)控制技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、信息技術(shù)、傳感測(cè)控技術(shù)、電力電子技術(shù)、接口技術(shù)、信息變換技術(shù)以及軟件編程技術(shù)等群體技術(shù)，根據(jù)系統(tǒng)功能目標(biāo)和優(yōu)化組織目標(biāo)，合理配置與布局各功能單元，在多功能、高質(zhì)量、高可靠性、低能耗的意義上實(shí)現(xiàn)特定功能價(jià)值，并使整個(gè)系統(tǒng)最優(yōu)化的系統(tǒng)工程技術(shù)。機(jī)電一體化是指在機(jī)構(gòu)得主功能、動(dòng)力功能、信息處理功能和控制功能上引進(jìn)電子技術(shù)，將機(jī)械裝置與電子化設(shè)計(jì)及軟件結(jié)合起來(lái)所構(gòu)成的系統(tǒng)的總稱(chēng)。precision pensation / 37摘要 ABSTRACT 第一章緒論第二章典型機(jī)電一體化產(chǎn)品的發(fā)展趨勢(shì)1數(shù)控機(jī)床2自動(dòng)機(jī)與自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn) 3機(jī)電一體化技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)第三章機(jī)電一體化技術(shù)在機(jī)械加工企業(yè)中應(yīng)用1FIDIA系統(tǒng)在加工中的優(yōu)勢(shì) 2什么是FIDIA高速銑削 3FIDIA刀具技術(shù) 4FIDIA機(jī)床技術(shù) 5FIDIA數(shù)控系統(tǒng)性能 6FIDIA加工工藝 / 37第四章雷尼紹激光干涉儀1激光干涉儀測(cè)量原理 2激光干涉儀的硬件組成 3激光干涉儀的軟件組成 4激光干涉儀光路調(diào)整 5激光干涉儀生成檢測(cè)程序第五章FIDIA數(shù)控機(jī)床的精度補(bǔ)償 結(jié)論 參考文獻(xiàn) 致謝/ 37第一章 緒論現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，極大地推動(dòng)了不同學(xué)科的交叉與滲透，導(dǎo)致了工程領(lǐng)域的技術(shù)革命與改造。s physical strength mental to operate directly is very difficult, and there are many production processes cannot be operated manually