【正文】 。F)的溫度下執(zhí)行校準(zhǔn)時應(yīng)得的激光器校準(zhǔn)結(jié)果。/ 37修正的目的是要評估在 20 176。大多數(shù)機床會隨著溫度變化膨脹或收縮，可能導(dǎo)致校準(zhǔn)發(fā)生誤差，為了避免校準(zhǔn)誤差，線性測量軟件納入一種稱為熱膨脹補償或“歸一化”的數(shù)學(xué)修正，應(yīng)用在線性激光讀數(shù)上。對于大多數(shù)機床校準(zhǔn)設(shè)置，建議將 ML10 激光器安裝在三腳架和云臺上。在較短的軸上，如果方便，這些角色可以互相交換本次我們使用的儀器為：Renishaw 激光器測量系統(tǒng)ML10 是一種單頻HeNe激光器，內(nèi)含對輸出激光束穩(wěn)頻的電子線路及對由測量光學(xué)鏡產(chǎn)生的干涉條紋進行細(xì)分和計數(shù)處理。/ 37通常，反射鏡設(shè)置為移動的光學(xué)元件，而干涉鏡則作為固定的元件，這些元件可以調(diào)換，但會縮小測量的最大量程，從 40 m(133 ft)縮小為 15 m(49 ft)。定位測量是通過監(jiān)控測量及參考光束間光路差異的變化來執(zhí)行的（請注意，兩個光學(xué)元件間的差分測量與 ML10 激光器的位置無關(guān)）。這兩道光束回再反射回分光鏡，重新匯聚之后返回激光頭，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束間的干涉。/ 37第四章雷尼紹激光干涉儀ML10 激光器的光束會射入線性干涉鏡，再分為兩道光束。在模具加工機床的多種結(jié)構(gòu)創(chuàng)新中，不僅應(yīng)用回轉(zhuǎn)工作臺，而且還應(yīng)用擺動和回轉(zhuǎn)主軸頭，由此構(gòu)成各種不同類型的五軸加工中心。近十年來，F(xiàn)IDIA在驅(qū)動技術(shù)和控制系統(tǒng)的長足進步，推動了自身高速加工中心結(jié)構(gòu)的不斷創(chuàng)新和性能的不斷提高。FIDIA 高速加工機床刀具冷卻采用油霧半干式冷卻，使用非毒性的植物潤滑油，最小潤滑油供量?？焖倨交募铀倌芴岣呒铀賲^(qū)域加工質(zhì)量。Active Tuning和Active Damping能設(shè)置與高速機床特性相匹配的最佳數(shù)值并且不會在控制回路中產(chǎn)生失穩(wěn)。通過Active Tuning(主動調(diào)協(xié))、Active Damping（有源阻尼）、Jerk Control(階躍控制)等功能，能優(yōu)化和增強高速切削機床加工性能，減少加工時間和提高工件表面加工質(zhì)量。Lookahead（向前看）功能可根據(jù)不同條件進行調(diào)整：機床類型、加工工件的類型、加工要求（粗加工、半精加工或精加工）。在過去十幾年中，F(xiàn)IDIA一直在對軸控制技術(shù)進行改進以減少加工過程中的軌跡誤差。FIDIA在數(shù)控系統(tǒng)及計算、數(shù)字化仿形的系統(tǒng)集成技術(shù)、復(fù)雜型面的銑削加工等方面一直處于市場領(lǐng)先地位。FIDIA高速加工機床在數(shù)控系統(tǒng)、驅(qū)動系統(tǒng)、轉(zhuǎn)動擺頭及反饋光柵都應(yīng)用FIDIA技術(shù)。FIDIA高速機床采用FIDIA傳統(tǒng)式的工作臺固定不動。FIDIA 高速銑削加工中心具備卓越的系統(tǒng)功能和很好的機械結(jié)構(gòu)，為加工高質(zhì)量的模具提供了可靠的保證。刀柄錐部和端面同時與主軸內(nèi)錐孔和端面接觸雙定位，且此類刀柄采用的是內(nèi)漲式夾緊技術(shù)，保障了主軸高速運轉(zhuǎn)的安全性。高速加工用的刀具必須與工件材料的化學(xué)親和力小，具有優(yōu)良的力學(xué)性能，化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性，良好的抗沖擊和熱疲勞特性。這個工藝甚至涉及到更綜合更全面地了解機床在不同速度下的行為特征。高速銑削應(yīng)用要求的不僅是機床的速度，而且還在于使用的工藝。在模具加工里，高速切削讓使用小直徑刀具和小切深成為現(xiàn)實，所以槽和復(fù)雜細(xì)節(jié)的加工可通過銑削來代替EDM。在高速銑削加工里，速度是一種催化劑。/ 37高速銑削不能按照任何特定的速度值來定義，獲得很高數(shù)值的轉(zhuǎn)速或線速度不是它本身的目標(biāo)。國內(nèi)只有為數(shù)不多的機械企業(yè)，對高速銑削設(shè)備、技術(shù)有實際的應(yīng)用，而部分已使用高速銑削的企業(yè)因技術(shù)人員沒有真正掌握相關(guān)技術(shù)，造成加工效果不甚理想。今天的機械加工行業(yè)，競爭日趨激烈，產(chǎn)品更新加快、模具交貨期愈短、使用材料更加復(fù)雜，這些已成為機械加工中最為顯著的特征。備，諸如數(shù)控線切割機、數(shù)控繪圖機、數(shù)控測量機、數(shù)控沖剪機等，僅數(shù)控機床就有數(shù)控車床、數(shù)控銑床、數(shù)控鉆床、數(shù)控磨床、數(shù)控鏜床以及數(shù)控加工中心等。數(shù)控加工中心現(xiàn)在已已經(jīng)成為數(shù)控機床中一個非常重要的品種，不僅有立式、臥式等鏜銑類加工中心用于箱體類零件的加工，還有車削加工中心用于回轉(zhuǎn)體零件加工以及磨削加工中心等。數(shù)控加工中心現(xiàn)在用機械手將刀具裝在主軸上，這樣可大大縮短零件裝卸時間和換刀時間。這是一種具有自動換刀裝置的數(shù)控機床，它能實現(xiàn)一次裝夾并進行多工序加工。數(shù)控機床在機械制造業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用（美國的數(shù)控機床已占機床總數(shù)的80%以上），是因為它有效地解決了復(fù)雜、精密、小批多變的零件加工問題，能滿足高質(zhì)量、高效益和技術(shù)的趨勢與潮流，也是現(xiàn)代機械制造企業(yè)在市場競爭激烈的條件下生存與發(fā)展的必然要求。數(shù)控機床是電子信息技術(shù)和傳統(tǒng)機械加工技術(shù)結(jié)合的產(chǎn)物，它集現(xiàn)代精密機械、計算機、通訊、液壓氣動、光電等多學(xué)科有效提高了加工質(zhì)量和效率，實現(xiàn)了柔性自動化（相對于傳統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)上的大批量生產(chǎn)的剛性自動化），并向智能化、集成化方向發(fā)展。/ 37第三章機電一體化技術(shù)在機械加工企業(yè)中應(yīng)用隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，社會對機械產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)、性能、精度、效率和品種的要求越來越高，單件與中小批量產(chǎn)品的比重越來越大（目前已占到以上），傳統(tǒng)的通用專用機床和工藝裝備已經(jīng)不能很好地適應(yīng)高質(zhì)量、高效率、多樣化加工的要求，因而，以微電子技術(shù)和計算機技術(shù)為基礎(chǔ)的數(shù)控技術(shù)，將機械技術(shù)、現(xiàn)代控制技術(shù)、傳感檢測技術(shù)、信息處理技術(shù)、網(wǎng)絡(luò)通信技術(shù)和成組技術(shù)等有機地結(jié)合在一起，使機器制造行業(yè)的生產(chǎn)方式和機器制造技術(shù)發(fā)生了深刻的、革命性的變化。（3）智能化方向今后的機電一體化產(chǎn)品“全息”特征越來越明顯，智能化水平越來越高。其特點是子系統(tǒng)可產(chǎn)生本身的信息并附加所給信息，在總的前提下，具有“行動”是可以改變的。（2）柔性化方向未來機電一體化產(chǎn)品，控制和執(zhí)行系統(tǒng)有足夠的“冗余度”，有較強的“柔性”，能較好地應(yīng)付突發(fā)事件，被設(shè)計成“自律分配系統(tǒng)”。專家預(yù)測，機電一體化技術(shù)將向以下幾個方向發(fā)展：（1）光機電一體化方向 / 37一般機電一體化系統(tǒng)是由傳感系統(tǒng)、能源系統(tǒng)、信息處理系統(tǒng)、機械結(jié)構(gòu)等部件組成。使用這些自動機和生產(chǎn)線的企業(yè)越來越多，對維護和管理這些設(shè)備的相關(guān)人員的需求也越來越多。如可編程序控制器，變頻調(diào)速器，人機界面控制裝置與光電控制系統(tǒng)等。在國民經(jīng)濟生產(chǎn)和生活中廣泛使用的各種自動機械、自動生產(chǎn)線及各種自動化設(shè)備，是當(dāng)前機電一體化技術(shù)應(yīng)用的又一具體體現(xiàn)。（5）數(shù)控機床的開放性和聯(lián)網(wǎng)管理數(shù)控機床的開放性和聯(lián)網(wǎng)管理已是使用數(shù)控機床的基本要求，它不僅是提高數(shù)控機床開動率、生產(chǎn)率的必要手段，而且是企業(yè)合理化、最佳化利用這些制造手段的方法。（4）使用各種高效特殊功能的刀具使數(shù)控機床“如虎添翼 / 37如內(nèi)冷轉(zhuǎn)頭由于使高壓冷卻液直接冷卻轉(zhuǎn)頭切削刃和排除切屑，在轉(zhuǎn)深孔時大大提高效率。（3）復(fù)合加工，新結(jié)構(gòu)機床大量出現(xiàn)如5軸5面體復(fù)合加工機床，5軸5聯(lián)動加工各類異形零件。（2）高精度化～；；～；最小分辨率為1nm（）的數(shù)控系統(tǒng)和機床已問世。（1）高速化由于高速加工技術(shù)普及，機床普遍提高了各方面的速度。機電一體化是機械、微電子、控制、計算機、信息處理等多學(xué)科的交叉融合，其發(fā)展和進步有賴于相關(guān)技術(shù)的進步與發(fā)展，其主要發(fā)展方向有數(shù)字化、智能化、模塊化、網(wǎng)絡(luò)化、人性化、微型化、集成化、帶源化和綠色化 / 37第二章典型機電一體化產(chǎn)品的發(fā)展趨勢1數(shù)控機床目前我國是全世界機床擁有量最多的國家（近320萬臺），但數(shù)控機床只占約5％且大多數(shù)是普通數(shù)控（發(fā)達(dá)國家數(shù)控機床占10％）。雖然微加工方法尚未成熟，但將逐漸成為集成控制系統(tǒng)的一個組成部分。進入90年代，通信技術(shù)進入了機電一體化，機器可像機器人系統(tǒng)那樣遙控和虛擬現(xiàn)實多媒體等技術(shù)緊密聯(lián)系的計算機控制的網(wǎng)絡(luò)化機電一體化日益普及。這樣，對機電一體化的系統(tǒng)設(shè)計方法的探索、成型和系統(tǒng)集成以及并行工程設(shè)計和控制的實施日顯重要。微機作為關(guān)鍵技術(shù)引入了飛行器系統(tǒng)后，使機械—電子系統(tǒng)在高度控制、排氣控制、振動控制和保險氣袋等方面獲得廣泛應(yīng)用。80年代，信息技術(shù)嶄露頭角。但其基本特征可概括為：機電一體化是從系統(tǒng)的觀點出發(fā)，綜合運用機械技術(shù)、微電子技術(shù)、自動控制技術(shù)、計算機技術(shù)、信息技術(shù)、傳感測控技術(shù)、電力電子技術(shù)、接口技術(shù)、信息變換技術(shù)以及軟件編程技術(shù)等群體技術(shù)，根據(jù)系統(tǒng)功能目標(biāo)和優(yōu)化組織目標(biāo)，合理配置與布局各功能單元，在多功能、高質(zhì)量、高可靠性、低能耗的意義上實現(xiàn)特定功能價值，并使整個系統(tǒng)最優(yōu)化的系統(tǒng)工程技術(shù)。機電一體化是指在機構(gòu)得主功能、動力功能、信息處理功能和控制功能上引進電子技術(shù)，將機械裝置與電子化設(shè)計及軟件結(jié)合起來所構(gòu)成的系統(tǒng)的總稱。precision pensation / 37摘要 ABSTRACT 第一章緒論第二章典型機電一體化產(chǎn)品的發(fā)展趨勢1數(shù)控機床2自動機與自動生產(chǎn)線 3機電一體化技術(shù)的發(fā)展趨勢第三章機電一體化技術(shù)在機械加工企業(yè)中應(yīng)用1FIDIA系統(tǒng)在加工中的優(yōu)勢 2什么是FIDIA高速銑削 3FIDIA刀具技術(shù) 4FIDIA機床技術(shù) 5FIDIA數(shù)控系統(tǒng)性能 6FIDIA加工工藝 / 37第四章雷尼紹激光干涉儀1激光干涉儀測量原理 2激光干涉儀的硬件組成 3激光干涉儀的軟件組成 4激光干涉儀光路調(diào)整 5激光干涉儀生成檢測程序第五章FIDIA數(shù)控機床的精度補償 結(jié)論 參考文獻 致謝/ 37第一章 緒論現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，極大地推動了不同學(xué)科的交叉與滲透，導(dǎo)致了工程領(lǐng)域的技術(shù)革命與改造。s physical strength mental to operate directly is very difficult, and there are many production processes cannot be operated manually