微電子學(xué)概論--chap10-文庫吧資料
2025-01-01 23:00本頁面
【正文】 制電路、接口電路、通信系統(tǒng)以及電源于一體 的微型機電系統(tǒng) ?MEMS技術(shù)是一種多學(xué)科交叉的前沿性領(lǐng)域，它幾乎涉及到自然及工程科學(xué)的所有領(lǐng)域，如電子、機械、光學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)等 MEMS — 微小型、智能、集成、高可靠 ?MEMS是人類科技發(fā)展過程一次重大的技術(shù)整合 ?微電子技術(shù)、精密加工技術(shù)、傳感器技術(shù)、執(zhí)行器技術(shù) ?微小型化、智能化、集成化、高可靠性 ?MEMS能夠完成真正意義上的微小型系統(tǒng)集成 ?在芯片上實現(xiàn)了力、熱、磁、化學(xué)到電的轉(zhuǎn)變 ?MEMS極大地改善了人類生活的質(zhì)量 ?大批量、低成本的傳感器生產(chǎn)方式給人們更多的保護 ?MEMS將會帶動一個充滿活力的產(chǎn)業(yè)迅速成長 ?不是鋼鐵、汽車、微電子，而是微系統(tǒng) A公司生產(chǎn)的微加速度計MEMS芯片 ?MEMS在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)控、軍事以及幾乎人們接觸到的所有領(lǐng)域中都有著十分廣闊的應(yīng)用前景 ?微慣性傳感器及微型慣性測量組合能應(yīng)用于制導(dǎo)、衛(wèi)星控制、汽車自動駕駛、汽車防撞氣囊、汽車防抱死系統(tǒng)(ABS)、穩(wěn)定控制和玩具 ?微流量系統(tǒng)和微分析儀可用于微推進、傷員救護 ?MEMS系統(tǒng)還可以用于醫(yī)療、高密度存儲和顯示、光譜分析、信息采集等等 ?大尺寸機電系統(tǒng)無法完成的任務(wù)，如尖端直徑為 5?m的微型鑷子可以夾起一個紅細(xì)胞，可以在磁場中飛行的象蝴蝶大小的飛機等 ?空間應(yīng)用 ?用作運行參數(shù)測量的微加速度計已進行了地面輻照實驗 ， 正在進行飛行搭載實驗 ?微陀螺 、 微推進和微噴管等微系統(tǒng)基礎(chǔ)研究 ?通信方面 ?光通信正在向有光交換功能的全光通信網(wǎng)絡(luò)方向發(fā)展 ?無線通信則要求增強功能 （ 如聯(lián)網(wǎng)等 ） 和減小功耗 。 包括美國朗訊公司在內(nèi)的一些公司和大學(xué)正在研究全光通信網(wǎng)用的微系統(tǒng)及無線通信用射頻微系統(tǒng) ?在生物醫(yī)學(xué)方面，將光、機、電、液、生化等部件集成在一起，構(gòu)成一個微型芯片實驗室，用于臨床醫(yī)學(xué)檢測，為醫(yī)生甚至家庭提供簡單、廉價、準(zhǔn)確和快捷的檢測手段 ?光顯示、高密度存儲、汽車、國防等微系統(tǒng) 美國提出的硅固態(tài)衛(wèi)星的概念圖，這個衛(wèi)星除了蓄電池外， 全由硅片構(gòu)成，直徑僅 15cm ?微系統(tǒng)是從微傳感器發(fā)展而來的，已有幾次突破性的進展 ?70年代微機械壓力傳感器產(chǎn)品問世 ?80年代末研制出硅靜電微馬達 ?90年代噴墨打印頭，硬盤讀寫頭、硅加速度計和數(shù)字微鏡器件等相繼規(guī)?；a(chǎn) ?充分展示了微系統(tǒng)技術(shù)及其微系統(tǒng)的巨大應(yīng)用前景 ?旋轉(zhuǎn)馬達 ?原理 ?MEMS用批量化的微電子技
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