【正文】
d hydrogenterminated diamond surface where ptype conduction occurs on the subsurface region. Power dissipation and integration issues are of paramountimportance for designing future ultralarge scaleintegrated circuits. Singleelectron devices exploiting the Coulomb blockade effect are thought to have the potential to overe these difficulties because a singleelectron transistor operates with one electron, which can reduce the power consumption and can be applied to highly integrated devices. Measurement of the Coulomb blockade effect has been made possible by continuing advances in the field of nanometer fabrication technology such as local anodization using an atomic force microscope (AFM). 35 超光滑 表面 超光滑表面( Ultrosmooth surfaces) 1)表面粗糙度小于 1nm的表面(應(yīng)用于光學(xué)器件、窗口等) 2)表面晶格的完整性 的表面(應(yīng)用于功能光電器件: InP, HgCdTe的完整晶體表面 ) 拋光液: 納米顆粒(含 nMoS2, nAl2O3, nSiO2, nCr2O3, nDP) + 潤(rùn)滑油。 納米量級(jí)結(jié)構(gòu) 的制作是納米技術(shù)的關(guān)鍵技術(shù)之一。利弗莫爾國(guó)家實(shí)驗(yàn)室 光刻技術(shù) —— IC產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵技術(shù) 0 2 4 6 8 10?m 用 AFM機(jī)械刻蝕原理刻寫(xiě)的亞微米尺寸的唐詩(shī) STM 技術(shù)在 Si(111)面上形成的“中國(guó)”字樣 。 * 德國(guó)的 Carl Zeiss公司 美國(guó)的勞倫斯 下一代光刻技術(shù), *157nm曝光,小于 50nm線寬圖形。 ( 4)納米結(jié)構(gòu)表層的熱穩(wěn)定性與化學(xué)性能。 ( 2)表面納米化的微觀機(jī)制及形成動(dòng)力學(xué)。 激光加熱、電子束加熱。 ( 4)此過(guò)程不斷發(fā)展,最終形成晶體學(xué)取向呈隨機(jī)分布的納米晶組織。 ( 2)當(dāng)位錯(cuò)密度增至一定程度時(shí),發(fā)生淹沒(méi)、重組,形成納米尺度的亞晶。 1)表面機(jī)械加工處理法 sample 在外加載荷的重復(fù)作用下,材料表面的粗晶組織通過(guò)不同的方式產(chǎn)生強(qiáng)烈的塑性變形而逐漸細(xì)化至納米級(jí)。 特征:晶粒沿厚度方向逐漸變化,納米結(jié)構(gòu)表層與基體之間不存在界面。 45鋼鍍: NiP + C納米管,改善摩擦學(xué)性能; 磁盤(pán)基扳: TiP + DNP (diamond nanopowder),減少磨損 50%; 磁頭、存取器磁膜: CoP + DNP,耐磨能力提高 23倍; 模具: Cr + DNP,延長(zhǎng)使用壽命; 此外, (nZrO2 + NiWB非晶態(tài)復(fù)合鍍層 )能提高涂層的高溫抗氧化性能; (DNP + Ag)能增強(qiáng)鍍層的導(dǎo)熱、耐磨性; 2 利用電化學(xué)反應(yīng)將金屬離子直接還原成 0Dn或 1Dn。 機(jī)械研磨合成法 12. NC組裝 高速氧 燃?xì)鈬娡?( HVOF) JetKote 噴槍結(jié)構(gòu) 1燃燒室, 2粉末入口, 3燃?xì)馔ǖ溃? 4送粉通道, 5冷卻水道, 6噴嘴。具體為:在干燥的高真空料機(jī)內(nèi)通入保護(hù)氣體( Ar, N2);或在 CH3OH和液氮介質(zhì)中通過(guò)對(duì)磨球 /粉體比、磨球數(shù)量和尺寸、球磨能量、球磨溫度、介質(zhì)等參數(shù)的控制,對(duì)粉末粒子反復(fù)進(jìn)行熔結(jié)