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正文內(nèi)容

微加速度計(jì)的基本工作原理及工作特點(diǎn)-文庫吧資料

2024-08-18 06:55本頁面
  

【正文】 扭轉(zhuǎn)軸與基座 相連,基座 上表面布置有 固定電極,敏感 平板下表面有相應(yīng)的運(yùn)動(dòng) 電極,形成 檢測(cè) 電容當(dāng) 有加速度作用 時(shí),不對(duì)稱 平板 在慣性 力作用 下,將 發(fā)生繞扭轉(zhuǎn)軸的 轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)有加速度作用時(shí),質(zhì)量塊發(fā)生位移,上下電容發(fā)生變化,可以得到 電容變化差值 ,進(jìn)而得到加速度。 ?蠕變 和遲滯效應(yīng)比較明顯。 ?缺點(diǎn) : ?溫度系數(shù) 比較大 , 對(duì) 溫度敏感 。 ?工作原理: 當(dāng) 有加速度輸入時(shí) , 懸臂梁在質(zhì)量塊受到的慣性力牽引下發(fā)生變形,導(dǎo)致 固連的 壓阻膜 也隨之發(fā)生 變形 ,其 電阻值就會(huì)由于壓阻效應(yīng)而發(fā)生 變化,導(dǎo)致 壓阻兩端的 檢測(cè)電壓 值 (信號(hào)處理電路)發(fā)生變化,從而 可以通過確定的數(shù)學(xué)模型推導(dǎo)出輸入加速度與輸出電壓值的關(guān)系。微 加速度計(jì)的 基本工作原理及工作特點(diǎn) 田源木 2620220227 目錄 微加速度計(jì)簡介 微加速度計(jì)分類 基本工作原理及工作特點(diǎn) 總結(jié) 目錄 微加速度計(jì)簡介 微加速度計(jì)分類 基本工作原理及工作特點(diǎn) 總結(jié) 微加速度計(jì)簡介 MEMS 器件 傳感器 執(zhí)行器 微加速度計(jì) 測(cè)量加速度 信號(hào)感知 信號(hào)轉(zhuǎn)變 信號(hào)輸出 偏置穩(wěn)定性 1mg,標(biāo)度因數(shù)穩(wěn)定性 1000pm 微加速度計(jì)簡介 微加速度計(jì) ?MEMS技術(shù)的突出成果 ?民用領(lǐng)域 ?軍事領(lǐng)域 汽車領(lǐng)域 汽車碰撞檢測(cè) 安全氣囊 戰(zhàn)術(shù)武器
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