【正文】 案 ③ 靜壓差測定用的儀器：靜壓差測定一般采用的儀器為YJB150型補(bǔ)償式微壓計，傾斜式壓力計。② 靜壓差的測定步驟：首先，是將潔凈區(qū)內(nèi)所有的門全處于關(guān)閉狀態(tài)下。第三，測管口設(shè)置在室內(nèi)不受氣流干擾的地方。4．靜壓差的測定：①． 靜壓差的測定要求：首先，靜壓差的測定是潔凈區(qū)內(nèi)所有的門全關(guān)閉狀態(tài)下進(jìn)行的。第二，一般采用90mm的沉降平皿，注入20mL培養(yǎng)基，放在測點處，開蓋暴露30min,將培養(yǎng)皿蓋蓋上倒置，然后在30~35186。. b. 沉降菌的測定法首先，要對測定儀器，培養(yǎng)皿等進(jìn)行嚴(yán)格的消毒滅菌，在37186。C恒溫培養(yǎng)箱中，時間不小于48小時。第五，置采樣口于采樣點，依次開啟采樣器，真空泵，轉(zhuǎn)動定時器并根據(jù)采樣量選定采樣時間。第三，儀器消毒后放入培養(yǎng)皿前，先開動真空泵抽氣，使儀器中的殘存消毒劑蒸發(fā)，時間不小于5min。 浮游菌測定法最小采樣量表潔凈度等級（級） 采樣量/L?次日常監(jiān)測 環(huán)境驗證100 600 100010000 400 500100000 50 100② 微生物粒子測定方法：a. 浮游菌的測定法首先，要對測定儀器，培養(yǎng)皿，采樣器等進(jìn)行消毒滅菌，采樣口和采樣管在使用前必須用高溫滅菌。見下表表二十二 對于沉降菌法不僅僅滿足于最少采樣總數(shù),還需滿足最少采樣培養(yǎng)皿總數(shù)。根據(jù)需要可在關(guān)鍵部位增加測點。 度100級 10000級 100000級驗證 監(jiān)測 驗證 監(jiān)測 驗證 監(jiān)測小于10 2~ 3 1 2 1 2 －10~20 4 2 2 1 2 －20~40 8 3 2 1 2 －40~100 16 4 4 1 2 －100~200 40 10 3 －200~400 80 20 6 －400 160 40 13 －b. 沉降菌測定時，其采樣點位置可以與懸浮粒子測定點的布置相同。凈浮游菌測定最少采樣點數(shù)表面積（m2） 潔見下表：表十九根據(jù)需要可在關(guān)鍵部位增加測點。3．微生物粒子的測定：①．采樣點的布置和要求： a. 浮游菌測定時，其采樣點位置可以與懸浮粒子測定點的布置相同。如實測狀態(tài)（空態(tài)，靜態(tài)，動態(tài)）與事先約定的狀態(tài)相同，以其潔凈度級別上限作為評定標(biāo)準(zhǔn)。② 潔凈度測定結(jié)果的判定：a.測點的布置原則：每層不少于5個測點，多于5點時可分層布置。采樣速度盡可能接近室內(nèi)氣流速度。 徑（mm） 1 17 85 198 566 10 100 1000 8510000 100000 c. 對于單向流潔凈室采樣口應(yīng)朝著氣流方向。 最小采樣量表(L)潔凈度級別（級） 粒度100級和高于100級 1000級 10000級 100000級小于10 2~ 3 2 2 210 4 3 2 220 8 6 2 240 16 13 4 2100 40 32 10 3200 80 63 20 6400 160 126 40 131000 400 316 100 322000 800 633 200 63b. 測定潔凈度的最小采樣量按下表：表十八凈最低采樣點數(shù)表面積（m2） 潔表十七c. 實測個風(fēng)口風(fēng)量與設(shè)計風(fēng)量之差不應(yīng)超出15％。④風(fēng)量測定結(jié)果的判定：a. 實測風(fēng)量應(yīng)大于設(shè)計風(fēng)量，但不應(yīng)超出20％。圓形風(fēng)管的測點布置b. 風(fēng)口法測風(fēng)量：在施工驗收規(guī)范JGJ71中規(guī)定了兩種方法：其一是對于有過濾器的風(fēng)口，可根據(jù)風(fēng)口形式選用與風(fēng)口斷面相同的輔助風(fēng)管，其長度為兩倍風(fēng)口的邊長，連接于被測風(fēng)口外部，在輔助風(fēng)管的出口面上，最少布置6個測點，用熱球風(fēng)速儀測個點風(fēng)速，再用斷面平均風(fēng)速乘以風(fēng)口凈面積來計算風(fēng)量。圖三十七圖三十六 矩形風(fēng)管的測點布置整個測定斷面的測點數(shù)不少于3個。對于矩形風(fēng)管將測定斷面分成若干個相等的小截面，盡可能接近方形，邊長應(yīng)不大于200mm。 ② 單向流潔凈室風(fēng)量的測定：垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室的風(fēng)量是采用斷面平均風(fēng)速和斷面面積的乘積來計算的，斷面的選取和斷面上的測點布置見下表。⑦照度測試儀：常用的便攜式照度計它的原理是用一種光敏元件做探頭，當(dāng)有光照時就會產(chǎn)生光電流，光線越強(qiáng)光電流越大，測量電流時就可測出照度。⑤濕度測試儀：濕度測試儀按其原理可分為干濕球溫度計、毛發(fā)溫度計、電溫度計等。d．電阻溫度計：基于某種金屬及其合金或半導(dǎo)體的電阻會隨溫度變化而變化，精確地測定電阻就會測出溫度。b．壓力式溫度計：可分為充氣壓力計式溫度計和充蒸汽壓力計式溫度計。④溫度測試儀：通稱溫度計，按其作用原理可分為膨脹式溫度計、壓力式溫度計、熱電偶溫度計和電阻溫度計。浮游菌采樣器主要有：固體撞擊式采樣器、離心式空氣微生物采樣器、氣旋式微生物采樣器、液體沖擊式微生物采樣器、過濾式微生物采樣器和大容量靜電沉降采樣器等。它的原理是利用空氣中的微粒對光線的散射現(xiàn)象，將采樣空氣中的微粒的光脈沖信號轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電脈沖信號來測定微粒的顆粒數(shù)，利用微粒的光散射強(qiáng)度與微粒粒徑的平方成正比的關(guān)系來測量微粒粒徑的大小。②風(fēng)量測量儀：在潔凈室中總風(fēng)量的測試常用風(fēng)管法，各房間送回風(fēng)量多用風(fēng)口法進(jìn)行測量，其原理為平均風(fēng)速乘以斷面面積。b．散熱率式風(fēng)速儀：是根據(jù)流體中受熱物體的散熱率與流體流速成正比關(guān)系制成，測定傳感器的散熱率，即能測到流體的流速。風(fēng)速和風(fēng)量測試儀器： ① 風(fēng)速測量儀的作用原理有：機(jī)械式、散熱率式和動力測壓式等。常用的彈簧壓力計主要有：彈簧管壓力計、膜片管壓力計和膜核壓力計。液體壓力計主要有：U型管壓力計、斜管壓力計、補(bǔ)償式壓力計。①液體壓力計：液體壓力計具有使用方便、價格低廉、精確度較高、制造安裝方便等優(yōu)點，但有測量范圍受限制、玻璃管易碎等缺點。 潔凈室運行狀態(tài)下的定期性能測試根據(jù)（潔凈廠房設(shè)計規(guī)范）的要求，因生產(chǎn)的復(fù)雜性和維護(hù)管理工作的主，客觀原因造成潔凈室性能的下降，必須對潔凈室進(jìn)行定期的性能測試，檢測的頻數(shù)見下表。潔凈室性能測試所需要測試的項目以下：①通風(fēng)機(jī)的風(fēng)量和轉(zhuǎn)數(shù)；②風(fēng)量及其平衡；③室內(nèi)靜壓及其調(diào)整；④自控系統(tǒng)的聯(lián)動；⑤高效過濾器的檢漏；⑥室內(nèi)的潔凈度；等六項。 凈室竣工驗收的性能測試根據(jù)（潔凈室施工及驗收規(guī)范）和（潔凈廠房設(shè)計規(guī)范）的要求，潔凈室竣工驗收分兩步進(jìn)行，第一步是竣工調(diào)試和性能測試，第二步是潔凈室性能的綜合評價。在對潔凈室性能測試的基礎(chǔ)上，根據(jù)對潔凈室潔凈度、溫、濕度、正壓、風(fēng)量、噪聲等測試結(jié)果，對潔凈室的建設(shè)和性能進(jìn)行竣工驗收的綜合評價。采用補(bǔ)償式微壓計測量。再計算送風(fēng)量。風(fēng)量測試：在送風(fēng)管或送風(fēng)口上測送風(fēng)風(fēng)量。②風(fēng)量或風(fēng)速測試：單向流潔室測量斷面風(fēng)速、非單向流潔凈室測其風(fēng)量。取其平均值做該點的測量值。①潔凈度測試：采樣點布置在工作面上（~），采樣點數(shù)量N=A1/2（A是潔凈室面積‘m2’）。接著進(jìn)行潔凈室的性能測試和綜合評價。必要時，在潔凈室內(nèi)人為的設(shè)置一定量的負(fù)荷，考核溫、濕度探頭、中間儀表和執(zhí)行機(jī)構(gòu)的聯(lián)動是否敏感、協(xié)調(diào)；考核溫、濕度探頭是否準(zhǔn)確，精度是否合格。聯(lián)動調(diào)試聯(lián)動調(diào)試在風(fēng)量調(diào)整和單機(jī)試車后進(jìn)行。因為調(diào)整任何一個風(fēng)口風(fēng)量時，都會影響已調(diào)整過的風(fēng)口的風(fēng)量的變化；因此，在調(diào)整任何一個風(fēng)口風(fēng)量時，都要以標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口當(dāng)時風(fēng)量為參照風(fēng)量，使所有被調(diào)風(fēng)口的風(fēng)量均隨標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口的風(fēng)量變化而同步變化。在標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口上設(shè)一監(jiān)測儀表，隨時測試標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口的風(fēng)量變化。因此，采用標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口法。標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口法：一個潔凈室可能有幾個、幾十個空調(diào)送風(fēng)口、回風(fēng)口。風(fēng)量分配調(diào)試工作也是整個調(diào)試工作的重點工作。因為一個潔凈廠房可能有多個空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)和排風(fēng)系統(tǒng)，或一個空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)要負(fù)擔(dān)多個潔凈室的送風(fēng)。（三）聯(lián)動調(diào)試聯(lián)動調(diào)試一般情況下分為兩個階段進(jìn)行，即風(fēng)量分配階段和聯(lián)動調(diào)試階段。對于大型設(shè)備如冷凍機(jī)、鍋爐、空調(diào)器等（尤其是進(jìn)口設(shè)備）在單機(jī)試車時最好有生產(chǎn)廠家的調(diào)試人員現(xiàn)場指導(dǎo)或由生產(chǎn)廠家負(fù)責(zé)試車，待運轉(zhuǎn)正常后再移交給使用單位。尤其對轉(zhuǎn)動設(shè)備如風(fēng)機(jī)、水泵要試轉(zhuǎn)看是否運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，有無雜音和碰撞和反轉(zhuǎn)現(xiàn)象；用電設(shè)備接線是否正確；冷凍機(jī)和鍋爐是否能達(dá)到設(shè)計要求；空調(diào)器中表冷器的降溫去濕能力、加濕器的加濕能力等等進(jìn)行單體檢查、考核。進(jìn)而，對供冷設(shè)備（冷凍機(jī)、冷卻塔、冷凍水泵、冷卻水等）、供熱設(shè)備（鍋爐、換熱器、熱水泵等）、空調(diào)設(shè)備（表面冷卻器、加熱器、加濕器、過濾器、風(fēng)機(jī)等）、自動控制設(shè)備、儀表、閥門以及各系統(tǒng)的配件進(jìn)行單體考核。如水泵、變壓器、配電箱、開關(guān)等。單機(jī)試車的主要內(nèi)容有：水、電先行。（二）單機(jī)試車單機(jī)試車是對工程中的所有的設(shè)備、配件等單體進(jìn)行試車。并且請施工單位配合電工、管工、扳金工和鉗工。②調(diào)試所用的器材、工具的準(zhǔn)備。測試儀器、儀表、工具的準(zhǔn)備①調(diào)試前要對調(diào)試中所用的儀器儀表進(jìn)行調(diào)試和標(biāo)定（超過使用時間還需重新進(jìn)行標(biāo)定）。④高效過濾器安裝檢漏合格后再對凈化空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行第二次空吹。檢漏在臨時檢漏臺上進(jìn)行，塵源利用大氣塵。系統(tǒng)空吹后可以安裝高效過濾器。對整個凈化空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行空吹，空吹時間為24~36小時，使整個系統(tǒng)得到初步的凈化。②安裝粗效、中效過濾器進(jìn)行第一次空吹。對潔凈室的地面、墻面、吊頂、門窗進(jìn)行認(rèn)真、全面、徹底的大掃除（最好請專業(yè)的清潔公司）；對空調(diào)設(shè)備、空調(diào)管道（送風(fēng)管、回風(fēng)管、新風(fēng)管），空調(diào)配件（清聲器、閥門、風(fēng)口等）進(jìn)行檢查、檢漏和擦試。并對施工、加工、安裝等質(zhì)量問題逐一填寫“缺陷明細(xì)表”，提出整改意見，限期（正式調(diào)試之前）整改完畢。從設(shè)備（冷凍機(jī)、鍋爐、水泵、冷卻塔、空調(diào)器等）、配件（閥門、風(fēng)口、消聲器等）、管道和管線到保溫、設(shè)備基礎(chǔ)、管道支吊架等的工程施工質(zhì)量進(jìn)行全面會檢。在調(diào)試小組的領(lǐng)導(dǎo)組織下，有建設(shè)單位、設(shè)計單位、施工單位、監(jiān)理單位的有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和技術(shù)人員參加，對施工現(xiàn)場、施工質(zhì)量進(jìn)行全面會檢。調(diào)試大綱的編制使調(diào)試人員思想明確、認(rèn)識統(tǒng)一、步調(diào)一致、行動整齊，使調(diào)試工作順利進(jìn)行。調(diào)試大綱是調(diào)試工作的指導(dǎo)性文件。調(diào)試小組領(lǐng)導(dǎo)調(diào)試的全面工作，調(diào)試小組協(xié)調(diào)各方面的關(guān)系，調(diào)試小組為調(diào)試工作提供各種軟硬條件。④潔凈室的性能測試和綜合評價。②單機(jī)試車。三．潔凈室的竣工驗收調(diào)試，性能測試和潔凈室的綜合評價竣工驗收的調(diào)試工作要分以下四個步驟進(jìn)行。保證所建造的潔凈室在潔凈度、溫濕度、風(fēng)速、壓力等所有參數(shù)必須滿足生產(chǎn)工藝的要求，保證安全、可靠、不出事故。因為，建造潔凈室的目的是為使用，是為了得到高成品率合格產(chǎn)品。（四）安全、可靠性好從前面（一）、（二）兩條特點可以得出建造和使用這樣的潔凈室要付出何等的代價。如潔凈室的圍護(hù)、裝修等；第三是可變而且容易改變的部分。無論怎樣改都不能改變的部分。因此，在設(shè)計和建造潔凈廠房時，就要考慮到工藝的發(fā)展、變更，就要考慮到潔凈廠房的靈活性和適應(yīng)性。這就要求為其服務(wù)的高級別的潔凈室必須能適應(yīng)其發(fā)展速度，有極好的靈活性和適應(yīng)性。折合每年單位面積的運行費用為7659元/m2年。還拿上述華虹NEC為例，其核心部分10000 m2潔凈室總的送風(fēng)量為6,400,000 m3/h，輸送凈化空氣的風(fēng)機(jī)耗電量為3840 Kw/h，全年電費為1659萬元（），空氣熱濕處理的耗電量約10000 Kw/h，全年電費為6000萬人民幣。單核心部分的10000 m2的潔凈室的建造費用就高達(dá)6000萬美元（約5億人民幣）（日本三機(jī)株式會社施工），折合每平方米建造費用約50000元人民幣/ m2。于1998年底建成投產(chǎn)。就拿已投產(chǎn)的上海華虹NEC超大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)線潔凈室舉例來說，華虹NEC為月投片30000片8硅片集成電路前工序生產(chǎn)線，有潔凈室面積約12000m2，其中10000 m2是在中心部位，另2000 m2在邊跨上。 國標(biāo)潔凈等級標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644與各國潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)的比較見表五。 ③ 根據(jù)工藝要求可確定1~2粒徑。 潔凈室及潔凈空氣中懸浮粒子的潔凈度等級ISO14644空氣潔凈度等級（N） ≥表中粒徑的最大濃度限值（個/m3） 1μm 5μm1 10 2 / / / /2 100 24 10 4 / /3 1000 237 102 35 8 /4 10000 2370 1020 352 83 /5 100000 23700 10200 3520 832 296 1000000 237000 102000 35200 8320 2937 / / / 352000 83200 29308 / / / 3520000 832000 293009 / / / 35200000 8320000 293000注：① 每點應(yīng)至少采樣3次。表四原來我們熟悉的100級、1000級、10000級和100000級都是源自美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209B，現(xiàn)在它們分別被國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644標(biāo)準(zhǔn)中的5級、6級、7級和8級所替代。 微生物檢測不能測瞬時值，須經(jīng)48小時培養(yǎng)才能讀出菌落數(shù)量。 人進(jìn)入要換鞋、更衣、淋浴、滅菌；物進(jìn)入要擦拭、清洗、滅菌；空氣送入要過濾、滅菌，人物分流，潔污分流。物進(jìn)入要清洗、擦拭。對潔凈室建筑材料的要求 所有材料（墻、頂、地等）不產(chǎn)塵、不積塵、耐磨擦 所有材料應(yīng)耐水、耐腐且不能提供微生物孳生繁殖條件。對生產(chǎn)工藝的危害 關(guān)鍵部位只要一顆灰塵就能造成產(chǎn)品的極大危害?？刂颇繕?biāo) 控制有害粒徑粒子濃度。 主要是采?。虹P除微生物生長的條件，控制微生物的孳生、繁殖和切斷微生物的傳播途徑。控制方法凈化措施 主要是采取過濾方法。工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別表比較項目 工業(yè)潔凈室 生物潔凈室研究對象（主要） 灰塵、粒子只有一次污染。 潔凈室與一般空調(diào)的差別比較項目 一般空調(diào) 凈化空調(diào)原理 送風(fēng)和室內(nèi)空氣充分混合以達(dá)到室內(nèi)