【正文】 潔凈度等級(jí)嚴(yán)于5級(jí)的單相流潔凈室在開(kāi)門(mén)時(shí)。④ 合格標(biāo)準(zhǔn)：首先，不同級(jí)別的潔凈室（區(qū)）與非潔凈室潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)不小于5Pa。第三，記錄在案② 靜壓差的測(cè)定步驟：首先，是將潔凈區(qū)內(nèi)所有的門(mén)全處于關(guān)閉狀態(tài)下。第三，測(cè)管口設(shè)置在室內(nèi)不受氣流干擾的地方。4．靜壓差的測(cè)定：①． 靜壓差的測(cè)定要求：首先，靜壓差的測(cè)定是潔凈區(qū)內(nèi)所有的門(mén)全關(guān)閉狀態(tài)下進(jìn)行的。ordm。C恒溫培養(yǎng)箱中，進(jìn)行不小于48小時(shí)的培養(yǎng)和觀察，確認(rèn)無(wú)菌后方可使用。. b. 沉降菌的測(cè)定法首先，要對(duì)測(cè)定儀器，培養(yǎng)皿等進(jìn)行嚴(yán)格的消毒滅菌，在37amp。C恒溫培養(yǎng)箱中，時(shí)間不小于48小時(shí)。第六，采樣結(jié)束后，將培養(yǎng)皿置于30~50amp。第四，關(guān)閉真空泵，放入培養(yǎng)皿，蓋好蓋子后調(diào)節(jié)采樣器。第二，采樣者應(yīng)穿與潔凈室等級(jí)相應(yīng)的潔凈服，放入或調(diào)換培養(yǎng)皿前，雙手要用消毒劑消毒。 沉降菌測(cè)定最少培養(yǎng)皿數(shù)表潔凈度等級(jí)（級(jí)） 90培養(yǎng)皿數(shù)（）高于100 44100 141000 510000 2100000 2浮游菌測(cè)定法最小采樣量應(yīng)按不同潔凈度等級(jí)來(lái)確定。 度100級(jí) 10000級(jí) 100000級(jí)小于10 2~ 3 2 210~20 4 2 220~40 8 2 240~100 16 4 2100~200 40 10 3200~400 80 20 6400~1000 160 40 131000~2000 400 100 322000以上 800 200 63表二十一凈沉降菌測(cè)定最少采樣點(diǎn)數(shù)表面積（m2） 潔見(jiàn)下表：表二十測(cè)點(diǎn)布置要均勻。~。 測(cè)點(diǎn)布置要均勻。~,送風(fēng)口測(cè)點(diǎn)位置距送風(fēng)面30cm左右。3．微生物粒子的測(cè)定：①．采樣點(diǎn)的布置和要求：如實(shí)測(cè)狀態(tài)（空態(tài)，靜態(tài)，動(dòng)態(tài)）與事先約定的狀態(tài)相同，以其潔凈度級(jí)別上限作為評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)。② 潔凈度測(cè)定結(jié)果的判定：a.測(cè)點(diǎn)的布置原則：每層不少于5個(gè)測(cè)點(diǎn)，多于5點(diǎn)時(shí)可分層布置。采樣速度盡可能接近室內(nèi)氣流速度。1000 8510000 100000 c. 對(duì)于單向流潔凈室采樣口應(yīng)朝著氣流方向。10 2．潔凈度的測(cè)定：①． 在施工驗(yàn)收規(guī)范JGJ71中規(guī)定如下：a. 最低采樣點(diǎn)數(shù)見(jiàn)下表，每個(gè)測(cè)點(diǎn)最少采樣機(jī)3次。b. 實(shí)測(cè)新風(fēng)量與設(shè)計(jì)新風(fēng)量之差不應(yīng)超出10％。其二是對(duì)于有同類(lèi)擴(kuò)散板的風(fēng)口，可根據(jù)擴(kuò)散板的風(fēng)量阻力曲線和實(shí)測(cè)擴(kuò)散板阻力來(lái)查出風(fēng)口的風(fēng)量。 對(duì)于圓形風(fēng)管將測(cè)定斷面分成若干個(gè)面積相等的同心圓環(huán)，每個(gè)圓環(huán)上設(shè)4個(gè)測(cè)點(diǎn)，4個(gè)測(cè)點(diǎn)應(yīng)在相互垂直的兩條直徑上。測(cè)定點(diǎn)在小截面的中心。容 施工驗(yàn)收規(guī)范JGJ71 設(shè)計(jì)規(guī)范GB50073垂直單向流 垂直單向流 垂直單向流 水平單向流測(cè)定斷面的選取 測(cè)點(diǎn)的布置 間距不大于2m均勻布置 最少測(cè)點(diǎn)數(shù) 10點(diǎn)，算數(shù)平均 5點(diǎn)，算數(shù)平均測(cè)定儀器 熱球風(fēng)速儀 未作具體規(guī)定評(píng)定標(biāo)準(zhǔn) 應(yīng)大于設(shè)計(jì)風(fēng)速,且不超過(guò)20％ 1~4級(jí) ~ 5級(jí)（100級(jí)） ~③ 非單向流潔凈室風(fēng)量的測(cè)定：非單向流潔凈室風(fēng)量的測(cè)定可采用風(fēng)管法和風(fēng)口法a. 風(fēng)管法測(cè)風(fēng)量：風(fēng)管法測(cè)風(fēng)量中風(fēng)管測(cè)定斷面應(yīng)選擇氣流比較均勻穩(wěn)定地方，且與局部阻力的距離，測(cè)定斷面在局部阻力前時(shí)不小于3倍風(fēng)管管徑長(zhǎng)度，測(cè)定斷面在局部阻力后時(shí)不小于5倍風(fēng)管長(zhǎng)邊長(zhǎng)度。施工驗(yàn)收規(guī)范JGJ71和設(shè)計(jì)規(guī)范GB50073的比較內(nèi)表十六測(cè)試前首先檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常，系統(tǒng)中各部件安裝是否正確，有無(wú)障礙，所有閥門(mén)的開(kāi)啟位置是否正確并且固定可靠。⑦照度測(cè)試儀：常用的便攜式照度計(jì)它的原理是用一種光敏元件做探頭，當(dāng)有光照時(shí)就會(huì)產(chǎn)生光電流，光線越強(qiáng)光電流越大，測(cè)量電流時(shí)就可測(cè)出照度。⑤濕度測(cè)試儀：濕度測(cè)試儀按其原理可分為干濕球溫度計(jì)、毛發(fā)溫度計(jì)、電溫度計(jì)等。d．電阻溫度計(jì)：基于某種金屬及其合金或半導(dǎo)體的電阻會(huì)隨溫度變化而變化，精確地測(cè)定電阻就會(huì)測(cè)出溫度。b．壓力式溫度計(jì)：可分為充氣壓力計(jì)式溫度計(jì)和充蒸汽壓力計(jì)式溫度計(jì)。④溫度測(cè)試儀：通稱(chēng)溫度計(jì)，按其作用原理可分為膨脹式溫度計(jì)、壓力式溫度計(jì)、熱電偶溫度計(jì)和電阻溫度計(jì)。浮游菌采樣器主要有：固體撞擊式采樣器、離心式空氣微生物采樣器、氣旋式微生物采樣器、液體沖擊式微生物采樣器、過(guò)濾式微生物采樣器和大容量靜電沉降采樣器等。它的原理是利用空氣中的微粒對(duì)光線的散射現(xiàn)象，將采樣空氣中的微粒的光脈沖信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電脈沖信號(hào)來(lái)測(cè)定微粒的顆粒數(shù)，利用微粒的光散射強(qiáng)度與微粒粒徑的平方成正比的關(guān)系來(lái)測(cè)量微粒粒徑的大小。②風(fēng)量測(cè)量?jī)x：在潔凈室中總風(fēng)量的測(cè)試常用風(fēng)管法，各房間送回風(fēng)量多用風(fēng)口法進(jìn)行測(cè)量，其原理為平均風(fēng)速乘以斷面面積。b．散熱率式風(fēng)速儀：是根據(jù)流體中受熱物體的散熱率與流體流速成正比關(guān)系制成，測(cè)定傳感器的散熱率，即能測(cè)到流體的流速。① 風(fēng)速測(cè)量?jī)x的作用原理有：機(jī)械式、散熱率式和動(dòng)力測(cè)壓式等。③電學(xué)壓力計(jì)：電學(xué)壓力計(jì)是利用壓電原理或高壓下電阻變化等電學(xué)方法來(lái)測(cè)定壓力的壓力計(jì)，適用于測(cè)量變化極快、數(shù)值很高或近乎絕對(duì)真空時(shí)的壓力。②彈簧壓力計(jì)：彈簧壓力計(jì)是根據(jù)彈簧元件在所測(cè)壓力作用下發(fā)生變形，其變形量與所測(cè)壓力成函數(shù)關(guān)系這一原理制成的，其優(yōu)點(diǎn)是構(gòu)造簡(jiǎn)單、便于攜帶、安裝方便、價(jià)格低廉。常用的工作液體有：酒精、水、水銀等，在潔凈室測(cè)量中主要是酒精和水。1 室內(nèi)送風(fēng)量，系統(tǒng)總風(fēng)量，室內(nèi)排風(fēng)量， 檢測(cè) 檢測(cè)2 靜壓差 檢測(cè) 檢測(cè)3 風(fēng)速和風(fēng)量 檢測(cè) 不測(cè) 檢測(cè)4 斷面風(fēng)速不均勻度 檢測(cè) 必要時(shí)測(cè) 不測(cè) 未規(guī)定5 潔凈度級(jí)別 檢測(cè) 檢測(cè)6 浮游菌和沉降菌 必要時(shí)測(cè) 選測(cè)7 室內(nèi)溫度和室內(nèi)相對(duì)濕度 檢測(cè) 選測(cè)8 溫濕度波動(dòng)范圍和區(qū)域溫差 必要時(shí)測(cè) 未規(guī)定9 室內(nèi)噪聲級(jí) 檢測(cè) 選測(cè)10 室內(nèi)倍頻程聲壓級(jí) 必要時(shí)測(cè) 選測(cè)11 室內(nèi)照度及其均勻度 檢測(cè) 選測(cè)12 室內(nèi)微振 必要時(shí)測(cè) 必要時(shí)測(cè)13 表面導(dǎo)靜電性 必要時(shí)測(cè) 必要時(shí)測(cè)14 室內(nèi)氣流流型 不測(cè) 必要時(shí)測(cè) 選測(cè)15 流線平行度 檢測(cè) 必要時(shí)測(cè) 不測(cè) 必要時(shí)測(cè)16 自?xún)魰r(shí)間 不測(cè) 必要時(shí)測(cè) 必要時(shí)測(cè) 選測(cè)17 過(guò)濾器安裝檢漏 未規(guī)定 選測(cè)18 污染泄漏 未規(guī)定 選測(cè)（三）潔凈室性能測(cè)試的主要儀器和儀表（三）潔凈室性能測(cè)試的主要儀器和儀表風(fēng)壓測(cè)試儀器：主要用于測(cè)定潔凈室之間和潔凈與非潔凈區(qū)之間微壓差，也可利用壓差法測(cè)量風(fēng)速，計(jì)算風(fēng)量。 潔凈室運(yùn)行狀態(tài)下的定期性能測(cè)試根據(jù)（潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范）的要求，因生產(chǎn)的復(fù)雜性和維護(hù)管理工作的主，客觀原因造成潔凈室性能的下降，必須對(duì)潔凈室進(jìn)行定期的性能測(cè)試，檢測(cè)的頻數(shù)見(jiàn)下表。潔凈室性能測(cè)試所需要測(cè)試的項(xiàng)目以下：①通風(fēng)機(jī)的風(fēng)量和轉(zhuǎn)數(shù)；②風(fēng)量及其平衡；③室內(nèi)靜壓及其調(diào)整；④自控系統(tǒng)的聯(lián)動(dòng)；⑤高效過(guò)濾器的檢漏；⑥室內(nèi)的潔凈度；等六項(xiàng)。 凈室竣工驗(yàn)收的性能測(cè)試根據(jù)（潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范）和（潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范）的要求，潔凈室竣工驗(yàn)收分兩步進(jìn)行，第一步是竣工調(diào)試和性能測(cè)試，第二步是潔凈室性能的綜合評(píng)價(jià)。在對(duì)潔凈室性能測(cè)試的基礎(chǔ)上，根據(jù)對(duì)潔凈室潔凈度、溫、濕度、正壓、風(fēng)量、噪聲等測(cè)試結(jié)果，對(duì)潔凈室的建設(shè)和性能進(jìn)行竣工驗(yàn)收的綜合評(píng)價(jià)。采用補(bǔ)償式微壓計(jì)測(cè)量。再計(jì)算送風(fēng)量。風(fēng)量測(cè)試：在送風(fēng)管或送風(fēng)口上測(cè)送風(fēng)風(fēng)量。②風(fēng)量或風(fēng)速測(cè)試：?jiǎn)蜗蛄鳚嵤覝y(cè)量斷面風(fēng)速、非單向流潔凈室測(cè)其風(fēng)量。取其平均值做該點(diǎn)的測(cè)量值。①潔凈度測(cè)試：采樣點(diǎn)布置在工作面上（~），采樣點(diǎn)數(shù)量N=A1/2（A是潔凈室面積‘m2’）。接著進(jìn)行潔凈室的性能測(cè)試和綜合評(píng)價(jià)。必要時(shí)，在潔凈室內(nèi)人為的設(shè)置一定量的負(fù)荷，考核溫、濕度探頭、中間儀表和執(zhí)行機(jī)構(gòu)的聯(lián)動(dòng)是否敏感、協(xié)調(diào)；考核溫、濕度探頭是否準(zhǔn)確，精度是否合格。聯(lián)動(dòng)調(diào)試聯(lián)動(dòng)調(diào)試在風(fēng)量調(diào)整和單機(jī)試車(chē)后進(jìn)行。因?yàn)檎{(diào)整任何一個(gè)風(fēng)口風(fēng)量時(shí)，都會(huì)影響已調(diào)整過(guò)的風(fēng)口的風(fēng)量的變化；因此，在調(diào)整任何一個(gè)風(fēng)口風(fēng)量時(shí)，都要以標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口當(dāng)時(shí)風(fēng)量為參照風(fēng)量，使所有被調(diào)風(fēng)口的風(fēng)量均隨標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口的風(fēng)量變化而同步變化。在標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口上設(shè)一監(jiān)測(cè)儀表，隨時(shí)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口的風(fēng)量變化。因此，采用標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口法。標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)口法：一個(gè)潔凈室可能有幾個(gè)、幾十個(gè)空調(diào)送風(fēng)口、回風(fēng)口。風(fēng)量分配調(diào)試工作也是整個(gè)調(diào)試工作的重點(diǎn)工作。因?yàn)橐粋€(gè)潔凈廠房可能有多個(gè)空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)和排風(fēng)系統(tǒng)，或一個(gè)空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)要負(fù)擔(dān)多個(gè)潔凈室的送風(fēng)。（三）聯(lián)動(dòng)調(diào)試聯(lián)動(dòng)調(diào)試一般情況下分為兩個(gè)階段進(jìn)行，即風(fēng)量分配階段和聯(lián)動(dòng)調(diào)試階段。對(duì)于大型設(shè)備如冷凍機(jī)、鍋爐、空調(diào)器等（尤其是進(jìn)口設(shè)備）在單機(jī)試車(chē)時(shí)最好有生產(chǎn)廠家的調(diào)試人員現(xiàn)場(chǎng)指導(dǎo)或由生產(chǎn)廠家負(fù)責(zé)試車(chē)，待運(yùn)轉(zhuǎn)正常后再移交給使用單位。尤其對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備如風(fēng)機(jī)、水泵要試轉(zhuǎn)看是否運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，有無(wú)雜音和碰撞和反轉(zhuǎn)現(xiàn)象；用電設(shè)備接線是否正確；冷凍機(jī)和鍋爐是否能達(dá)到設(shè)計(jì)要求；空調(diào)器中表冷器的降溫去濕能力、加濕器的加濕能力等等進(jìn)行單體檢查、考核。進(jìn)而，對(duì)供冷設(shè)備（冷凍機(jī)、冷卻塔、冷凍水泵、冷卻水等）、供熱設(shè)備（鍋爐、換熱器、熱水泵等）、空調(diào)設(shè)備（表面冷卻器、加熱器、加濕器、過(guò)濾器、風(fēng)機(jī)等）、自動(dòng)控制設(shè)備、儀表、閥門(mén)以及各系統(tǒng)的配件進(jìn)行單體考核。如水泵、變壓器、配電箱、開(kāi)關(guān)等。單機(jī)試車(chē)的主要內(nèi)容有：水、電先行。（二）單機(jī)試車(chē)單機(jī)試車(chē)是對(duì)工程中的所有的設(shè)備、配件等單體進(jìn)行試車(chē)。并且請(qǐng)施工單位配合電工、管工、扳金工和鉗工。②調(diào)試所用的器材、工具的準(zhǔn)備。測(cè)試儀器、儀表、工具的準(zhǔn)備①調(diào)試前要對(duì)調(diào)試中所用的儀器儀表進(jìn)行調(diào)試和標(biāo)定（超過(guò)使用時(shí)間還需重新進(jìn)行標(biāo)定）。④高效過(guò)濾器安裝檢漏合格后再對(duì)凈化空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行第二次空吹。檢漏在臨時(shí)檢漏臺(tái)上進(jìn)行，塵源利用大氣塵。系統(tǒng)空吹后可以安裝高效過(guò)濾器。對(duì)整個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行空吹，空吹時(shí)間為24~36小時(shí)，使整個(gè)系統(tǒng)得到初步的凈化。②安裝粗效、中效過(guò)濾器進(jìn)行第一次空吹。對(duì)潔凈室的地面、墻面、吊頂、門(mén)窗進(jìn)行認(rèn)真、全面、徹底的大掃除（最好請(qǐng)專(zhuān)業(yè)的清潔公司）；對(duì)空調(diào)設(shè)備、空調(diào)管道（送風(fēng)管、回風(fēng)管、新風(fēng)管），空調(diào)配件（清聲器、閥門(mén)、風(fēng)口等）進(jìn)行檢查、檢漏和擦試。并對(duì)施工、加工、安裝等質(zhì)量問(wèn)題逐一填寫(xiě)“缺陷明細(xì)表”，提出整改意見(jiàn)，限期（正式調(diào)試之前）整改完畢。從設(shè)備（冷凍機(jī)、鍋爐、水泵、冷卻塔、空調(diào)器等）、配件（閥門(mén)、風(fēng)口、消聲器等）、管道和管線到保溫、設(shè)備基礎(chǔ)、管道支吊架等的工程施工質(zhì)量進(jìn)行全面會(huì)檢。在調(diào)試小組的領(lǐng)導(dǎo)組織下，有建設(shè)單位、設(shè)計(jì)單位、施工單位、監(jiān)理單位的有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和技術(shù)人員參加，對(duì)施工現(xiàn)場(chǎng)、施工質(zhì)量進(jìn)行全面會(huì)檢。調(diào)試大綱的編制使調(diào)試人員思想明確、認(rèn)識(shí)統(tǒng)一、步調(diào)一致、行動(dòng)整齊，使調(diào)試工作順利進(jìn)行。調(diào)試大綱是調(diào)試工作的指導(dǎo)性文件。調(diào)試小組領(lǐng)導(dǎo)調(diào)試的全面工作，調(diào)試小組協(xié)調(diào)各方面的關(guān)系，調(diào)試小組為調(diào)試工作提供各種軟硬條件。④潔凈室的性能測(cè)試和綜合評(píng)價(jià)。②單機(jī)試車(chē)。三．潔凈室的竣工驗(yàn)收調(diào)試，性能測(cè)試和潔凈室的綜合評(píng)價(jià)竣工驗(yàn)收的調(diào)試工作要分以下四個(gè)步驟進(jìn)行。保證所建造的潔凈室在潔凈度、溫濕度、風(fēng)速、壓力等所有參數(shù)必須滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝的要求，保證安全、可靠、不出事故。因?yàn)?，建造潔凈室的目的是為使用，是為了得到高成品率合格產(chǎn)品。（四）安全、可靠性好從前面（一）、（二）兩條特點(diǎn)可以得出建造和使用這樣的潔凈室要付出何等的代價(jià)。如潔凈室的圍護(hù)、裝修等；第三是可變而且容易改變的部分。無(wú)論怎樣改都不能改變的部分。因此，在設(shè)計(jì)和建造潔凈廠房時(shí)，就要考慮到工藝的發(fā)展、變更，就要考慮到潔凈廠房的靈活性和適應(yīng)性。這就要求為其服務(wù)的高級(jí)別的潔凈室必須能適應(yīng)其發(fā)展速度，有極好的靈活性和適應(yīng)性。折合每年單位面積的運(yùn)行費(fèi)用為7659元/m2年。還拿上述華虹NEC為例，其核心部分10000 m2潔凈室總的送風(fēng)量為6,400,000 m3/h，輸送凈化空氣的風(fēng)機(jī)耗電量為3840 Kw/h，全年電費(fèi)為1659萬(wàn)元（），空氣熱濕處理的耗電量約10000 Kw/h，全年電費(fèi)為6000萬(wàn)人民幣。單核心部分的10000 m2的潔凈室的建造費(fèi)用就高達(dá)6000萬(wàn)美元（約5億人民幣）（日本三機(jī)株式會(huì)社施工），折合每平方米建造費(fèi)用約50000元人民幣/ m2。于1998年底建成投產(chǎn)。就拿已投產(chǎn)的上海華虹NEC超大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)線潔凈室舉例來(lái)說(shuō)，華虹NEC為月投片30000片8硅片集成電路前工序生產(chǎn)線，有潔凈室面積約12000m2，其中10000 m2是在中心部位，另2000 m2在邊跨上。 國(guó)標(biāo)潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644與各國(guó)潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的比較見(jiàn)表五。 ③ 根據(jù)工藝要求可確定1~2粒徑。 潔凈室及潔凈空氣中懸浮粒子的潔凈度等級(jí)ISO14644空氣潔凈度等級(jí)（N） ≥表中粒徑的最大濃度限值（個(gè)/m3） 1μm 5μm1 10 2 / / / /2 100 24 10 4 / /3 1000 237 102 35 8 /4 10000 2370 1020 352 83 /5 100000 23700 10200 3520 832 296 1000000 237000 102000 35200 8320 2937 / / / 352000 83200 29308 / / / 3520000 832000 293009 / / / 35200000 8320000 293000注：① 每點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次。表四原來(lái)我們熟悉的100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)和100000級(jí)都是源自美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209B，現(xiàn)在它們分別被國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644標(biāo)準(zhǔn)中的5級(jí)、6級(jí)、7級(jí)和8級(jí)所替代。 微生物檢測(cè)不能測(cè)瞬時(shí)值，須經(jīng)48小時(shí)培養(yǎng)才能讀出菌落數(shù)量。 人進(jìn)入要換鞋、更衣、淋浴、滅菌；物進(jìn)入要擦拭、清洗、滅菌；空氣送入要過(guò)濾、滅菌，人物分流，潔污分流。物進(jìn)入要清洗、擦拭。對(duì)潔凈室建筑材料的要求 所有材料（墻