太陽能級多晶硅料等級標準-文庫吧資料
2025-07-20 23:02本頁面
【正文】 棒狀多晶硅的直徑、長度尺寸由供需雙方商定?！?尺寸范圍 破碎的塊狀硅多晶具有無規(guī)則的形狀和隨機尺寸分布，其線性尺寸最小為6mm，最大為100mm。其技術(shù)要求同表1太陽能級塊狀和棒狀多晶硅純度要求中的2級品。cm≥500≥10≥10氧濃度，at/cm3≤1017 ≤1017≤1017 碳濃度，at/cm3≤1016 ≤1016 ≤1016 N型少數(shù)載流子壽命，μs≥100≥50≥10基體金屬雜質(zhì)，ppmwFe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ca、Mg、Al，TMI≤Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ca、Mg、Al，TMI≤Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ca、Mg、Al，TMI≤ 粉狀多晶硅粉狀多晶硅的純度及相關(guān)技術(shù)要求應符合表2的規(guī)定。表1 項目太陽能級硅多晶等級1級品2級品3級品N型電阻率，Ω 牌號硅多晶牌號表示為：SOGPSi—□—□ 阿拉伯數(shù)字表示硅多晶等級 字母I表示棒狀，N表示塊狀、G表示粒狀、P表示粉狀凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。2 規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。本標準適用于以三氯氫硅或四氯化硅為原料，生產(chǎn)的棒狀多晶硅、粒狀狀多晶硅、包括塊狀多晶硅、碳頭料和生產(chǎn)過程中的硅粉，以及采用物理提純法提純生產(chǎn)的多晶硅。本標準主要起草人：楊玉安、袁金滿、孫世龍、汪義川。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會歸口。本標準的術(shù)語與相關(guān)標準協(xié)調(diào)一致。本標準考慮了目前市場上的大部分多晶硅料，包括：硅粉、碳頭料、棒狀料、塊狀料、顆粒料等，根據(jù)不同
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