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正文內(nèi)容

集成電路技術(shù)十年發(fā)展報告-文庫吧資料

2025-06-05 00:31本頁面
  

【正文】 米級技術(shù)時代以后所面臨的基礎(chǔ)技術(shù)和物理限制等問題展開研究,在器件結(jié)構(gòu)、材料及工藝、包括量子效應(yīng)等物理效應(yīng)的器件和可靠性模型等方面,取得了一系列的階段性創(chuàng)新成果;與此同時,成立不久的中芯國際自主開發(fā)了130nm大生產(chǎn)和銅(Cu)制程工藝,這為后來在納米級集成電路大生產(chǎn)工藝開展研究奠定了良好的工藝技術(shù)基礎(chǔ)。我國年銷售額超過6000萬美元的芯片制造商已超過8家,集成電路制造業(yè)2005年到2012年的平均增長率達(dá)到30%。中芯國際公司12英寸生產(chǎn)線的建成,標(biāo)志著我國芯片制造業(yè)水平跨入世界先進(jìn)行列,其28nm量產(chǎn)工藝預(yù)計在2013年能夠初步完成。近十年間,我國集成電路制造業(yè)也獲得迅猛發(fā)展。該項成果獲得了2008年度國家科技進(jìn)步一等獎?! 闈M足第二代身份證芯片的需求,業(yè)內(nèi)公司、科研單位、大專院校等多個單位開展了多項專題技術(shù)攻關(guān):重點研究第二代居民身份證專用芯片抗靜電放電(ESD)可靠性設(shè)計技術(shù)、芯片安全性設(shè)計關(guān)鍵技術(shù)、卡片與機(jī)具的適應(yīng)性設(shè)計關(guān)鍵技術(shù)、芯片模塊工藝優(yōu)化技術(shù)、芯片可靠性評價技術(shù)、芯片應(yīng)用安全性評估技術(shù)、芯片失效機(jī)理分析等關(guān)鍵技術(shù);取得了ESD保護(hù)電路設(shè)計技術(shù)、非接觸芯片調(diào)制技術(shù)、非接觸穩(wěn)壓電路技術(shù)、多通道測試技術(shù)、噪聲檢測技術(shù)、真隨機(jī)數(shù)發(fā)生器電路設(shè)計技術(shù)、防攻擊安全性設(shè)計技術(shù)、非接觸閱讀器調(diào)制技術(shù)、非接觸卡條帶優(yōu)化技術(shù)、非接觸模塊抗壓測量技術(shù)、芯片參數(shù)測試分析技術(shù)與裝置、EEPROM壽命預(yù)測技術(shù)、失效分析技術(shù)、芯片失效統(tǒng)計分析方法和應(yīng)用安全性評測方法等20項關(guān)鍵技術(shù)與方法成果,并成功應(yīng)用于各公司的二代證專用芯片產(chǎn)品設(shè)計與優(yōu)化?! ⌒?lián)Q發(fā)的居民身份證則采用新的實現(xiàn)技術(shù)和新的制作工藝,縮短證件制發(fā)周期;在原有視讀功能的基礎(chǔ)上,增加機(jī)讀功能;采用較先進(jìn)的防偽措施,提高證件的防偽特性;同時,作為國家法定證件和公民身份號碼的載體,為適應(yīng)國家現(xiàn)代化和信息化建設(shè)的發(fā)展趨勢,證件還應(yīng)具備機(jī)器閱讀檢驗和計算機(jī)聯(lián)網(wǎng)查詢的功能。1997年3月國務(wù)院第143次總理辦公會認(rèn)為非接觸式集成電路卡技術(shù)具備綜合優(yōu)點,適于居民身份證的應(yīng)用;2001年1月,國務(wù)院第90次總理辦公會議原則同意公安部《關(guān)于采用非接觸式IC卡技術(shù)換發(fā)我國第二代居民身份證的請示》,同年6月,國務(wù)院印發(fā)了《關(guān)于換發(fā)第二代居民身份證有關(guān)問題的批復(fù)》,至此,我國新一代居民身份證(以下簡稱:二代證)確定采用非接觸式IC卡技術(shù)制作。這一技術(shù)的誕生不僅打破了國外企業(yè)的壟斷,填補了空白,其技術(shù)的先進(jìn)性帶動了全球智能卡芯片的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型,也推動了我國智能卡企業(yè)的群體突破,具有重大的戰(zhàn)略意義?;陂W存的智能卡技術(shù)為全球智能卡的發(fā)展也做出了積極的貢獻(xiàn)?;陂W存的智能卡技術(shù)也被國際大廠所采用,德國的英飛凌,美國的愛特梅爾,日本的瑞薩半導(dǎo)體和韓國的三星公司均采用這項技術(shù)生產(chǎn)智能卡芯片。這項技術(shù)使得中國的智能卡技術(shù)一步跨入世界先進(jìn)水平行列,目前中國企業(yè)生產(chǎn)的SIM卡芯片占全球的30%,中國市場上銷售的SIM卡芯片60%為中國企業(yè)所生產(chǎn)?;陂W存的智能卡集成電路技術(shù)和工藝平臺產(chǎn)生了巨大的經(jīng)濟(jì)和社會效益。所實現(xiàn)的IP核的容量從2KB6MB,均經(jīng)過了大規(guī)模生產(chǎn)的檢驗;  。經(jīng)過大規(guī)模生產(chǎn)的檢驗,證明了工藝平臺的先進(jìn)性;  。在本項目實施之初,盡管閃存技術(shù)已有相對成熟的制造工藝平臺,但應(yīng)用于智能卡的嵌入式閃存工藝還是空白。運營商或用戶可以對卡內(nèi)增值業(yè)務(wù)進(jìn)行在線變更,有效提高了用戶黏性和數(shù)據(jù)業(yè)務(wù)的運營收益。在軟件方面,承研單位發(fā)明了基于SIM卡應(yīng)用工具箱(STK)技術(shù)的移動通信增值業(yè)務(wù)空中下載技術(shù)(簡稱OTA技術(shù))。在硬件方面,以閃存取代了ROM和EEPROM,為智能卡程序代碼的在線修改和升級提供了可能?;谟布拇鎯ζ鞑僮鳈?quán)限管理控制和基于軟件的地址配置相結(jié)合,實現(xiàn)了可控粒度的存儲器功能劃分,實現(xiàn)了可執(zhí)行代碼的安全寫入和執(zhí)行切換;  。為了提高閃存型智能卡芯片的安全性,硬件系統(tǒng)采用了多用戶分級、分區(qū)存儲、下載控制等機(jī)制,保證了不同用戶對閃存的操作被限制在允許的范圍內(nèi)。閃存型智能卡芯片的數(shù)據(jù)有效存儲時間超過10年,反復(fù)擦寫次數(shù)超過30萬次,均達(dá)到和超過了傳統(tǒng)IC卡的芯片;  。采用閃存實現(xiàn)的智能卡芯片盡管提供了COS和數(shù)據(jù)的后期寫入,防止了COS代碼和數(shù)據(jù)的前期泄露,但是對閃存的可靠性要求大幅度提高。但是,閃存的引入也引發(fā)了可靠性、存儲器內(nèi)容防護(hù)等新課題。這首先體現(xiàn)在傳統(tǒng)的IC卡由于ROM的不可更改性,無法實現(xiàn)應(yīng)用程序的更新和升級;其次,由于操作系統(tǒng)代碼必須交給芯片制造廠用于ROM制備,無法保證代碼的安全;第三,由于EEPROM的結(jié)構(gòu),決定了單元面積很難進(jìn)一步縮小,無法實現(xiàn)大容量存儲。包括:  。華虹NEC已經(jīng)成為世界上最有影響力、最有優(yōu)勢的智能卡芯片制造商。  華虹NEC致力于自主工藝的研發(fā),在嵌入式閃存制造方面形成了自己獨到的工藝和技術(shù),為基于閃存的SIM卡研發(fā)和大批量生產(chǎn)打下了牢固的基礎(chǔ)。基于閃存的電信智能卡技術(shù)推動了IC卡向智能卡的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)變?! ≡谠畔a(chǎn)業(yè)部和國家發(fā)改委的支持下,大唐微電子、清華大學(xué)和華虹NEC等單位聯(lián)合攻關(guān),勇于創(chuàng)新、善于創(chuàng)新,在全球率先采用閃爍存儲器(Flash,簡稱閃存)替代傳統(tǒng)IC卡的只讀存儲器(ROM)和電擦除可編程存儲器(EEPROM),并突破了芯片設(shè)計、可靠性、安全防護(hù)等一系列關(guān)鍵技術(shù),一舉打破了國外的技術(shù)壟斷。鑒于以SIM卡為代表的電信智能卡在信息安全、國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展、個人隱私保護(hù)和金融安全等方面的關(guān)鍵作用,中央政府高度重視并設(shè)立了包括移動通信專項、產(chǎn)業(yè)研發(fā)資金、國家科技計劃和國家科技重大專項等一系列科技和產(chǎn)業(yè)化項目,支持自主電信智能卡的科技攻關(guān)和產(chǎn)業(yè)化?! ‰S著我國在上世紀(jì)90年代中期開始全面部署以GSM為代表的移動通信系統(tǒng),SIM卡成為不可或缺的關(guān)鍵產(chǎn)品。經(jīng)過20多年的發(fā)展,IC卡已經(jīng)演進(jìn)為具備信息處理功能和承載電信業(yè)務(wù)的智能卡(SmartCard),并在電信、身份證明和金融領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。圖12圖13是山東華芯半導(dǎo)體的DDR2產(chǎn)品及部分應(yīng)用情況?! ∩綎|華芯的DDR2產(chǎn)品主要面向計算機(jī)、服務(wù)器等主流應(yīng)用,在計算機(jī)、服務(wù)器等領(lǐng)域取得了重要進(jìn)展。批量生產(chǎn)過程中,山東華芯的DDR2產(chǎn)品成品率大約為81%,比國際同行平均水平高16%,有力提升了產(chǎn)品的市場競爭力。該芯片的激活電流(正常工作電流)明顯低于市場上的同類產(chǎn)品。更為可貴的是,山東華芯在引進(jìn)消化吸收奇夢達(dá)技術(shù)的同時,不斷創(chuàng)新,在產(chǎn)品設(shè)計技術(shù)、低功耗等方面有所突破,積累了良好的存儲器設(shè)計、測試、量產(chǎn)、方案構(gòu)建及推廣應(yīng)用等研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗,成長為全球重要的DRAM研發(fā)企業(yè)。經(jīng)過2年多的努力,山東華芯半導(dǎo)體公司推出了DDR2產(chǎn)品,經(jīng)過測試完全達(dá)到了奇夢達(dá)產(chǎn)品的質(zhì)量和性能,開始進(jìn)入市場,產(chǎn)品銷往國內(nèi)和歐洲市場。2008年,山東華芯半導(dǎo)體公司抓住全球DRAM的主要生產(chǎn)商——德國奇夢達(dá)公司破產(chǎn)清算的有利時機(jī),收購了奇夢達(dá)在中國西安的研發(fā)中心,并通過授權(quán)等方式獲得了奇夢達(dá)公司基于65nmBWL工藝平臺的芯片與模組設(shè)計,晶圓、顆粒及模組測試等相關(guān)的專利、Knowhow等知識產(chǎn)權(quán)和開發(fā)工具,以及上萬件專利的使用權(quán),掃清了自主發(fā)展DRAM產(chǎn)品的知識產(chǎn)權(quán)障礙,擁有了優(yōu)秀的人才資源、技術(shù)資源和設(shè)備資源等,具備了發(fā)展自主DRAM產(chǎn)品的基礎(chǔ)條件。研發(fā)中國自己的高性能、大容量DRAM對于發(fā)展自主可控的中國電子信息產(chǎn)業(yè)具有重大戰(zhàn)略意義。 ?。ㄋ模﹦討B(tài)隨機(jī)存儲器  動態(tài)隨機(jī)存儲器(DRAM)與中央處理器(CPU)、數(shù)字信號處理器(DSP)和可編程邏輯陣列器件(FPGA)并稱四大高端通用芯片,是計算機(jī)系統(tǒng)的兩大核心部件之一,是電子信息領(lǐng)域的重大戰(zhàn)略性支柱產(chǎn)品。AVS芯片開發(fā)商也有20多家(我國大陸9家、臺灣4家,美、歐、日、韓共10家),其中杭州國芯科技股份有限公司和北京海爾集成電路有限公司均已實現(xiàn)了大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化,并已形成系列產(chǎn)品。相關(guān)產(chǎn)品榮獲2008年度信息產(chǎn)業(yè)重大技術(shù)發(fā)明獎、2009年度國家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎、2010年度電子信息科學(xué)技術(shù)一等獎。即從2012年11月起,所有地面數(shù)字電視終端產(chǎn)品必須支持DTMB解調(diào)和AVS解碼。  2011年6月《地面數(shù)字電視接收機(jī)通用規(guī)范》和《地面數(shù)字電視接收器通用規(guī)范》等6項地面數(shù)字電視接收終端國家標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布,并于2011年11月1日起正式實施。同年7月,國際電信聯(lián)盟ITUT發(fā)布《ITUTechnicalPaperHSTPMCTBMediacodingtoolboxforIPTV:Audioandvideocodecs》,將AVS、。同年,“AVS視頻編碼標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵支撐技術(shù)”榮獲信息產(chǎn)業(yè)部重大技術(shù)發(fā)明獎、“中國標(biāo)準(zhǔn)創(chuàng)新貢獻(xiàn)獎”一等獎?! ?006年正式發(fā)布GB206002006《數(shù)字電視地面廣播傳輸系統(tǒng)幀結(jié)構(gòu)、信道編碼和調(diào)制》(簡稱DTMB標(biāo)準(zhǔn))和GB/《信息技術(shù)先進(jìn)音視頻編碼第2部分:視頻》(簡稱AVS標(biāo)準(zhǔn))。這一成果奠定了我國在數(shù)字電視領(lǐng)域具備進(jìn)行系列關(guān)鍵芯片設(shè)計開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化產(chǎn)品開發(fā)的基礎(chǔ)和能力?! ?002年國家“十五”863計劃設(shè)立超大規(guī)模集成電路設(shè)計重大專項,明確支持符合國家標(biāo)準(zhǔn)的高清晰度電視和數(shù)字音視頻集成電路的開發(fā)。TD產(chǎn)業(yè)的繁榮,也使得產(chǎn)業(yè)鏈上下游在研發(fā)、市場等方面投入均大幅增加,創(chuàng)造了良好的產(chǎn)業(yè)整體發(fā)展環(huán)境,幫助和促進(jìn)TD產(chǎn)業(yè)走向良性循環(huán),從而進(jìn)一步提升了TD產(chǎn)業(yè)的競爭力。現(xiàn)在已有數(shù)十款采用SC8800G設(shè)計的終端產(chǎn)品上市,形成了達(dá)到了數(shù)十億元的新增產(chǎn)值。SC8800G已于2011年第一季度正式推向市場,使用此芯片產(chǎn)品的手機(jī)已經(jīng)量產(chǎn)上市?! ∫恢币詠恚K端都是制約我國自主第三代移動通信TDSCDMA發(fā)展的瓶頸。SC8800G的研制成功,是我國乃至亞洲當(dāng)期第一次在半導(dǎo)體商用手機(jī)基帶芯片設(shè)計水平上超過歐美公司,達(dá)到全球領(lǐng)先水平,實現(xiàn)了展訊通信從行業(yè)跟隨者到引領(lǐng)者的跨越式發(fā)展?! C8800G作為世界首款采用40nm先進(jìn)工藝的低功耗商用TDHSPA/TDSCDMA多模手機(jī)通信芯片,實現(xiàn)了單芯片支持TDHSUPA/HSDPA/EDGE/GPRS/GSM多模通信,具有高集成度、低功耗、低成本的優(yōu)勢。在工作頻率提升,漏電流控制,成品率控制等方面組織了一系列技術(shù)攻關(guān)。在充分研究TDHSUPA標(biāo)準(zhǔn)前提下,設(shè)計了HSUPA傳輸流程的軟硬件實現(xiàn),并建立算法模型進(jìn)行仿真以保證其性能。并于2011年在人民大會堂發(fā)布了全球首款40nm低功耗商用TDHSPA/TDSCDMA多模手機(jī)通信芯片SC8800G。COMIPTM芯片的累計出貨量已經(jīng)超過了300萬片,帶來的直接經(jīng)濟(jì)效益達(dá)數(shù)億元,間接拉動了數(shù)十億元的SCDMA終端產(chǎn)業(yè)發(fā)展,取得了重大的經(jīng)濟(jì)效益。  COMIPTM研制之后,已經(jīng)成功應(yīng)用于包括SCDMA手機(jī)、VoIP、可視電話、數(shù)字家電在內(nèi)的多個領(lǐng)域。美國著名的新思科技公司(SynopsysInc)宣布COMIPTM入選該公司“GreatChip”全球宣傳計劃。  COMIPTM是我國第一顆具備現(xiàn)代通信終端SoC特征的超大規(guī)模集成電路芯片,它的成功商用對改變我國通信產(chǎn)品缺“芯”的被動局面和促進(jìn)通信終端整機(jī)的發(fā)展具有重大和深遠(yuǎn)的意義。2004年,大唐電信率先在國內(nèi)推出面向通信的綜合信息處理器芯片COMIPTM,并由科技部在當(dāng)年的北京微電子國際研討會上正式發(fā)布。近期展訊通信采用40nm工藝研制成功移動通信終端專用芯片,標(biāo)志著我國移動通信終端SoC邁進(jìn)國際先進(jìn)水平,總體技術(shù)水平明顯提升。 ?。ǘ┑谌苿油ㄐ判酒 〗陙恚谖覈萍脊ぷ髡邎猿植恍傅墓餐ο拢覈耐ㄐ偶呻娐芳夹g(shù)和產(chǎn)業(yè)取得了長足的進(jìn)步?! 〗刂聊壳?,國產(chǎn)嵌入式CPU產(chǎn)業(yè)化累計已經(jīng)實現(xiàn)7000萬顆以上的應(yīng)用。CK802的硬件輔助調(diào)試單元支持各種調(diào)試方式,包括軟件設(shè)置斷點方式、內(nèi)存斷點方式、單步和多步指令跟蹤等7種方式,可在線調(diào)試CPU、通用寄存器(GPR)、協(xié)處理器0(CP0)和內(nèi)存。CK802中內(nèi)存數(shù)據(jù)的存取劃分為兩個步驟,分別為地址的產(chǎn)生和內(nèi)存的訪問,最快支持在一個時鐘周期內(nèi)完成存儲器的訪問。CK802處理器采用2級流水線結(jié)構(gòu)。它以8位CPU的成本獲得32位嵌入式CPU的運行效率與性能。低成本硬件乘法與除法單元滿足簡單的算法運算,可配置的多媒體處理增強(qiáng)單元可以處理乘法、乘累加與乘累減DSP運算。設(shè)計低成本的分支預(yù)測機(jī)制,并通過編譯器與硬件共同作用提高分支預(yù)測的準(zhǔn)確率。CK803采取取指、解碼、執(zhí)行回寫3級流水線。CK810系列嵌入式CPU包括針對浮點加強(qiáng)的CK810F、針對DSP運算加強(qiáng)的CK810D及針對多核的CK810MP,CK810性能大體與國際主流的同檔次嵌入式CPU相當(dāng)。硬件上采用先進(jìn)的10級流水線技術(shù)與亂序猜測執(zhí)行框架,具有高主頻、高單位性能、高代碼密度、高功耗效率等優(yōu)點。CKCORE自主指令系統(tǒng)面向未來高性能需求而設(shè)計,采用32/16混合指令編碼技術(shù),其中:32位指令功能完善用于提升指令集的綜合性能;16位指令是32位指令的子集,功能相對簡單用于提升指令代碼密度和降低功耗。面向嵌入式系統(tǒng)產(chǎn)品設(shè)計的自主創(chuàng)新指令集CPU,將為我國自主創(chuàng)新指令集CPU參與國際競爭開創(chuàng)新的局面。杭州中天微系統(tǒng)公司與浙江大學(xué)
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