【正文】 　　　　　　　　　　石墨電阻加熱籽晶拉速　　　　　　　　　　08mm/min籽晶轉(zhuǎn)速　　　　　　　　　　048rpm坩堝升速　　　　　　　　　　04mm/min冷爐極限真空度　　　　　　　3pa主變壓器容量　　　　　　　　220KW外形尺寸(長(zhǎng)寬高)　　　　550035007340mm質(zhì)量　　　　　　　　　　　　7600Kg四、總圖布置方案（一）總平面布置總圖布置原則和技術(shù)要求：（1）新廠區(qū)內(nèi)交通運(yùn)輸便捷。該設(shè)備可以大規(guī)模生產(chǎn)集成電路、太陽(yáng)能等行業(yè)所需的高質(zhì)量的單晶硅。表7　 主要原輔材料供應(yīng)一覽表序號(hào)原輔材料名稱包裝規(guī)格單位消耗量1多晶硅料/t/a502氫氟酸（55%）5kg/桶，塑料桶t/a243硝酸（65%）15kg/桶，塑料桶t/a204片 堿50kg/袋，蛇皮袋t/a85冰醋酸（99%）15kg/桶，塑料桶t/a106雙氧水（30%）15kg/桶，塑料桶t/a7氨 水（30%）15kg/桶，塑料桶t/a8無(wú)水乙醇1kg/瓶，玻璃瓶t/a10液氬/m3/a300主要設(shè)備選型(1)單晶爐建議采用上虞晶盛的TDR95AZJS全自動(dòng)單晶爐。為了節(jié)省成本，可部份摻用廢硅料（頭尾料和鍋底料等不可直接利用的原料），經(jīng)過(guò)酸洗腐蝕工藝后使用。利用各類(lèi)檢測(cè)設(shè)備對(duì)成規(guī)則柱狀硅棒進(jìn)行電阻率、氧、碳等成分進(jìn)行測(cè)試，經(jīng)測(cè)試合格后（測(cè)試不合格的硅棒則送單晶爐或結(jié)晶爐作回爐重新拉晶處理）送入切斷機(jī)內(nèi)進(jìn)行分段處理（一般直徑為125mm，長(zhǎng)度以30～40cm不等）便得到成品硅棒，分段的目的主要是使硅棒能夠順利進(jìn)入切片機(jī)內(nèi)進(jìn)行切片處理；分段過(guò)程采用自來(lái)水對(duì)設(shè)備進(jìn)行冷卻，經(jīng)冷卻后排入廠區(qū)內(nèi)污水處理設(shè)施。即將成品硅料根據(jù)要求與相應(yīng)的母合金（主要是P、Be等元素含量多一點(diǎn)的硅片，加入量約為硅料加入量的百萬(wàn)分之一）進(jìn)行混合裝入單晶爐內(nèi)拉晶（控制溫度約為1420℃，時(shí)間約為30～40h/批，每批生產(chǎn)量約為20kg/爐；拉晶過(guò)程中單晶爐內(nèi)采用液氬作為保護(hù)氣體；該過(guò)程主要是利用高溫使高純硅在單晶爐內(nèi)熔融并使原子進(jìn)行有序排列，待有序排列完畢后由單晶爐上方拉晶成柱狀硅棒）；硅棒生長(zhǎng)完畢后對(duì)單晶爐進(jìn)行冷卻，之后將硅棒從單晶爐內(nèi)卸下，以便后道加工處理。單晶硅生產(chǎn)過(guò)程中使用的硅料，均為成品（無(wú)需再進(jìn)行腐蝕、酸洗等處理；其中部分硅料由企業(yè)自身腐蝕、酸洗得到，其余均由外單位進(jìn)行腐蝕加工）即可投爐加工。將硅原材料放在石英堝內(nèi)用石墨制成的加熱器通入低電壓大電流而產(chǎn)生的高溫將熔點(diǎn)在1420℃的硅材料熔化后，由計(jì)算機(jī)等設(shè)備控制熔融狀態(tài)的硅液面溫充在1420℃臨界點(diǎn)上，由一個(gè)單晶體的籽晶與液面接觸、熔融后而緩慢的提升，使硅液體在籽晶的引領(lǐng)下按預(yù)先設(shè)定的晶格、晶向和外形緩慢結(jié)晶出單晶體的硅單晶，完成單晶制備。三、項(xiàng)目主要技術(shù)工序和工藝路線工藝技術(shù)來(lái)源單晶硅棒依托**研究所的最新研究成果，引進(jìn)整套成熟技術(shù)。安裝注意事項(xiàng)及檢測(cè)手段：A、嚴(yán)格按照操作規(guī)程施工，正確穿戴好勞保用品。（3）其他：根據(jù)建設(shè)內(nèi)容和投資情況按規(guī)范要求施工二、設(shè)備安裝工程技術(shù)方案（一）方案設(shè)計(jì)依據(jù)《機(jī)械設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB5023198《電氣工程安裝及電氣設(shè)備直接檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)》GB5015091化工部《工業(yè)安裝工程檢驗(yàn)評(píng)定統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)》（1996）建設(shè)部《建筑安裝工程安全技術(shù)規(guī)范》（1993）《通用電設(shè)備配電設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50055—93）（二）安裝工程設(shè)計(jì)方案的原則和要求按《規(guī)范》要求，組織設(shè)備安裝施工，對(duì)安裝工程應(yīng)經(jīng)招投標(biāo)摘優(yōu)錄用施工隊(duì)伍，文明施工，按時(shí)保質(zhì)、保量安裝好機(jī)械設(shè)備。公輔工程（1）廠區(qū)道路：按二級(jí)混凝土路面結(jié)構(gòu)規(guī)范建設(shè)。鋼混全框架結(jié)構(gòu)，鋼構(gòu)屋面。本項(xiàng)目屬技術(shù)改造項(xiàng)目，應(yīng)合理利用現(xiàn)場(chǎng)地、設(shè)施，并力求新增的設(shè)施與原有設(shè)施相協(xié)調(diào)。經(jīng)濟(jì)合理。符合工程標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范要求。適應(yīng)已選定的場(chǎng)址。第六章 項(xiàng)目工程技術(shù)方案　一、土建工程方案選擇（一）工程方案選擇的基本要求滿足生產(chǎn)使用功能要求。規(guī)格尺寸：本項(xiàng)目生產(chǎn)常用的太陽(yáng)能級(jí)單晶硅棒，按其直徑分為6英寸、8英寸兩種。（二）主要技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和參數(shù)由于知識(shí)產(chǎn)權(quán)法規(guī)的約束，目前機(jī)密性的技術(shù)資料在業(yè)主手中，但產(chǎn)品必須滿足下列技術(shù)要求：表單晶硅棒的主要技術(shù)參數(shù)型號(hào)P型或A型晶向111100電阻率電阻率均勻性25%位錯(cuò)密度無(wú)位錯(cuò)OISF密度500cm2氧含量根據(jù)客戶要求碳含量1ppma主要考面取向密度根據(jù)客戶要求其中電阻率、OISF密度、以及碳含量是衡量單晶硅棒等級(jí)的關(guān)鍵參數(shù)。 三、工程產(chǎn)品方案（一）產(chǎn)品方案 （1）產(chǎn)品品種各種規(guī)格化型號(hào)的單晶硅棒。項(xiàng)目的設(shè)備購(gòu)置項(xiàng)目主要購(gòu)置設(shè)備為單晶硅棒生產(chǎn)用JDR800型晶體生長(zhǎng)爐8套及相應(yīng)的監(jiān)測(cè)和配套設(shè)施。（7）在滿足機(jī)械功能和生產(chǎn)過(guò)程的條件下，力求經(jīng)濟(jì)合理，不僅要引進(jìn)先進(jìn)設(shè)備，盡可能立足于國(guó)內(nèi)，搞好配套。（5）強(qiáng)調(diào)設(shè)備的可靠性、成熟性，保證生產(chǎn)和質(zhì)量穩(wěn)定。（3）提高連續(xù)化、大型化、自動(dòng)化程度，降低勞動(dòng)強(qiáng)度，提高勞動(dòng)生產(chǎn)率。（二）設(shè)備購(gòu)置主要設(shè)備選型的原則和技術(shù)要求（1）主要設(shè)備選型的原則應(yīng)與項(xiàng)目建設(shè)規(guī)模、產(chǎn)品方案和技術(shù)方案相適應(yīng)，滿足項(xiàng)目的要求，可獲得最大出力。（8）環(huán)保：**市環(huán)境科學(xué)研究所出具的環(huán)評(píng)報(bào)告。圍墻：全長(zhǎng)400米；15臺(tái)紅外監(jiān)視探頭。（5）亮化：草皮燈、路燈、景觀燈等若干。（3）道路：12米寬雙向道路，全長(zhǎng)200米，景觀、廣場(chǎng)2000平方米左右。公輔工程：（1）電：（工業(yè)用電）；變壓器1600KV/A一臺(tái)、高壓柜一臺(tái)、低壓柜4臺(tái)。本項(xiàng)目達(dá)到設(shè)計(jì)能力的100%時(shí)，年產(chǎn)50噸單晶硅棒，產(chǎn)值1億元。項(xiàng)目計(jì)劃建設(shè)廠房?jī)纱?，管理和生活用房?jī)纱保瑐}(cāng)庫(kù)一幢。項(xiàng)目規(guī)劃一年內(nèi)達(dá)到完全生產(chǎn)設(shè)計(jì)能力。（二）建設(shè)方案的確定項(xiàng)目總投資2800萬(wàn)元人民幣。應(yīng)滿足生產(chǎn)儲(chǔ)存條件。不僅是可行性，還要考慮數(shù)量、品質(zhì)、來(lái)源的穩(wěn)定性。應(yīng)考慮環(huán)境保護(hù)的要求和可能獲得的環(huán)境容量，以及環(huán)保治理設(shè)施投資等措施。在確定項(xiàng)目策略和產(chǎn)品方案時(shí)應(yīng)考慮資源的綜合利用，提出主要產(chǎn)品和副產(chǎn)品的組合方案。應(yīng)有專業(yè)化協(xié)作，以及上下游產(chǎn)業(yè)鏈、產(chǎn)品鏈的銜接。應(yīng)以國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)需求來(lái)確定項(xiàng)目策略和產(chǎn)品的品種、數(shù)量、質(zhì)量，并能較好地適應(yīng)市場(chǎng)變化。應(yīng)符合國(guó)家鼓勵(lì)發(fā)展的產(chǎn)業(yè)和產(chǎn)品方向、國(guó)家技術(shù)政策和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，使產(chǎn)品具有較高的技術(shù)含量和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。項(xiàng)目的廠址安排在工業(yè)園區(qū)茶場(chǎng)片區(qū)（項(xiàng)目場(chǎng)址位置詳見(jiàn)附圖）。公用工程聯(lián)接方便（如各種管網(wǎng)系統(tǒng)）等。注意環(huán)境保護(hù)，以人為本，減少對(duì)生態(tài)和環(huán)境的影響。節(jié)約項(xiàng)目用地，盡量不占或少占農(nóng)田。二、項(xiàng)目選址方案（一）項(xiàng)目選址的原則符合國(guó)家、地區(qū)和城鄉(xiāng)規(guī)劃的要求。能滿足項(xiàng)目業(yè)務(wù)通訊需要。②供電：項(xiàng)目由**縣工業(yè)園區(qū)茶場(chǎng)片區(qū)10KV高壓供電，項(xiàng)目裝機(jī)總功率1000KW，項(xiàng)目安裝一臺(tái)1600KVA節(jié)能變壓器。**縣全面實(shí)施“生態(tài)立縣、特色興縣”兩大戰(zhàn)略，發(fā)展特色經(jīng)濟(jì)，建設(shè)特色城鎮(zhèn)，弘揚(yáng)特色文化，開(kāi)展特色工作，營(yíng)造特色環(huán)境，力爭(zhēng)到2010年基本建成生態(tài)縣，基本實(shí)現(xiàn)全面小康社會(huì)的目標(biāo)（四）基礎(chǔ)設(shè)施條件①給排水：項(xiàng)目區(qū)市網(wǎng)管道供水，通過(guò)廠內(nèi)環(huán)狀供水線路，供給用水點(diǎn)使用并滿足消防用水。%，其中兩硅產(chǎn)業(yè)總產(chǎn)值增長(zhǎng)47%；工業(yè)銷(xiāo)售產(chǎn)值增長(zhǎng)25%，%，%。硅電子產(chǎn)業(yè)基地、絕緣材料科技特色產(chǎn)業(yè)基地，以元通硅業(yè)、合成材料、國(guó)家級(jí)火炬計(jì)劃重點(diǎn)高新技術(shù)企業(yè)萬(wàn)向硅峰等骨干企業(yè)為龍頭，與高等院校、科研院所合作新建了一批技術(shù)創(chuàng)新中心、研發(fā)中心，實(shí)施了一批廢料回收利用和清潔生產(chǎn)試點(diǎn)工程，工業(yè)經(jīng)濟(jì)保持較快增長(zhǎng)，經(jīng)濟(jì)效益顯著提高，有機(jī)硅、單晶硅兩大產(chǎn)業(yè)被列入全省擬培育的全國(guó)制造中心和**市“四中心十基地”建設(shè)。**縣全面實(shí)施“生態(tài)立縣、特色興縣”兩大戰(zhàn)略，發(fā)展特色經(jīng)濟(jì)，建設(shè)特色城鎮(zhèn)，弘揚(yáng)特色文化，開(kāi)展特色工作，營(yíng)造特色環(huán)境，力爭(zhēng)到2010年基本建成生態(tài)縣，基本實(shí)現(xiàn)全面小康社會(huì)的目標(biāo)（四）基礎(chǔ)設(shè)施條件①給排水：項(xiàng)目區(qū)市網(wǎng)管道供水，通過(guò)廠內(nèi)環(huán)狀供水線路，供給用水點(diǎn)使用并滿足消防用水。%，其中兩硅產(chǎn)業(yè)總產(chǎn)值增長(zhǎng)47%；工業(yè)銷(xiāo)售產(chǎn)值增長(zhǎng)25%，%，%。編制完成有機(jī)硅、單晶硅、新型密胺塑料、木糖醇等九大工業(yè)特色產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃，成立12個(gè)重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展工作領(lǐng)導(dǎo)小組，依托經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)、有機(jī)硅省級(jí)高新技術(shù)特色產(chǎn)業(yè)基地、硅電子產(chǎn)業(yè)基地、絕緣材料科技特色產(chǎn)業(yè)基地，以元通硅業(yè)、合成材料、國(guó)家級(jí)火炬計(jì)劃重點(diǎn)高新技術(shù)企業(yè)萬(wàn)向硅峰等骨干企業(yè)為龍頭，與高等院校、科研院所合作新建了一批技術(shù)創(chuàng)新中心、研發(fā)中心，實(shí)施了一批廢料回收利用和清潔生產(chǎn)試點(diǎn)工程，工業(yè)經(jīng)濟(jì)保持較快增長(zhǎng)，經(jīng)濟(jì)效益顯著提高，有機(jī)硅、單晶硅兩大產(chǎn)業(yè)被列入全省擬培育的全國(guó)制造中心和**市“四中心十基地”建設(shè)。（三）社會(huì)經(jīng)濟(jì)條件2000年至2010年，**縣GDP翻了一番，農(nóng)民人均純收入增長(zhǎng)了50%；經(jīng)濟(jì)發(fā)展的質(zhì)量進(jìn)一步提高。地下水屬孔隙潛水類(lèi)型。水文本項(xiàng)目地區(qū)水資源豐富，地下水質(zhì)經(jīng)化驗(yàn)檢測(cè)，對(duì)混凝土無(wú)侵蝕性。馬金溪從北而南縱貫**縣全境，馬金溪河道比降為5。℃之間，℃，℃，℃，最高氣溫41. 3℃。年平均日照時(shí)數(shù)1795小時(shí)，為全省各縣的次位。氣候、氣象**屬亞熱帶季風(fēng)氣候區(qū)，又處北亞熱帶南緣，四季分明，氣候溫和，雨量豐富。 2000年初，**縣確立并實(shí)施了“生態(tài)立縣”發(fā)展戰(zhàn)略，構(gòu)筑了生態(tài)工業(yè)、生態(tài)農(nóng)業(yè)、生態(tài)旅游業(yè)、生態(tài)城市化和生態(tài)環(huán)境保護(hù)與建設(shè)等五大框架，經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展逐年加快。山林總面積280多萬(wàn)畝，%，位居全國(guó)前列，是天然的“氧吧”，全縣地表水水質(zhì)達(dá)一類(lèi)水標(biāo)準(zhǔn)，被國(guó)家環(huán)?？偩謩澏椤叭A東地區(qū)重要的生態(tài)屏障”，并于2002年3月命名為全國(guó)生態(tài)示范區(qū)。**屬亞熱帶季風(fēng)氣候，四季分明、溫和宜人。縣域面積2236平方公里，轄18個(gè)鄉(xiāng)鎮(zhèn)（建制鎮(zhèn)9個(gè)）、449個(gè)行政村，總?cè)丝?4萬(wàn)。第四章 建設(shè)條件分析和場(chǎng)址選擇一、建設(shè)項(xiàng)目條件分析（一）區(qū)位條件**縣城位于**省母親河——錢(qián)塘江的源頭，地處浙皖贛三省七縣交界處，是連接浙西、皖南和贛東北的要沖、**的“西大門(mén)”、重要的生態(tài)功能保護(hù)區(qū)。區(qū)域優(yōu)勢(shì)。設(shè)備優(yōu)勢(shì)。技術(shù)優(yōu)勢(shì)。三、企業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)態(tài)勢(shì)分析政策優(yōu)勢(shì)。 可見(jiàn)，當(dāng)前國(guó)內(nèi)現(xiàn)有太陽(yáng)能生產(chǎn)不能滿足快速發(fā)展的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。由于太陽(yáng)能發(fā)電在技術(shù)上還相對(duì)落后，以及人們對(duì)太陽(yáng)能產(chǎn)品的認(rèn)識(shí)不夠，中國(guó)的市場(chǎng)還遠(yuǎn)未打開(kāi)。最近我國(guó)政府還公布了在西北部地區(qū)資助居民安裝太陽(yáng)能發(fā)電系統(tǒng)的計(jì)劃，每一個(gè)安裝500W以上的用戶可享受政府5000元左右的補(bǔ)貼。1998年以來(lái)由政府資助約6000萬(wàn)元在西藏自治區(qū)7個(gè)縣城建成150KW的太陽(yáng)能總發(fā)電量。表31為主要西方國(guó)家在太陽(yáng)電池應(yīng)用方面的發(fā)展計(jì)劃，表32為美國(guó)太陽(yáng)表4太陽(yáng)能電池容量以及累計(jì)總安裝數(shù)量一覽表。如日本的“新陽(yáng)光計(jì)劃”、德國(guó)政府的“再生能源的法案”、美國(guó)政府的“一百萬(wàn)戶屋頂計(jì)劃”、澳洲政府的“一萬(wàn)個(gè)太陽(yáng)能屋頂計(jì)劃”等。如果電池的市場(chǎng)龐大，制造成本自然會(huì)下降，從而進(jìn)一步促進(jìn)市場(chǎng)需求，形成良性循環(huán)。保護(hù)自然環(huán)境，尤其是抑制地球的溫度上升己被許多國(guó)家政府列為國(guó)策。自90年代開(kāi)始，太陽(yáng)能在并網(wǎng)發(fā)電方面的應(yīng)用增長(zhǎng)迅速，主要是安裝在居民住房屋頂、商業(yè)樓宇。到2010年每年的銷(xiāo)售金額將超過(guò)每年約110億美元。（3）、國(guó)際市場(chǎng)需求快速增長(zhǎng)近年來(lái)，太陽(yáng)電池每年銷(xiāo)售量在全球范圍以每年25%的速度遞增。生產(chǎn)多晶硅的只有四川峨眉、河南洛陽(yáng)兩家。而目前我國(guó)實(shí)際硅單晶的生產(chǎn)能力只在2000噸左右，除河北寧晉等反銷(xiāo)數(shù)量以及部分用于IC級(jí)的硅單晶，實(shí)際用于國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的太陽(yáng)能級(jí)硅單晶只有600~700噸左右，下表為我國(guó)太陽(yáng)能電池及單晶硅的需求表，由此可看出拋去多晶硅的影響我國(guó)在太陽(yáng)能單晶硅的缺口是十分巨大的。表2國(guó)家2010年2020年2030年日本53072歐洲31530美國(guó)31525其他國(guó)家41023總計(jì)1570150（2）、我國(guó)目前太陽(yáng)能電池發(fā)展現(xiàn)狀我國(guó)在2005年新建和擴(kuò)建的太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)線在10條以上，每條線的產(chǎn)能都在50MW以上，無(wú)錫尚德、南京中電更是達(dá)到100MW以上的產(chǎn)能。統(tǒng)計(jì)表明到2010年，世界光伏系統(tǒng)裝機(jī)容量預(yù)計(jì)將達(dá)到14~15GW。這基本可以說(shuō)明，能源供應(yīng)緊張是驅(qū)動(dòng)太陽(yáng)能發(fā)展的長(zhǎng)期內(nèi)在動(dòng)因之一。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，國(guó)際石油價(jià)格的變化可以解釋63%的光伏系統(tǒng)裝機(jī)容量的變化2。作為礦物能源的替代品，太陽(yáng)能需求的長(zhǎng)期增長(zhǎng)與礦物能源的價(jià)格走勢(shì)應(yīng)該密切相關(guān)。2004年世界光伏系統(tǒng)的總裝機(jī)容量超過(guò)4GW。尤其是最近幾年來(lái)這點(diǎn)表現(xiàn)尤為突出。由于燃燒礦物能源，排放出大量二氧化碳等氣體造成地球溫室效應(yīng)，對(duì)人類(lèi)的生存和發(fā)展構(gòu)成威脅，這一點(diǎn)已經(jīng)引起人們?cè)絹?lái)越多的關(guān)注，《京都議定書(shū)》3的簽訂正是這一問(wèn)題的產(chǎn)物。（三）產(chǎn)品運(yùn)營(yíng)條件及經(jīng)濟(jì)優(yōu)點(diǎn)（1）高電耗，其生產(chǎn)過(guò)程中電價(jià)占整個(gè)成本的30%左右； 　?。?）高投入，建一家年產(chǎn)1000噸的單晶硅工廠，大約需要4億美元；（3）高技術(shù)，國(guó)內(nèi)外技術(shù)差別較大，目前國(guó)內(nèi)生產(chǎn)技術(shù)還比較落后；（4）、高回報(bào)，全球?qū)Ξa(chǎn)品的需求量越來(lái)越大，市場(chǎng)前景較好。中國(guó)硅材料基本與日本同時(shí)進(jìn)步，但總體而言，生產(chǎn)技術(shù)水平仍然相對(duì)較低?，F(xiàn)在，硅片直徑正從5英寸迅速升級(jí)，12英寸硅片技術(shù)正日益成熟。硅片的直徑越大，技術(shù)要求越高，越有市場(chǎng)前景，價(jià)值也就越高。有的也可使用半導(dǎo)體器件加工的頭尾料和廢次單晶硅材料，經(jīng)過(guò)復(fù)拉制成太陽(yáng)電池專用的單晶硅棒。這種太陽(yáng)電池以高純的單晶硅棒為原料，％。單晶硅棒是生產(chǎn)單晶硅片的原材料，隨著國(guó)內(nèi)和國(guó)際市場(chǎng)對(duì)單