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材料測試技術(shù)ppt課件-文庫吧資料

2025-05-18 08:49本頁面
  

【正文】 熱發(fā)射的電子槍其主要缺點是槍體的發(fā)射表面比較大并且發(fā)射電流難以控制。 電子光學(xué)系統(tǒng) 照明系統(tǒng) 1. 電子槍 電子槍是電鏡的電子源。 3176。 ? 作用: 提供一束亮度高、照明孔徑角小、平行度高、束斑小、束流穩(wěn)定的照明源。 可選) 數(shù)字相機 1,024x1,024像素 (2,028x2,048像素可選 ) 真空系統(tǒng) TMPx RPx1 電源 4kVA 日立 HT7700型透射電子顯微鏡 技術(shù)參數(shù): : : : 80, 100, 120, 160, 200kV : 25 : 200kV場發(fā)射透射電子顯微鏡 透射電子顯微鏡 基本結(jié)構(gòu) TEM是一種大型電子光學(xué)儀器。 ( 177。 它具有如下優(yōu)點: 分辨本領(lǐng)高,并且具備能夠作電子衍射 分辨率 (晶格像 100kV) 放大倍率 x 200 ~ x 200,000 高反差模式 x4,000 ~ x 600,000 高倍模式 x 50 ~ x 1,000 低倍模式 加速電壓 40~120( kV步) 最大傾斜角 177。 解決辦法:穩(wěn)定加速電壓和透鏡電流可減小色差 第二節(jié) 透射電子顯微鏡 電子顯微鏡包括:透射、掃描、發(fā)射和反射電子顯微鏡。加速電壓的波動以及陰極逸出電子能量的起伏,使得成象電子的波長不完全相同,使透鏡的焦距發(fā)生變化。 電子透鏡的主要象差 色差 在光學(xué)中,由于光的顏色(具有不同波長)的差異產(chǎn)生的象差稱色差。 解決辦法:可以通過引入一強度和方位都可以調(diào)節(jié)的矯正磁場來進(jìn)行補償。 軸上象散是影響電鏡分辨本領(lǐng)的主要象差之一 。 電子透鏡的主要象差 軸上象散 實際的透鏡磁場或電場不是理想的旋轉(zhuǎn)對稱場 ,這使得透鏡在不同方向上的焦距不相同 。為半徑的圓斑 。P39。39。由于透鏡光闌有一定大小 ,所以同是從 P點發(fā)現(xiàn)的電子 ,當(dāng)張角不同時 ,落在高斯平面的不同點上 。 ) 電子透鏡的主要象差 球面象差 球面象差 物點 P, 旁軸電子形成的高斯象是 P39。 實際上的電磁透鏡要求磁場集中,在結(jié)構(gòu)設(shè)計上必須考慮。 透射電子顯微鏡中用磁場來使電子波聚焦成像的裝置是電磁透鏡。電子束的聚焦裝置是電子透鏡。 電磁透鏡 可見光用玻璃透鏡聚焦。 ? 如用更厚樣品,更接近樣品實際情況。比結(jié)構(gòu)分析中常用的X射線的波長也小 1~ 2個數(shù)量級。初速度的電子 , 受到電位差為 V的電場加速獲得能量 , 根據(jù)能量守恒原理 , 假設(shè) V不太高 , 電子獲得的動能為: 有 由 電子的波長為: 式中 e= 1019C為電子電荷; m=為電子質(zhì)量; V=
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