【正文】
Lab., Tamkang University 平面式 線性步進(jìn)馬達(dá) LMSP,TOKYO ELECTRON Travel: 640 x 640 mm Accuracy: +/ mm Velocity: 1 m/s Yaw: 2 arc sec 10 mm Settling: 100 ms 64 Motor Technology Lab., Tamkang University 直線式之變化 L T y p e U T y p e O T y p e65 Motor Technology Lab., Tamkang University 各式之組合 直線式 旋轉(zhuǎn)式 平面式 66 Motor Technology Lab., Tamkang University 結(jié)合直線與旋轉(zhuǎn)式步進(jìn)馬達(dá)之 XY Table 67 Motor Technology Lab., Tamkang University 雙動(dòng)子線性步進(jìn)馬達(dá) 直線式 平面式 68 Motor Technology Lab., Tamkang University 平面式雙動(dòng)子馬達(dá) 典型應(yīng)用例 : 晶圓檢測機(jī), PCB / LCD檢測機(jī), PCB 飛針檢測機(jī),雷射切割機(jī) 69 Motor Technology Lab., Tamkang University 線性永磁交流馬達(dá) (線性伺服馬達(dá) ) (Linear PMSM Motor) 70 Motor Technology Lab., Tamkang University 鐵心式線性伺服馬達(dá)原理 N S S NS N N S? 通常繞線部份為動(dòng)子 , 磁鐵部份為定子 ? 需要 光學(xué)尺 回授做伺服控制 ? 有顯著的 Cogging Force 移動(dòng) 導(dǎo)磁鐵心 71 Motor Technology Lab., Tamkang University 鐵心式線性伺服馬達(dá)形式 * From Linear Synchronous Motors, by G. Gieras and Z. Piech 單側(cè)式 管狀馬達(dá) – 外線圈 雙側(cè)式 管狀馬達(dá) – 內(nèi)線圈 72 Motor Technology Lab., Tamkang University 鐵心式伺服馬達(dá) 磁鐵 動(dòng)子 光學(xué)尺 73 Motor Te