集成光學(xué)第一章ppt課件-文庫吧資料
2025-05-10 18:02本頁面
【正文】 優(yōu)點 光元器件與電子元器件的特性比較 特征項 光元器件 電子元器件 (a)基本作用 光波導(dǎo)中的光傳輸及光與電子 /晶格的相互作用 襯底表面附近的電子傳輸與控制 (b)基本元器件 光波導(dǎo)，半導(dǎo)體激光器等 晶體管、電阻、電容 (c)元器件尺寸（厚度方向） 波長（微米）量級，個別達(dá)到納米量級 數(shù)十納米至數(shù)微米 (d)元器件尺寸（長度方向） 微米至數(shù)毫米，個別達(dá)到納米級 數(shù)十納米至數(shù)微米 (e)與其他部件的連接 稍難 ——需要精密的位置精度（ μm），光波導(dǎo) 容易 ——電氣布線，導(dǎo)體 (f)元器件可靠性 有問題，通常需要檢測全部元器件 幾乎沒有問題，通常進行抽驗 (g)元器件制造工藝 多樣，研究開發(fā)中 基本平面工藝，已成熟 (a) 光波導(dǎo)中的光傳輸及光與晶格的相互作用襯底表面附近的電子傳基本元器件 光波導(dǎo)，半導(dǎo)體激光器等 晶體管、電阻、電容元器件尺寸（厚度 波長（微米）量級，個別達(dá)到納米量級數(shù)十納米至數(shù)微米元器件尺寸（長度方向）微米至數(shù)毫米，個別達(dá)到納米級數(shù)十納米至數(shù)微米與其他部件的連接 需要精密的位置），光波導(dǎo)電氣布線，導(dǎo)體元器件可靠性 有問題，通常需要檢測全部元器件幾乎沒有問題，通常進行抽驗光波導(dǎo)中的光傳輸及光與晶格的相互作用襯底表面附近的電子傳基本元器件 光波導(dǎo)，半導(dǎo)體激光器等 晶體管、電阻、電容元器件尺寸（厚度 波長（微米）量級，個別達(dá)到納米量級數(shù)十納米至數(shù)微米元器件尺寸（長度 微米至數(shù)毫米，個別達(dá)到 數(shù)十納米至數(shù)微米與其他部件的連接 需要精密的位置），光波導(dǎo)電氣布線，導(dǎo)體光波導(dǎo)中的光傳輸及光與晶格的相互作用襯底表面附近的電子傳基本元器件 光波導(dǎo)，半導(dǎo)體激光器等 晶體管、電阻、電容元器件尺寸（厚度 波長（微米）量級，個別達(dá)到納米量級數(shù)十納米至數(shù)微米元器件尺寸（長度 微米至數(shù)毫米，個別達(dá)到 數(shù)十納米至數(shù)微米光波導(dǎo)中的光傳輸及光與晶格的相互作用襯底表面附近的電子傳基本元器件 光波導(dǎo)，半導(dǎo)體激光器等 晶體管、電阻、電容元器件尺寸（厚度 波長（微米）量級，個別達(dá)到納米量級數(shù)十納米至數(shù)微米光波導(dǎo)中的光傳輸及光與晶格的相互作用襯底表面附近的電子傳基本元器件 光波導(dǎo)，半導(dǎo)體激光器等 晶體管、電阻、電容光波導(dǎo)中的光傳輸及光與晶格的相互作用襯底表面附近的電子傳167。 ? (5)體積小，重量輕。 ? (4)功率密度高 。 ? (2)集成化帶來的 穩(wěn)固定位 。 40年發(fā)展 167。 4. 從四個方面理解集成光學(xué)的概念： 理論基礎(chǔ) ?光學(xué) ?光電子學(xué) 工藝基礎(chǔ) ?薄膜技術(shù) ?微電子工藝 主要目的 ?實現(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)的薄膜化、微型化和集成化 主要應(yīng)用 ?光纖通信 ?光子計算機
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