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正文內(nèi)容

晶體硅太陽能電池生產(chǎn)線清洗制絨工序-文庫吧資料

2025-05-06 03:20本頁面
  

【正文】 3. 硫酸能提高溶液粘度,也不參加腐蝕反應(yīng),可以穩(wěn)定反應(yīng)速度,增加腐蝕均勻性。 ? 產(chǎn)品特點(diǎn): ? 有效減少化學(xué)藥品使用量 ? 高擴(kuò)展性模塊化制程線 ? 擁有完善的過程監(jiān)控系統(tǒng)和可視化操作界面 ? 優(yōu)化流程,降低人員勞動強(qiáng)度 ? 通過高可靠進(jìn)程降低碎片率 ? 自動補(bǔ)充耗料實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定過程控制 ? 產(chǎn)能: ? 125mm*125mm硅片: 2180片 /小時 ? 156mm*156mm硅片: 1800片 /小時 confidential confidential ?槽體布局及基本工藝 : 1 2 3 4 5 6 7 8 9 Input Wet Etching DI Water Rinse Alkaline Cleaning DI Water Rinse Acid Cleaning Cascade Rinse Dryer Output Blow Off Blow Off Blow Off Blow Off Blow Off Blow Off 作用 腐蝕硅的表面,使其形成多孔結(jié)構(gòu) 去除多孔硅、中和殘留酸 去除金屬雜質(zhì)和二氧化硅(二氧化硅具有親水性,去除二氧化硅使片子更容易脫水吹干) 1400mm 900mm 1000mm 300L 50L 200L 50L 200L 50L*2 HF+HNO3 NaOH HF+HCl 3℃ RT 25℃ RT RT RT 清洗制絨的工藝設(shè)備及操作流程工藝 confidential confidential ?多晶制絨的影響因素: ,對擴(kuò)散及溶解反應(yīng)的影響比較小。 清洗制絨的工藝設(shè)備及操作流程工藝 confidential confidential 上料位 下
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