【正文】 he user surface uses input elements (numerical and text input frames, tables, …) according to the WINDOWS 174。 Visual system with VAC_NT, Version 帶 VAC_NT的可視化系統(tǒng) , Graphic visualization of all data, set points, process states and user inputs 所有數(shù)據(jù)， 設(shè)定點(diǎn)，過(guò)程狀態(tài)和用戶輸入的圖像可視化 Menucontrolled process operating with keyboard and touch 板的菜單控制過(guò)程操作 Manual operation for selected functions. 已 選 功能的人工操作 Automatic operation for processes using parameters 使用參數(shù)過(guò)程的自動(dòng)操作 Databaseoriented control and management of procedures 數(shù)據(jù)庫(kù)導(dǎo)向控制和管理程序 Eventcontrolled message logging 事件控制信息的錄入 Protocol recording during the process run 工藝運(yùn)行過(guò)程的協(xié)議記錄 Diagnosis function (I/O list) 診斷功能 (I/O 清單 ) Installation instruction for the main ponents 主要元件的安裝指示 For the installation of the SIMATIC peripheral ponents see the section in the System manual “Local peripheral equipment ET200M” (Order No.: 6ES7 1531AA018AA0). SIMATIC外圍元件的安裝參見(jiàn)系統(tǒng)手冊(cè) “Local peripheral 9 of 128 9 equipment ET200M” (Order No.: 6ES7 1531AA018AA0). For SINECL2 connection ply with the Technical Description and the Installation Guidelines in the Manual “CP5613”. SINECL2的連接 遵守技術(shù)描述和和安裝向?qū)?，在手?cè) “CP5613”。 The plasma sources are driven through a CAN bus plugin card (PCI 331) in the PC.等離 子源通過(guò)一個(gè) CAN總線插入式卡（ PCI 331）驅(qū)動(dòng)。這允許快速直接訪問(wèn)每個(gè)裝置的參數(shù)組。 CP 5613 (Profibus DP)集成在 PC機(jī)上， 根據(jù)工藝通道的記錄， 擴(kuò)充 I/O零件。 Identification of hard and software 硬件和軟件的識(shí)別 Hardware硬件 The control software for the SiNA L system is installed on an industrial PC (Intel Celeron GHz, 256 MB RAM, 80 GB Seagate HDD, “ FD, LG DVD CDROM, AOpen graphics card, work interface card on board, Windows 2020 English + Service Pack 4). This PC includes a 15 TFT color monitor and a 19 5 of 128 5 keyboard with touch pad. SiNA L系統(tǒng)的控制軟件安裝在 PC機(jī)上（ Intel 賽揚(yáng)， 256MB RAM， 80GB希捷硬盤(pán)， ， LG DVD CDROM，圖形卡，網(wǎng)卡， Windows 2020 English + Service Pack 4）， 15寸 TFT液晶顯示器， 19寸鍵盤(pán)，觸摸墊板。 ? Operation in the following modes: 運(yùn)行于以下 模式 ： Process mode for automatic operation with full recipe management, online parameter settings and protocol function 工藝模式：自動(dòng)操作， 帶有 全部配方管理， 在線參數(shù)設(shè)定和協(xié)議功能。 ? Full graphical trend functions for present values as a processrelated trend. 針對(duì) 工藝相關(guān)趨勢(shì)的 當(dāng)前 數(shù)值，系統(tǒng)具有 全部 的 圖像趨向功能 。有 5個(gè)工藝腔室，連續(xù)流動(dòng)控制 的工作方式。 1 of 128 1SINAL – 系統(tǒng) 氮化硅沉積系統(tǒng) （人工裝載） 制造商 : Roth amp。 Rau AG Gewerbering 3 D09337 HohensteinErnstthal, OT Wuestenbrand Germany 2 of 128 2 目錄 1 引言 ....................................................................................................... ... .4 應(yīng)用和使用 ……... ...........................................................................................4 硬件和 軟件的識(shí)別 ……………… ..................................................................4 硬件 …... ...............................................................................................................4 軟件 ….. ................................................................................................................7 主要元件的安裝介紹 …………………………. .............................................7 2 一般的操作說(shuō)明 …………... ......................................................................8 射頻按鈕 ..........................................................................................................8 按鈕 ..................................................................................................................8 清單 .................................................................................................................8 檢驗(yàn)盒 ..............................................................................................................9 輸入和輸出框架 ………. ....................................................................................9 Tool tip..............................................................................................................9 3 開(kāi) /關(guān)控制系統(tǒng) ..........................................................................................10 打開(kāi) ..............................................................................