太陽電池工藝培訓資料-文庫吧資料
2025-01-23 00:13本頁面
【正文】 性生成物而被去除。 ： 在硅片表面噴涂或印刷磷酸（磷漿），然后利用鏈式 擴散爐進行擴散，特點產(chǎn)能大。 4POCL3 + 5O2 = 2P2O5 + 6Cl2↑ 2P2O5 + 5Si = 4P + 5SiO2 擴散后硅片截面示意圖 POCl3液態(tài)源擴散原理圖 制 PN結(jié)（擴散） 擴散的原理 擴散的變化方向 ： 在柵線覆蓋區(qū)域進行重摻（方阻 20左右），未覆 蓋區(qū)域進行輕摻（方阻 80左右）。 原理 ： POCl3液態(tài)源： 通過氣體攜帶 POCL3分子進入擴散爐管，使之反應(yīng)生 成磷沉淀在表層。白斑 改善方案： 增加異丙醇的量可以去除“雨點”現(xiàn)象； 白斑 絨面發(fā)白 改善方案： 增加溶液濃度、提高溫度、延長腐蝕時間等可以改善“白斑”現(xiàn)象，但會增加硅片的腐蝕量；仍需不斷總結(jié)經(jīng)驗； 硅片表面化學腐蝕處理（一次清洗） 常見清洗不良品現(xiàn)象 手指印 禁止不帶一次性手套或者乳膠手套而直接用手接觸硅片表面； “水紋” 改善方案： 從溶液中取片時向硅片表面不斷的噴水，保持硅片表面濕潤可以改善此種現(xiàn)象；另外，排掉部分溶液，補充新溶液或者重新配制溶液也可以改善此種現(xiàn)象； 硅片表面化學腐蝕處理（一次清洗） 常見清洗不良品現(xiàn)象 表面油污、表面劃痕、制絨后規(guī)則性出現(xiàn)“區(qū)域線”等異?，F(xiàn)象歸結(jié)為硅片問題，我們也要在工作中不斷總結(jié)經(jīng)驗，如何解決這些問題。 Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2 ↑ 常用堿的濃度為 ~3%，根據(jù)實際制絨效果進行調(diào)整； 硅酸鈉被加入到溶液中起緩沖作用； 異丙醇被加入到溶液中起消泡劑的作用； 制絨溶液溫度： 80~90度（根據(jù)實際制絨效果進行調(diào)整）； 制絨時間： 10~40分鐘（根據(jù)不同溶液配比進行調(diào)整）； 硅片表面化學腐蝕處理（一次清洗） 多晶： 利用硝酸的強氧化性和氫氟酸的絡(luò)合性，對硅進行氧化和絡(luò) 合剝離，導致硅表面發(fā)生各向同性非均勻性腐蝕，從而形
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