培訓(xùn)資料電鏡ppt課件(2)-文庫(kù)吧資料
2025-01-16 17:36本頁(yè)面
【正文】 28 二、應(yīng)用 樣品制備方法簡(jiǎn)介 1. 二次電子像 （ 1）顆粒形態(tài)、大小、分布觀察與分析 （ 2）斷口形貌觀察 （ 3）顯微組織觀察等 2. 背散射電子像 （ 1）分析晶界上或晶粒內(nèi)部不同種類的析出相 （ 2）定性地判定析出物相的類型 （ 3）形貌觀察等 3．其它應(yīng)用（ 背散射電子衍射花樣 、 電子通道花樣 等用于晶體學(xué)取向測(cè)定） 29 30 第三節(jié) 電子探針 X射線顯微分析（ EPMA） ? 電子探針（ Electron Probe MicroanalysisEPMA）的主要功能是進(jìn)行微區(qū)成分分析。 ? 對(duì)于需要進(jìn)行元素組成分析的樣品，一般在表面蒸發(fā)輕元素作為導(dǎo)電層如：金屬鋁和碳薄膜層。只要注意幾何尺寸上的要求。 ? 與真空蒸發(fā)相比，當(dāng)金屬薄膜的厚度相同時(shí)，利用離子濺射法形成的金屬膜具有粒子形狀小，島狀結(jié)構(gòu)小的特點(diǎn)。 ? 從經(jīng)驗(yàn)上看，先蒸發(fā)一層很薄的炭，然后再蒸鍍金屬層可以獲得比較好的效果。 ? 一般經(jīng)常采用的是蒸鍍金屬金薄膜，但當(dāng)要求高放大倍數(shù)時(shí)，金屬膜的厚度應(yīng)該在 10nm以下，一般可以蒸鍍 AuPd（ 6:4）合金。 樣品制備 ? 表面鍍膜最常用的方法有 真空蒸發(fā) 和 離子濺射 兩種方法。 ? 鍍層太厚就可能會(huì)蓋住樣品表面的細(xì)微 ，得不到樣品表面的真實(shí)信息。 ? 在樣品表面鍍金屬層不僅可以防止荷電現(xiàn)象，換可以減輕由電子束引起的樣品表面損傷；增加二次電子的產(chǎn)率，提高圖像的清晰度；并可以掩蓋基材信息，只獲得表面信息。 元素像 形貌像 形貌與元素象的分離 22 二次電子運(yùn)動(dòng)軌跡 背散射電子運(yùn)動(dòng)軌跡 二次電子像的分辨率高、景深大，為什么？ 樣品制備 ? 一般玻璃材料，纖維材料，高分子材料以及陶瓷材料幾乎都是非導(dǎo)電性的物質(zhì)。 通常所指的掃描電鏡的分辨率，就是指二次電子像的分辨率。 ? 影響二次電子產(chǎn)額的因素主要 有： (1)入射電子的能量； (2)材料的原子序數(shù)； (3)樣品傾斜角 ?。 ? SEM可以用二次電子、背散射電子、吸收電子、特征 X射線（帶 EDS或 WDS）、俄歇電子（單獨(dú)的俄歇電子能譜儀）等信號(hào)成像。 影響 SEM圖像分辨率的主要因素有 ： ①掃描電子束斑直徑 ； ②入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng)； ③信號(hào)噪音比； ④雜散磁場(chǎng)； ⑤機(jī)械振動(dòng)將引起束斑漂流等，使分辨率下降。 13 4. SEM的主要性能指標(biāo) （ 2） 分辨率 ： 樣品上可以分辨的兩個(gè)鄰近的質(zhì)點(diǎn)或線條間 的距離。 影響 SEM圖像分辨率的主要因素有 ： ①掃描電子束斑直徑 ； ②入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng)； ③操作方式及其所用的調(diào)制信號(hào)； ④信號(hào)噪音比； ⑤雜散磁場(chǎng)； ⑥機(jī)械振動(dòng)將引起束斑漂流等，使分辨率下降。 （ 1）． 放大倍數(shù) 熒光屏上的掃描振幅 電子束在樣品上的掃描振幅 放大倍數(shù)與掃描面積的關(guān)系：
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