陶瓷坩堝在多晶硅材料提純和鑄錠中的應(yīng)用-文庫(kù)吧資料
2024-12-13 21:28本頁面
【正文】 脹系數(shù)相差很少，線膨脹系數(shù)都非常低為 ℃ ，接近零膨脹；抗熱振性：陶瓷坩堝和石英玻璃坩堝具有極低的線膨脹系數(shù)，故都有非常好的抗熱振性能。 其坩堝規(guī)格 如下圖所示。石英 坩堝的大尺寸為 32”（ 784mm） 。一個(gè)大尺寸的硅錠能制造出更多更有用，質(zhì)量更好的產(chǎn)品，得材率更高。硅錠越大，產(chǎn)品的質(zhì)量越好。性能測(cè)試與試樣的內(nèi)在質(zhì)量和表面狀態(tài)關(guān)系密切，一些 顯微 缺陷和表面粗糙度對(duì)測(cè)試結(jié)果有很大影響。陶瓷坩堝的內(nèi)涂層處理得恰當(dāng)，陶 瓷坩堝可以重復(fù)使用。 為了解決這個(gè)問題 ， 工藝上一般利用 Si3N4 等材料作為涂層 ， 附加在 坩堝的內(nèi)壁 ， 從而隔離了硅熔體和 坩堝的直接接觸 ，不僅能夠解決黏滯問題 ， 而且可以降低多晶硅中的氧 ， 碳雜質(zhì)濃度 ； 進(jìn)一步地 ， 利用 Si3N4涂層 ， 還使得 陶瓷 坩堝可能得到重復(fù)使用 ， 達(dá)到降低生產(chǎn)成本的目的 。 陶瓷坩堝的主要化學(xué)成分 ： 二氧化硅（ Silica） SiO2 % 三氧化二鋁（ Alumina） Al2O3 % 氧化鈣（ Calcia） CaO
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