陶瓷坩堝在多晶硅材料提純和鑄錠中的應(yīng)用-預(yù)覽頁
【正文】 表 1 石英玻璃 與 陶瓷的 物理性能比較 項(xiàng)目 不透明石英玻璃 陶瓷 密度 /(g/cm3) ~ – 抗壓強(qiáng)度 /MPa 1150 50 抗拉強(qiáng)度 /MPa 50 20 抗彎強(qiáng)度 /MPa (rt) 67 27 – 30 莫氏硬度 ~ 7 顯氣孔率 0 10 11% 結(jié)晶度 方石英 1% 陶瓷坩堝 尺寸的大型化： 理論上陶瓷坩堝的尺寸可以無限制的擴(kuò)大， 僅受限于實(shí)際應(yīng)用中鑄錠爐的尺寸限制。因此，國際趨勢就是傾向于生產(chǎn) 更大尺寸的硅錠。 3 圖 1 多晶硅材料 鑄錠用陶瓷坩堝規(guī)格 熱 學(xué)性能 ： 陶瓷坩堝與石英坩堝的在多晶硅的應(yīng)用主要區(qū)別是其熱性能的不同。其主要區(qū)別 是軟化溫度和失透。加熱石英玻璃，當(dāng)黏度到 1013～ 1014dpa?s 時， （約相當(dāng)于溫度 1200℃ ），石英玻璃開始發(fā)生變形。 在熔融狀態(tài)下，石英玻璃的黏 4 度為 105～ 106dpa?s。 所以在多晶硅提純和定向結(jié)晶中使用陶瓷坩堝的效果是
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