數(shù)字干涉測量方法及面形的三維干涉測量及評價-文庫吧資料
2024-10-19 17:05本頁面
【正文】 表面形貌并對評價指標(biāo)PV， RMS的定義有所掌握 。 2 二 、 實驗原理 隨著電子技術(shù)與計算機技術(shù)的發(fā)展 ， 并與傳統(tǒng)的干涉檢測方法結(jié)合 ，產(chǎn)生了一種新的位相檢測技術(shù) ?? 數(shù)字干涉技術(shù) ， 這是一種位相的實時檢測技術(shù) 。 光源 L1 L2 4 2 3 1 驅(qū)動器 計算機 軟件 數(shù)字干涉系統(tǒng) L1 ? ? 準直物鏡， L2 ? ? 成像物鏡， 1 ? ? 被測件， 2 ? ? 參考鏡，3 ? ? 壓電器件（ P Z T ）， 4 ? ? 成像光電器件（ C M O S ） 3 參考鏡 2由壓電陶瓷 PZT驅(qū)動 ， 產(chǎn)生位移 。 設(shè)參考鏡的瞬時位移為 li， 被測表面的形貌 （ 面形 ） 為 w(x,y)， 則參考光路和測試光路可分別用下式表示： )](2e x p [ iR lskiaU ???)]},([2e x p { yxwskibU t ???? ?2222( , , ) 2 c o s 2 [ ( , ) ]2
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