【正文】 含風(fēng)機(jī)。 輔助工程 空氣凈化及調(diào)節(jié) 根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求， 廠房潔凈度：清洗制絨間、擴(kuò)散間 1 萬級；其余 10 萬級 ,凈化通道 30 萬級 的潔凈環(huán)境，環(huán)境溫度為 18℃～ 25℃ ，因此需要 采取 空氣凈化和空氣調(diào)節(jié)措施。 (3) 消防設(shè)計(jì) 消防設(shè)備的電源均實(shí)現(xiàn)雙回路末端自動(dòng)切換。生產(chǎn)線接地保護(hù)采用 TNCS 接地系統(tǒng)。在車間重要場所和主要入口設(shè)置事故應(yīng)急照明和疏散誘導(dǎo)燈，照明線與電力支線一樣敷設(shè)。照明標(biāo)準(zhǔn)按國家有關(guān)規(guī)定及工藝要求進(jìn)行設(shè)計(jì)。生產(chǎn)車間一般照明采用高壓光效金屬鹵化物燈具，車間局部照明與辦公室照明一般均選用熒光燈。 車間內(nèi)動(dòng)力配電箱到各用電設(shè)備一般采用 BV500 型銅芯塑料絕緣導(dǎo)線，采用穿管埋地、沿墻、樓板等方式暗敷。供電方式一般采用放射式與樹干式相結(jié)合。 生產(chǎn)配電 本項(xiàng)目車間動(dòng)力電源均為三相四線制加 PE 線，即 TNS 系統(tǒng)。 本項(xiàng)目用電量按年工作日 300 天、三班24 小時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)估算，則全年 耗電為 1700179。補(bǔ)償后視在功率為 2545kVA。 供電電源由開 發(fā)區(qū) 220KV 變 電所專線，雙回路電源引入本工程高壓配電所 后采用電力電纜埋地引入本工程各車間 10/ 變配電所。 5%，電源頻率為 50177。 供電 供電要求及電源 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，生產(chǎn)用電設(shè)備、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、消防水泵為二級負(fù)荷，其余為三級負(fù)荷。生產(chǎn)污水和地面沖洗水經(jīng)收集后，通過廠區(qū)污水管網(wǎng)，排入廠區(qū)的污水處理站，處理方法采用三級沉淀、加藥凝聚、末端過濾的方法處理。 (2) 清下水管系統(tǒng) 生產(chǎn)工藝過程中產(chǎn)生的設(shè)備冷卻水和廠區(qū)雨水均通過排水暗渠匯集后直接排入廠區(qū)及市政雨水管網(wǎng)。 根據(jù)清污分流的原則，工廠排水系統(tǒng)劃分為生產(chǎn)廢水、生活污水、雨水及清下水的清污分流排水制。 排水工程 根據(jù)工藝方案，本項(xiàng)目投產(chǎn)后產(chǎn)生的廢水主要為職工生活污水、硅片清洗廢水和地面沖洗水等。具體用水量詳見表 52。 項(xiàng)目生產(chǎn)用水主要是硅片清洗制絨、去磷硅用水，平均小時(shí)用水量 24 噸，其余為循環(huán)冷卻水補(bǔ)充水 48 噸 /天， 其他（綠化、道路清洗）用水約 15 噸 /天，生活用水暫按 50 升 /人178。由市政供水干管接入廠區(qū)，供水管徑為 DN200，壓力不小于 。 廠區(qū)內(nèi)生產(chǎn)建筑設(shè)計(jì)在充分滿足使用功能前提下，建筑選型力求簡潔、大方、新穎、富有現(xiàn)代化建筑風(fēng)格。寬 72 米（軸線尺寸，下同）， 1棟共計(jì)建筑面積 平方米； 組件廠房：單層，長 120179。 生產(chǎn)區(qū)內(nèi)運(yùn)輸，由于生產(chǎn)車間相對獨(dú)立，采用電瓶車、鏟車等為主，區(qū)內(nèi)小型運(yùn)輸工具根據(jù)實(shí)際需要逐步添置，本項(xiàng)目暫不考慮配置 43 生產(chǎn)運(yùn)輸車輛。 廠內(nèi)外運(yùn)輸 廠區(qū)外運(yùn)輸主要以汽車為主。 建設(shè)條件 （ 1）氣候 （ 2） 地形、地貌及地質(zhì)條件 （ 3） 環(huán)境條件 （ 4） 社會(huì)環(huán)境 平面布置及運(yùn)輸 平面布置 廠區(qū)道路適合大型運(yùn)輸車輛進(jìn)出。以滿足項(xiàng)目生產(chǎn)的需要。 41 車間根據(jù)潔凈及環(huán)保要求，為保證產(chǎn)品質(zhì)量、改善工人勞動(dòng)環(huán)境，降溫加濕。 表 41 電池片生產(chǎn)主要新增設(shè)備清單 序號 設(shè)備名稱 型號規(guī)格 單位 數(shù)量 制造廠 一 進(jìn)口設(shè)備 1 濕法刻蝕機(jī) 套 1 2 自動(dòng)單多晶制絨設(shè)備 套 1 3 管式高溫?cái)U(kuò)散爐 臺 2 4 燒結(jié)爐 CDF7210 臺 2 5 全自動(dòng)太陽能電池片印刷及測試分選設(shè)備 Baccini 套 2 6 全自動(dòng)硅片檢測及分選系統(tǒng) WIS4000SSSHR 臺 2 7 PECVD 設(shè)備 臺 2 8 特氣設(shè)備 SGM400 套 2 二 國產(chǎn)設(shè)備 1 廢氣處理設(shè)備 套 1 2 純水處理系統(tǒng) 套 1 3 石英管清洗機(jī) SCSY0201H 臺 2 4 石墨舟清洗機(jī) SCSM0202A 臺 2 40 表 42 組件生產(chǎn)主要新增設(shè)備清單 序號 設(shè)備名稱 型號規(guī)格 單位 數(shù)量 制造廠 1 玻璃清洗機(jī) / 臺 3 2 EVA 裁切機(jī) TPT/EVA 臺 6 3 自動(dòng)焊接機(jī) / 臺 9 4 自動(dòng)排板機(jī) / 臺 3 5 背板裁切機(jī) / 臺 3 6 自動(dòng)頂升設(shè)備 / 臺 3 7 EL 測試儀 臺 5 8 匯流條裁切機(jī) / 臺 2 9 層壓機(jī) / 臺 6 10 裝框機(jī) GMSF2020 臺 3 11 耐壓測試儀 / 臺 3 12 除濕機(jī) / 臺 3 13 組件測試儀 / 臺 2 14 打包機(jī) / 臺 6 15 打膠機(jī) / 臺 3 16 流水線 / 條 3 17 空壓機(jī) GA75VSD 臺 4 設(shè)備的最終定型 設(shè)備的最終定型，還需與設(shè)備制造商進(jìn)行廣泛的技術(shù)交流和商務(wù)談判，在技術(shù)性能優(yōu)越，滿足產(chǎn)品質(zhì)量前提下，兼顧良好的售后服務(wù)，做到“貨比三家”招標(biāo)確定，以最小的投資，取得最大的效益。 9％ 目標(biāo)厚度： 80 nm （ 7） 特氣設(shè)備 38 特氣設(shè)備（型號 SGM400），主要用于控制高純特殊氣體，被廣泛應(yīng)用到太陽能電池生產(chǎn)線及微電子領(lǐng)域。 硅片加熱： L/C， H/C， P/C1， P/C2 真空狀態(tài)下加熱 : a)L/C(燈管加熱器 ) 約 450 度 b)H/C(燈管加熱器 ) 約 550 度 c)P/C1， P/C2(護(hù)套加熱器 ) 約 550 度 硅片溫度均勻性： P/C1， P/C2 在 450 度時(shí)， 177。 48 片 /框 (成膜面積：最大 970179。 125177。 125177。 179。冷卻區(qū)域安排在敷層區(qū)域之后，主要負(fù)責(zé)為載板及被敷層和已進(jìn)行過鈍化處理后的硅片在離開系統(tǒng)前進(jìn)行冷卻。這個(gè)敷層區(qū)是由幾排相同的線性等離子體源組成，其微波頻率為 ，所使用的工藝氣體為硅烷（ SiH4）和氨氣（ NH3）。接下來是覆層區(qū)域和最后的 37 冷卻區(qū)域。 該設(shè)備的工藝腔在功能上被分為三大區(qū)域。相關(guān)檢測模組的檢測參數(shù)如下： 電阻率 : 測試技術(shù) : 渦流場法 測試范圍 : ohmcm 精度 : 5% 重復(fù)性 : 2% 厚 度 : 測試技術(shù) : 電容法 測試范圍 : 100μm 精度 : 1% 重復(fù)性 : % （ 6） 太陽能減反射膜制造設(shè)備 (PECVD) 該設(shè)備適合所有常用形狀及尺寸的硅片并可以同時(shí)裝載多個(gè)硅片進(jìn)行 PECVD 氮化硅敷層及鈍化處理。上料使用兩個(gè)交替的 Stack。整個(gè)機(jī)臺采用模組化設(shè)計(jì)，可以根據(jù)客戶的需要增加新的檢測模組，操作維護(hù)方便。 ① 全自動(dòng)太陽能電池片印 刷 設(shè)備 技術(shù)指標(biāo) 電池尺寸： 125mmx125mm、 156mmx156mm、 210mmx210mm 電池厚度： 每小時(shí)電池產(chǎn)量： 12501440 片（生產(chǎn)線產(chǎn)能 95%） 最大電池破片率： % 絲網(wǎng)印刷居中誤差： 177。該生產(chǎn)線仍處于領(lǐng)先地位并已發(fā)展到由配置有集成直線電機(jī)的計(jì)算機(jī)來控制。油墨在 移動(dòng)中被刮刀從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。 H1680(毫米 ) 35 （ 4） 全自動(dòng)太陽能電池片印 刷 設(shè)備 及 測試分選設(shè)備 絲網(wǎng)印刷設(shè)備由電池背面銀鋁漿印刷、電池背面鋁漿印刷和電池正面銀漿印刷三部分組成。 主要技術(shù)指標(biāo)： 最高溫度 :1050℃ 工作溫度范圍： 干燥 區(qū) ： 100400℃；燒結(jié)區(qū)： 2001000℃ 可控加熱溫區(qū)： 干燥區(qū)： 3 ； 燒結(jié)區(qū)： 6 加熱區(qū)長度： 干燥區(qū)： 90 英寸（ 厘米） 燒結(jié)區(qū)： 60 英寸 (152 厘米 ) 工作空間尺寸： PVD614 網(wǎng)帶寬 14 英寸（ 厘米） 網(wǎng)帶上方高度： 英寸（ 19 厘米） 網(wǎng)帶離地高度： 36 英寸（ 914 厘米） 最大負(fù)荷： 148 千瓦 外形尺寸： L9320179。 快速降溫：由安裝在網(wǎng)帶上下的冷水壁來實(shí)現(xiàn)在 875℃和 400℃之間的降溫速度可達(dá) 65℃ /秒以上。由快速熱處理太陽能電池金屬化爐和紅外烘干爐組成。 ① 特征及優(yōu)勢： 多達(dá) 5 個(gè)并列石英或 SiC 管反應(yīng)腔體 （ 最多可達(dá)到 300mm）； 有可 自由選擇工藝的腔體 ； 全自動(dòng) cassettetocassette傳片， wafer 直徑最大可達(dá) 200mm； 先進(jìn)的晶圓冷卻系統(tǒng)：不同管道間沒有熱干擾，沒有對室內(nèi)潔凈空氣的消耗 ； 自動(dòng)無沾污晶舟傳片 ； 模塊式部件設(shè)計(jì)，使設(shè)備在潔凈室環(huán)境下拆與裝更容易 34 ② 工藝數(shù)據(jù)： 晶圓尺寸： 150mm（ wafers）， 200mm（ wafers）加熱系統(tǒng)： 3 或 5 個(gè)加熱區(qū)， 900mm 至 1000mm 的 177。標(biāo)準(zhǔn)的刻蝕工藝（使用 HF/HNO3, KOH, NaOH, H3PO4, BOE, DHF, SPM, SOM 等） ；快速精確的傳輸，傳輸時(shí)間 1 秒 ；可用于 300mm 硅片的刻蝕 ；全自動(dòng)化工藝控制。 絨面均勻性良好，較小的占地面積，可調(diào)整絨面，最優(yōu)化反射和缺陷刻蝕以達(dá)到整條工藝鏈的最優(yōu)集成。 選用的國外先進(jìn)設(shè)備在性能方面主要有以下特點(diǎn)： （ 1）制絨機(jī)和刻蝕機(jī) 33 ① 制絨機(jī)，針對多晶硅片， 祛除硅片表面在切割過程中的損傷層，改善絨面質(zhì)地，增強(qiáng)表面吸光性。因此本項(xiàng)目電池片生產(chǎn)幾個(gè)關(guān)鍵設(shè)備及檢測設(shè)備需引進(jìn)。一段時(shí)間后，上腔室開始充氣，通過上腔室的橡膠板壓住組件，達(dá)到給組件加壓的目的，經(jīng)過保溫保壓階段后，光伏組件即可成型取出。工作時(shí)，通過油加熱機(jī)和熱油泵的循環(huán)，使下腔室的加熱板溫度升到設(shè)定的溫度。層壓機(jī)是電池板封裝廣泛使用的主體設(shè)備。 生產(chǎn)晶體硅太陽能電池片，主要有硅片檢測、表面制絨、擴(kuò)散制結(jié)、去磷硅玻璃、等離子刻蝕、鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷、快速燒結(jié)和檢測分裝等生產(chǎn)和檢測設(shè)備 生產(chǎn)太陽能光伏電池組件，需要玻璃上料機(jī)、玻璃清洗機(jī)、串焊機(jī)、 EVA 和 TPT 薄膜自動(dòng)裁切機(jī)、全自動(dòng)或半自動(dòng)層壓機(jī)、太陽能組件鋪設(shè)臺、自動(dòng)裝框機(jī)等主要設(shè)備。 工藝設(shè)備 主要設(shè)備選型原則和理由 本項(xiàng)目在設(shè)備選用上，是為了提高電池的最終產(chǎn)品質(zhì)量、光電轉(zhuǎn)換效率及整線生產(chǎn)效率，同時(shí)降低生產(chǎn)成本出發(fā)，根據(jù)產(chǎn)品定位，選用適用的國內(nèi)外先進(jìn)設(shè)備。 生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量應(yīng)符合國家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn) 行檢測，國際客戶有要求的應(yīng)按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求控制，要求成品出廠合格率達(dá) 99%以上。 （ 10）組件測試：測試的目的是對電池的輸出功率進(jìn)行標(biāo)定，測試其輸出特性，確定組件的質(zhì)量等級。 （ 8）焊接接線盒：在 組件背面引線處焊接一個(gè)盒子，以利于電池與其他設(shè)備或電池間的連接。 （ 7）裝框：給太陽能電池組件裝鋁框，增加組件的強(qiáng)度，進(jìn)一步的密封電池組件，延長電池的使用壽命。固化溫度為 150℃。層壓工藝是組件生產(chǎn)的關(guān)鍵一步，層壓溫度層壓時(shí)間根據(jù) EVA 的性質(zhì)決定。（敷設(shè)層次：由下向上：玻璃、 EVA、電池、 EVA、玻璃纖維、背板）。玻璃事先涂一層試劑（ primer）以增加玻璃和 EVA 的粘接強(qiáng)度。 （ 3）背面串接：背面焊接是將 36 片或 72 片電池串接在一起形成一個(gè)組件串，目前采用的工藝是手動(dòng)的，電池的定位主要靠一個(gè)膜具板，上面有 36 或 72 個(gè)放置電池片的凹槽，槽的大小和電池的大小相對應(yīng)，槽的位置已經(jīng)設(shè)計(jì)好，不同規(guī)格的組件使用不同的模板，操作者使用電烙 鐵和焊錫絲將“前面電池”的正面電極（負(fù)極）焊接到“后面電池”的背面電極（正極）上，這樣依次將 36 片或 72 片串接在一起并在組件串的正負(fù)極焊接出引線。焊帶 30 的長度約為電池邊長的 2 倍。 （ 2）正面焊接：是將匯流帶焊接到電池正面（負(fù)極）的主柵線上，匯流帶為鍍錫的銅帶，使用的焊接機(jī)可以將焊帶以多點(diǎn)的形式點(diǎn)焊在主柵線上。 ※主要工藝流程說明： （ 1）電池測試：由于電池片制作條件的隨機(jī)性，生產(chǎn)出來的電池性能不盡相同，所以為了有效的將性能一致或相近的電池組合在一起，所以應(yīng)根據(jù)其性能參數(shù)進(jìn)行分類：即通過測試電池的輸出參數(shù)（電流和電壓）的大小對其進(jìn)行分類。經(jīng)固化并修邊后，再于四圍加上密封條，裝上經(jīng)過陽極氧化的鋁合金邊框以增加強(qiáng)度，背面固定接線盒，連上二極管，就完成了一個(gè)太陽能光伏組件。熱壓固化循環(huán)時(shí)間大約需要 25 分鐘。按照低鐵鋼化白玻璃或其他透明蓋板、乙烯 醋酸乙烯酯膜 EVA、太陽能電池串和乙烯 醋酸乙烯酯膜 EVA 的順序疊放，后面 29 蓋以聚氟乙烯復(fù)合膜也即 TPT 材料，搞好層壓敷設(shè)。 太陽能電池組件生產(chǎn) 太陽能光伏電池組件的封裝工藝是首先對電池進(jìn)行測試，并按照輸出參數(shù)對其進(jìn)行分類，再用金屬導(dǎo)電帶按需要將太陽能電池焊接在一起。電池生產(chǎn)工序就完成了 (6) 檢測分選： 為了保證產(chǎn)品質(zhì)量得一致性，通常要對每個(gè)電池測試，并按電流和功率大小進(jìn)行分類，可根據(jù)電池效率進(jìn)行分級。正面柵網(wǎng)電極的形式和厚度要求一方面要有