3濺射鍍膜實(shí)驗(yàn)報(bào)告(參考版)
2024-08-17 15:55本頁面
【正文】 。 3 結(jié)束語 綜上所述，使用真空磁控離子濺射鍍膜機(jī)完成的鍍膜具有眾多優(yōu)點(diǎn)，并且，在小型工件鍍膜中，與現(xiàn)有的磁控離子濺射鍍膜機(jī)相比， 本文提出的真空磁控離子濺射鍍膜機(jī)不僅能實(shí)現(xiàn)對(duì)小規(guī)模生產(chǎn)工件的二次鍍膜，還能在一定程度上降低小規(guī)模生產(chǎn)所需的鍍膜成本。脈沖電壓最大為 1kv，電流最大為 1a。 負(fù)偏壓設(shè)計(jì) 因?yàn)闃悠芳苁桥c地面絕緣的， 所以可以通過對(duì)樣品施加負(fù)偏壓的方式讓其離化率增強(qiáng)，從而降低電荷積累造成的異常放電，避免靶材表面中毒，并最終提升膜的質(zhì)量。因此，為了提高系統(tǒng)的安全性，建議其中一個(gè)導(dǎo)軌組件選用絲杠螺母?jìng)鲃?dòng)機(jī)構(gòu)，另一個(gè)則使用光軸，以避免事故的發(fā)生。工件平移組件設(shè)計(jì)主要以梯形螺紋為基本齒形，外螺紋的直徑設(shè)置為20mm，中徑 18mm，
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