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正文內(nèi)容

高靈敏度陣列氣敏傳感器的制備與氣敏特性分析(參考版)

2024-08-22 13:03本頁面
  

【正文】 University students wishing to learn a happy life 。構(gòu)建復(fù)式圖,對比數(shù)據(jù)庫相關(guān)信息得到更準(zhǔn)確的信息。 ? 后期目標(biāo) 本 項目初步得出陣列化的氣敏傳感器 ,能夠?qū)旌蠚怏w有良好的選擇性。 利用半導(dǎo)體工藝等技術(shù),在本征硅片上陣列結(jié)構(gòu)電極和納米氣敏薄膜,有效提高氣體測量的準(zhǔn)確性、響應(yīng)速度和靈敏度。制成我們所要的氣敏傳感器! 涂膜前 涂膜后 納米氧化鋅的生長 二氧化鈦 數(shù)據(jù)分析及總結(jié) ZnO氣敏傳感器 VG特性 TiO2氣敏傳感器 VG特性 ? 工作總結(jié) 根據(jù)半導(dǎo)體工藝以及相關(guān)技術(shù),結(jié)合先進的測試方法和理論分析,建立智能化識別
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