【正文】
。到目前為止,這些傳感器都是用半導(dǎo)體氧化物燒結(jié)而成。 燃燒監(jiān)視器感應(yīng)器也由 SnO2 和 鈣鈦礦 類型氧化物 (La1xSrxCo1yFeyO3)制成。另一方面,在如此低的溫度操作容易被水蒸氣等其它氣體干擾。 然而,使用 SnO2 的可靠 CO 傳感器最近才有發(fā)展。 半導(dǎo)體氣敏傳感器正被應(yīng)用到許多領(lǐng)域,家庭和工業(yè)。人們指出問題的形成有許多因素,主要是因為它在出乎意料的高溫下燒結(jié)的低電阻值形成的。幾年前,SnO2用在像地下餐館的廚房這樣的地方,那里許多可燃性氣體不斷地從燃料中進(jìn)入到空氣中,這樣問題就隨之而來了。很相當(dāng)令人驚訝地的是, 自殺在這項分析中排到了第三位。圖1給出了結(jié)果。 業(yè)內(nèi)統(tǒng)計顯示氣體報警器對于防止氣體泄漏事故的發(fā)生非常有效;隨著報警器安裝率的提高,事故發(fā)生率有了顯著的下降。 半導(dǎo)體氣敏傳感器的生產(chǎn)已經(jīng)發(fā)展成了一個很大的產(chǎn)業(yè),1983年就生產(chǎn)了超過500萬片。 半導(dǎo)體氣敏傳感器通過半導(dǎo)體的金屬氧化物電阻值的改變來檢測氣體,典型的氧化物如SnO2。被穩(wěn)定的氧化鋯表現(xiàn)的固體電解物,已經(jīng)證明是氧, SO2 等的非常有希望的感應(yīng)器材料。 1975年被提議的基于 MOSFET 的氣敏傳感器, 引起了許多研究員的興趣,并發(fā)展成為商品化的氫檢測器。 sensor is heated to elevated temperature (300400oC) to make the sensor surface clean while CO detection is made at a low temperature as shown in . Combustion monitor sensors have been also developed by using SnO2 and perovskitetype oxide (La1xSrxCo1yFeyO3), respectively. These sensors measure the stoichiometric ratio of air to fuel, and applicable to kerosene or gas stoves, hot water supply systems, and so on. The sensor elements so far used practically are all porously sintered blocks of semiconductive oxides. However, thick film element