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基于激光散斑的表面粗糙度測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)(參考版)

2025-06-30 20:35本頁面
  

【正文】 參考文獻(xiàn)【1】李伯奎.觸針式三維粗糙度測(cè)量?jī)x的開發(fā)及應(yīng)用.潤(rùn)滑與密封.2006,(4):140142【2】唐文彥,張軍,李慧鵬.觸針法測(cè)量表面粗糙度的發(fā)展及現(xiàn)狀.機(jī)械工藝師.2000,(1 1):4042[7] 王世華,周肇飛,周衛(wèi)東便攜式激光表面粗糙度測(cè)量?jī)x.計(jì)量學(xué)報(bào).1997,(1):283l[8】張耀寧,程祖海.激光鏡鏡面粗糙度的干涉測(cè)量.中國(guó)激光.1999,(2):14l~144【9】楊開勇,蔡明,黃云.超光滑表面粗糙度測(cè)量的研究.計(jì)量與測(cè)試技術(shù).1998,(5):13~15【lO】趙洪志,李達(dá)成,曹芒.測(cè)量精度達(dá)3.2nm的在線表面粗糙度外差干涉儀信號(hào)處理系統(tǒng).光學(xué)工程.1999,(4):35~39【11】劉劍霜,謝鋒,吳曉京等.掃描電子顯微鏡.上海計(jì)量測(cè)試.2003,30(6):3739【12】李劍白,李達(dá)成,李小蕓等.原子力顯微鏡測(cè)試光學(xué)超光滑表面微輪廓的研究.光學(xué)學(xué)報(bào).2000,20(11):1533~1537【1 3】楊志剛,王家軍,薄詳正等.掃描隧道顯微鏡在金屬表面粗糙度檢測(cè)上的應(yīng)用.金屬熱處理.1995,(1 1):24~26【14】王世華,周肇飛,光學(xué)散射特征Sn和表面粗糙度Ra之間關(guān)系的研究.成都科技大學(xué)學(xué)報(bào)。本文主要結(jié)論如下:在充分討論紋理分析技術(shù)的基礎(chǔ)上,著重研究了統(tǒng)計(jì)方法中的共生矩陣所提供的紋理特征,并利用數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)理論,將哈希查找技術(shù)成功應(yīng)用到共紋理提取的過程中,理論與實(shí)際都表明這種算法較傳統(tǒng)的矩陣算法在運(yùn)行效率方面有極大的優(yōu)勢(shì);我們提取的是激光散斑紋理圖像的二階統(tǒng)計(jì)特性紋理特征來表達(dá)粗糙度,在紋理特征的計(jì)算中,提出了高斯加權(quán)的思想,即按照像素間隔的大小對(duì)紋理特征加權(quán),使其更貼切的反應(yīng)紋理圖像的本質(zhì);在軟件設(shè)計(jì)中,運(yùn)用了VC++與MATLAB混合編程,發(fā)揮了二者各自的優(yōu)勢(shì),并總結(jié)了在混合編程中需要注意的問題;實(shí)驗(yàn)中用到的粗糙度量塊的加工方式是平磨,立銑和平銑,并考察了光強(qiáng)及激光入射角度等測(cè)量參數(shù)對(duì)紋理特征變化趨勢(shì)的影響和激光照射量塊不同區(qū)域紋理特征值的穩(wěn)定情況。 結(jié)論 本文在學(xué)習(xí)紋理分析技術(shù)的基礎(chǔ)上,提出了一種快速的提取共生紋理特征的算法,并結(jié)合散斑測(cè)量技術(shù)與計(jì)算機(jī)紋理分析技術(shù),提出了一種表面粗糙度測(cè)量的方法,初步建立了能滿足測(cè)量要求的通過散斑紋理特征求取表面粗糙度的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)。測(cè)量時(shí)除了激光的入射角盡量小以外,激光的光強(qiáng)也不能太高,以防CCD相機(jī)接收到的信號(hào)過飽和。所以我們所運(yùn)用的系統(tǒng)及算法是穩(wěn)定的。實(shí)驗(yàn)中激光以入射角為100,光強(qiáng)為50勒克斯的方式照射粗糙度量塊,入射點(diǎn)分別為左上,左下,右上,右下四個(gè)區(qū)域,實(shí)驗(yàn)結(jié)果如表6.1,6.2所示:表6.1平磨量塊四個(gè)區(qū)域?qū)?yīng)紋理特征值淤0.1lam 0.2肛m 0.41.tm 0.89m 入射區(qū)域\左上0.0006 1 3956 0.000611566 0.00060 l 297 0.000594232左下0.000613792 0.00061194l 0.000601 835 0.000593987右上0.000614321 0.000612339 0.00060 1 368 0.000593 524右下0.000614015 0.00061 1672 0.00060 l 732 0.00059381 l表6.2平銑量塊四個(gè)區(qū)域?qū)?yīng)紋理特征值淤0.1I.tm 0.21.tm 0.49m 0.81.tm 入射區(qū)域\左上0.000488989 0.0004843 1 3 0.000463742 0.000454875左下0.00048926 1 0.000484026 0.000463639 0.000455334右上0.000489476 0.0004845 1 5 0.000463262 0.0004556 1 6右下0.000489 1 53 0.000483988 0.000463 65 1 0.00045493 l由表6.1與表6.2可以看出,雖然激光照射同一量塊的不同區(qū)域會(huì)產(chǎn)生不同的散斑圖像,但是我們得到的紋理特征卻比較穩(wěn)定。我們有必要驗(yàn)證當(dāng)散斑圖像變化后,所得紋理特征是否有劇烈的變化。由上一節(jié)的討論可知,在一定條件下,紋理特征的大小隨粗糙度大小呈現(xiàn)單調(diào)性的變化。當(dāng)光強(qiáng)到了一定的強(qiáng)度后(并未過飽和,超出CCD相機(jī)閾值),其紋理特征的隨粗糙度等級(jí)不同而體現(xiàn)的變化趨勢(shì)相對(duì)恒定。(c)光強(qiáng)50勒克斯圖6.12平銑,入射角為200從上述紋理特征變化趨勢(shì)圖中可以看出,當(dāng)入射角為100時(shí),紋理特征均具有相同的單調(diào)性,但是當(dāng)入射角增大時(shí),隨著光強(qiáng)功率的降低,單調(diào)性已經(jīng)不存在了。一,j.強(qiáng)糙匿。祖糙度(c)光強(qiáng)50勒克斯圖6.10平銑,入射角為lOo(a)光強(qiáng)30勒克斯(c)光強(qiáng)50勒克斯圖6.11平銑,入射角為15045__(b)光強(qiáng)40勒克斯糕啦聊鞲蜷非翩豁(a) )光強(qiáng)40勒克斯?j。L;陽≮?!眗————些L———] t%r———J塑————]。同一加工方式在同一測(cè)量條件下紋理特征值大小的對(duì)比的過程中,我們運(yùn)用了歸一化手段。實(shí)驗(yàn)中改變光強(qiáng)與激光的入射角度,觀察其對(duì)所選取的紋理特征變化趨勢(shì)的影響。實(shí)驗(yàn)中用到平磨,立銑與平銑三種加工方式的表面粗糙度量塊,其中平磨的粗糙度等級(jí)為0.1.um,O 2pm,O 49in.O 89in,立銑與平銑的粗糙度等級(jí)為O 8168。本實(shí)驗(yàn)中所得到的敞斑圖像如圖6.4所示,本實(shí)驗(yàn)最后的結(jié)果是在幾百張敞斑圖像處理的基礎(chǔ)上得出的,限于篇幅的原因.在此不能將所有的散斑圖像一一列出,僅列一組作為舉例(加工方式平磨,入射角100,激光入射強(qiáng)度為50勒克斯)。實(shí)驗(yàn)中CCD相機(jī)與粗糙度量塊表面的垂直距離,保持15cm恒定,CCD相機(jī)位于激光的反射角度。我們選用的是5mw,波長(zhǎng)為6609m的半導(dǎo)體激光器,電源為可調(diào)的恒流源,以避免散斑強(qiáng)度超過CCD相機(jī)的接收閾值。0【為激光的入射角。所以需要獲取此矩陣的指針,然后操作矩陣中的元素;(3)引擎空間矩陣變量的存儲(chǔ)方式是按列排列的,而在VC++編譯時(shí)矩陣的存儲(chǔ)方式是按行排列的,所以若要在VC++中得到正確的矩陣表達(dá)方式還需要做一定的變形。下面以本文用調(diào)用MATLAB engine讀取圖像并將圖像的數(shù)據(jù)傳給Visual C++應(yīng)用程序?yàn)槔忉尰旌暇幊痰牟襟E方法:(1)打開引擎,并獲取引擎空間的指針;(2)根據(jù)第一步獲取的引擎指針,將一條讀圖像命令發(fā)送給MATLAB進(jìn)程;(3)與第二步類似,將一條位圖變灰度圖命令發(fā)送給MATLAB進(jìn)程:(4)獲取引擎空間的圖像矩陣變量,但此變量并不能直接在VC++中使用;(5)獲取(4)中所獲取變量的指針,并將其進(jìn)行強(qiáng)制類型轉(zhuǎn)換,以適合在VC++中進(jìn)行灰度值的運(yùn)算;(6)當(dāng)不需要引擎時(shí)將其關(guān)閉。而且工作不需要整個(gè)MATLAB與應(yīng)用程序相連,只需要一小部分通信函數(shù)庫與應(yīng)用程序相連,因此它大大節(jié)省了系統(tǒng)的資源。通過MATLAB engine,C和Fortran兩種語言編寫的程序可以通過調(diào)用engine打開一個(gè)新的MATLAB進(jìn)程,并控制它完成任何計(jì)算和繪圖功能。實(shí)現(xiàn)混合編程的方法并不唯一,本文在操作過程中利用MATLAB engine(弓l擎),采用的是c/s(客戶機(jī)/服務(wù)器)的計(jì)算模式,即Visual C++作為前端客戶機(jī),MATLAB作為后臺(tái)服務(wù)器,通過engine相互通信。因此實(shí)現(xiàn)MATLAB和Visual C++的混合編程,有助于發(fā)揮MATLAB和Visual C++各自的優(yōu)勢(shì),降低開發(fā)難度,縮短編程時(shí)間。而常見的通用編程平臺(tái)如Visual Basic,Visual C++和Fortran等,盡管功能強(qiáng)大和靈活,但編程效率較低,尤其是當(dāng)需要快速驗(yàn)證算法時(shí)。因此,MATLAB在數(shù)值計(jì)算領(lǐng)域已處于不可替代的領(lǐng)先地位。眾所周知,MATLAB擁有強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理能力和豐富的繪圖功能,命令語句功能十分強(qiáng)大,成為數(shù)學(xué)計(jì)算和算法仿真方面事實(shí)上的標(biāo)準(zhǔn)。矩陣中的元素H【i】D】為指向共生的一對(duì)灰度(i,.j)在鏈表中相應(yīng)結(jié)點(diǎn)的指針,初始值賦為NULL,當(dāng)出現(xiàn)一個(gè)像素對(duì)兒時(shí),先判斷其哈希矩陣所對(duì)應(yīng)元素值是否為NULL,如果為NULL,則表明鏈表中尚不存在相應(yīng)結(jié)點(diǎn),需要?jiǎng)?chuàng)建,再在鏈表的尾部插入,如果非NULL,則該指針?biāo)附Y(jié)點(diǎn)中的P自加l。構(gòu)建一種新鏈表,不需要有序,出現(xiàn)新的像素對(duì)兒就創(chuàng)建相應(yīng)的結(jié)點(diǎn)并在鏈表的最后插入。j)的個(gè)數(shù)P。我們?cè)诖瞬粚⒚糠N方法一一解釋,具體到紋理分析時(shí),應(yīng)用此哈希查找的思想特別的有效,因?yàn)槲覀兯鶚?gòu)建的鏈表中各結(jié)點(diǎn)有絕對(duì)不同的關(guān)鍵字,即為共生的像素對(duì)JL(i,.j),因此可以利用(“.j)來表示結(jié)點(diǎn)在鏈表中的位置。關(guān)鍵字可以惟一的記錄結(jié)點(diǎn)在鏈表中的位置,因此,在構(gòu)造哈希鏈表時(shí),應(yīng)盡可能的使關(guān)鍵字的各個(gè)成分都對(duì)鏈表的存儲(chǔ)位置有影響。它通過對(duì)關(guān)鍵字的值進(jìn)行某種運(yùn)算,直接求出結(jié)點(diǎn)在鏈表中相應(yīng)的位置,即使用關(guān)鍵字到地址的直接轉(zhuǎn)換方法,而不需要反復(fù)比較。 構(gòu)建哈希鏈表 在前面討論的單純利用鏈表的方法中,查找相應(yīng)結(jié)點(diǎn)的過程需要依據(jù)結(jié)點(diǎn)進(jìn)行若干次的比較判斷,最后確定在鏈表中是否存在結(jié)點(diǎn)中的關(guān)鍵字等于某個(gè)給定值的結(jié)點(diǎn)以及該結(jié)點(diǎn)在鏈表中的位置,在查找過程中只考慮各結(jié)點(diǎn)中的關(guān)鍵字之間的相對(duì)大小,而記錄在存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)中的位置和其關(guān)鍵字并無直接的關(guān)系。j都是從小到大排列的,對(duì)于每一個(gè)共生的像素對(duì)JL(io,jo),從鏈表頭結(jié)點(diǎn)開始查找,先判斷是否有結(jié)點(diǎn)中的i_io,若沒有就立即創(chuàng)建結(jié)點(diǎn),插入鏈表,若有就再判斷i=io的結(jié)點(diǎn)中是否有.jjo,若沒有就立即創(chuàng)建結(jié)點(diǎn),插入鏈表,若有將對(duì)應(yīng)的結(jié)點(diǎn)中的P自l。鏈表分為有序無序兩種,若采用無序鏈表,對(duì)于每一個(gè)共生的像素對(duì)兒,在判斷它是否已經(jīng)出現(xiàn)過,或查找它所對(duì)應(yīng)的相應(yīng)的結(jié)點(diǎn)時(shí),都需要從頭遍歷已構(gòu)建的灰度共生鏈表,工作量相當(dāng)大,很有可能有許多次在判斷時(shí)都要遍歷整個(gè)已創(chuàng)建的鏈表,最后發(fā)現(xiàn)相應(yīng)的共生像素對(duì)兒并沒出現(xiàn)過,此時(shí)便需要先創(chuàng)建相應(yīng)結(jié)點(diǎn)再在尾部插入,這顯然相當(dāng)麻煩。其中i,J為在一定的位移矢量控制下而共生的一對(duì)灰度,由于要構(gòu)建下三角矩陣所對(duì)應(yīng)的鏈表,所以有i■i,指針是用來遍歷整個(gè)鏈表的,鏈表構(gòu)建完成后將整個(gè)鏈表中的P歸一化,利用它來計(jì)算紋理特征。注意到灰度共生矩陣是方陣,且關(guān)于主對(duì)角線對(duì)稱位置的元素一般都同時(shí)比較大,或者同時(shí)比較小,因此只需將矩陣的上三角元素折疊加到下三角,就可以實(shí)現(xiàn)使紋理特征對(duì)粗糙度的變化更敏感的目的。 哈希鏈表的構(gòu)建 下三角矩陣的推導(dǎo) 散斑圖像的二階統(tǒng)計(jì)特性的紋理特征對(duì)表面粗糙度的研究非常有價(jià)值,以公式4.2所表示的紋理特征Energy為例,此紋理特征是矩陣中所有元素的平方和,這些元素的特點(diǎn)是它們的和是唯一的,即1。本章節(jié)的算法以下三角矩陣的推導(dǎo)為基礎(chǔ),然后以共生的一對(duì)灰度作為關(guān)鍵字,不需要構(gòu)建共生矩陣,直接從激光散斑圖像快速創(chuàng)建包含原灰度共生矩陣中非零元素的單向鏈表,利用此單向鏈表快速計(jì)算GLCM所提供的共生紋理特征。4 基于哈希鏈表的激光散斑圖像紋理特征的提取 GLCM算法的不足 雖然利用灰度共生矩陣進(jìn)行表面粗糙度測(cè)量的研究是比較好的方法,但是單純利用灰度共生矩陣計(jì)算圖像的紋理特征時(shí)會(huì)帶來大量的不必要的運(yùn)算,尤其對(duì)于對(duì)于像數(shù)較大的紋理圖像和高階GLCM計(jì)算,其負(fù)面影響
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