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gan制程設(shè)備簡介ppt課件(參考版)

2025-01-17 03:23本頁面
  

【正文】 GaN制程設(shè)備簡介 目錄 一. 化學(xué)站 二. 蝕刻站 三. 黃光站 四. 蒸鍍站 五. 研磨拋光 六. 鐳射切割 七. 點測站 八. 分類站 化學(xué)站 ? 蒸鍍前清洗 ? 基板清洗 ? 蝕刻 ? 基板清洗 ? 去光阻 ? 金屬剝離 (旋干機 ) ? DI water清洗 ? 熱 N2烘干 蝕刻站 (
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