數(shù)字干涉測量方法及面形的三維干涉測量及評價(參考版)
2024-10-15 17:05本頁面
【正文】 。 5. 為什么說本方法可以消除干涉儀自身的系統(tǒng)誤差，而普通干涉儀則不可能，只能靠加工水平來保證。 高精度光學平面零件的面形精度可用下列二個評價指標 ， 如下圖所示 。 除實現(xiàn)自動檢測外 ， 還可以測定被測件的三維形貌 。 由于 li隨時間變化 ， 因此光強是一個時間周期函數(shù) ， 可用傅里葉級數(shù)展開 。 此位移的頻率與移動量由計算機控制 。 這種方法不僅能實現(xiàn)干涉條紋的實時提取 ， 而且可以利用波面數(shù)據(jù)的存儲功能消除干涉儀系統(tǒng)誤差 ， 消除或降低大氣擾動及隨機噪聲 ， 使干涉技術實現(xiàn) ?/100的精度 ， 這是目前干涉儀精度最高的近代方法 。1 數(shù)字干涉測量方法 及面形的三維干涉測量及評價 一 、 實驗目的 1. 了解激光干涉的近代方法 ?? 數(shù)字干涉技術的原理和方法； 2. 掌握干涉的實時檢測技術； 3. 了解數(shù)字干涉方法的特點及應用場合； 4. 了解表面三維形貌的高精度實時測量原理； 5. 實測一個平面光學零件的
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