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正文內(nèi)容

等離子體輔助cvd技術(shù)(參考版)

2025-05-18 22:54本頁面
  

【正文】 (a) 制備后以及 (b) 600?C?30 min 熱處理后,界面處各元素的分布變化很小,表明器件具有較高的界面穩(wěn)定性 SiC/Ni界面處的俄歇電子成分分析結(jié)果 . Gil et al. / SolidState Electronics 50 (2021) 1510–1514 ? 聚酯塑料 (PET, polyethylene terephtalate) 已取代玻璃、金屬,成為食品飲料的主要包裝材料 ? 2021 年, 聚酯塑料包裝瓶的年消費量已超過2500 億只,其年增長率將超過 10% ? 聚酯塑料容器的缺點是其氣密性差,這會導(dǎo)致某些食品飲料(如啤酒等)的變質(zhì)、變味 ? DLC 涂層正在嘗試被用于聚酯塑料食品飲料包裝容器的氣密性涂層 例二: 聚酯塑料容器內(nèi)表面的 DLC涂層技術(shù) O2 進入容器會使得飲料變質(zhì),而 CO2 逸出容器則會使碳酸飲料喪失味道 PET 瓶內(nèi)表面的 DLC 氣密性涂層 CO2 O2 Kirin 公司電容耦合等離子體 DLC 涂層技術(shù) 使用內(nèi)外電極間電容耦合的 RFPECVD 技術(shù) 涂層時間: sec, 涂層厚度: 1030 nm PET容器內(nèi)表面 DLC涂層設(shè)備 設(shè)備的生產(chǎn)能力: 18000只 PET 容器 /小時 Kirin公司 PET容器 DLC涂層的沉積條件 —————————————————————— 氣體壓力 1100Pa 電源頻率 輸入功率 2502500W 原料氣體 C2H2 氣體流量 30300sccm 涂層時間 sec 涂層厚度 2050 nm _____________________________________________ 1994 年,日本 Kirin Brewery Co., Ltd. 公司即開始推出涂覆 DLC 氣密涂層的 PET 瓶 內(nèi)表面涂覆 DLC 涂層的 PET 瓶 PET容器 DLC涂層的氣密封性能 —————————————————————— 涂層容器 未涂層容器 改善比率 ————————————————— O2 CO2 O2 CO2 O2 CO2 —————————————————————— 溫度 (?C) 20 30 11 40 _____________________________________________ 氣密性單位: O2, cm3/瓶 /天 / CO2, g/瓶 /天 /大氣壓 顏色的單位 ( EBC): EBC=A430?25 其中, A430 為 430nm 波長光線的吸收率 40?C,不同容器儲存后啤酒的顏色變化 專業(yè)人員的評價標準: 0 —— 無變質(zhì)氣味 9 —— 有強烈變質(zhì)氣味 不同容器內(nèi)儲存兩周后啤酒的變質(zhì)氣味比較 第六講 小結(jié) ? 薄膜的 CVD過程可以由等離子體輔助來實現(xiàn) ? PECVD的主要特點是它可以有效降低 CVD過程的溫度 ? 各種輝光、甚至弧光放電過程都可以被用于PECVD ? 直流、射頻、微波激勵手段都可被用于 PECVD 基本概念復(fù)習(xí) ? 等離子體中電子所涉及的微觀過程 ? 等離子體的一般性質(zhì) ? PECVD 技術(shù)的主要優(yōu)點 ? PECVD 涉及的主要微觀過程 ? 各種等離子體的產(chǎn)生方法和相應(yīng)的 PECVD 技術(shù)簡況 ? PECVD 方法的局限性 。 600?C 下熱處理 后,化學(xué)刻蝕出電極圖形 Ni/SiC肖特基二極管的制備 ICPCVD薄膜沉積設(shè)備 . Gil et al. / SolidState Electronics 50 (2021) 1510–1514 H2 作為載氣在射頻電場中形成等離子體,而 SiHCH4 等活性氣體由噴管在等離子體下部引入 TEM衍射表明: ? 碳化后, Si 襯底表層由晶體 +非晶體結(jié)構(gòu)所組成 ? SiC 薄膜沉積后,表層主要為非晶態(tài)結(jié)構(gòu) 碳化處理(左)及 SiC薄膜沉積后
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