微電子工藝課件1zhang-wenkub.com
2025-05-09 18:36 本頁(yè)面
【正文】 ③ 《 集成電路制造技術(shù) — 原理與實(shí)踐 》 ，莊同曾編，電子工業(yè)出版社。 實(shí)驗(yàn) 微電子器件版圖設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)（ 8學(xué)時(shí)）：了解微電子器件的版圖設(shè)計(jì)規(guī)則，掌握 LEdit的使用方法，并使用 LEdit完成一個(gè)實(shí)際器件的版圖設(shè)計(jì)。 課程內(nèi)容安排和要求 ? 工藝集成 ： 4～ 6μm雙極集成電路工藝技術(shù)、典型雙極型 IC工藝流程、早期 ～ CMOS IC工藝技術(shù)、單阱（ P阱）工藝流程、現(xiàn)代 CMOS IC工藝技術(shù)。 校園信息門戶 研究領(lǐng)域： 硅基集成光電子學(xué)（ Siliconbased OEIC ） 研究方向： 硅基高效發(fā)光材料與器件，包括 硅基摻鉺光波導(dǎo)放大器（ EDWA) 硅基電注入激光器 參考： 問題： 半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展到現(xiàn)在有哪幾項(xiàng)革命性的器 件？ 為什么單個(gè) MOS管運(yùn)算速度可達(dá)萬億（皮秒） 次，但是單 CPU主頻（ 10億次）最近幾年很 難繼續(xù)往上提升？ CPU芯片中金屬連線長(zhǎng)度的演化 摩爾定律 （ 每隔 18個(gè)月集成度增加一倍，性能也將提升一倍） RC time constants R= ρL/A C=kA/d 金屬連線瓶頸（ 電子是傳輸信號(hào)的載體 ） 硅基光電集成片上系統(tǒng) (SOC)所需的電子學(xué)單元和光子學(xué)單元 課堂紀(jì)律 ? 鼓勵(lì)提問、非常感謝提出寶貴的建議 ? 來去自由 ? 可以睡覺，可以說話，但不能超過 40分貝 ? 不能干擾課堂教學(xué) ? 拒絕舞弊 上課安排 ? 第 1周 ~第 8周 ? 每周 4學(xué)時(shí) 周二 6節(jié) 二教 104 周五 2節(jié) 二教 104 ? 相關(guān)課程： 微電子工藝實(shí)驗(yàn) 微電子器件 教學(xué)目標(biāo) ? 通過本課程的學(xué)習(xí)，使學(xué)生在微電子技術(shù)方向上打下深厚的工藝基礎(chǔ) ； ? 了解 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)狀況及技術(shù)發(fā)展動(dòng)態(tài) ； ? 理解 微電子器件和集成電路 制造先進(jìn) 工藝技術(shù) ；
語(yǔ)文相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1